20使用于将收容在负载锁定腔室的未处理基板Wl装载到处理腔室130，卸载臂230可使用于将在处理腔室130完成处理的处理基板卸载到负载锁定腔室。装载臂220包括:一侧可旋转地连接于旋转轴210上部中央的第一臂222 ;—侧可旋转地连接于第一臂222的另一侧的第二臂224，;一侧可旋转地结合于第二臂224的另一侧的手部226。这时，旋转轴210与第一臂222的连接部位称为第一接点部a，第一臂222与第二臂224的连接部位称为第二接点部b，第二臂224与手部226的连接部位称为第三接点c，各个接点部可在360°以下的范围进行旋转。装载臂220与卸载臂230以相同的构造形成。并且，针对卸载臂230而言，能够以与装载臂220相同的构造形成，差别在于卸载臂230的第一臂232通过装载臂220的第一臂222上部一侧连接于旋转轴 210。
[0057]旋转轴210根据驱动部的操作旋转第一臂222、232、第二臂224、234及手部226、236，并且能够沿着z轴方向(即，上下方向)移动。
[0058]第一臂222、232与第二臂224、234分别通过连接部位来进行旋转，进而可调节方向及长度。这时，第一臂222、232在传送腔室120内以第一接点部a为基准进行旋转运动，进而实现沿着Y轴的直线运动，第二臂224、234以第二接点部b为基准进行旋转运动，进而实现沿着X轴的直线运动。
[0059]并且，手部226、236利用在末端形成的叶片228、238来支撑基板，通过第三接点部c连接于第二臂224、234的末端，从而以第三接点部c为基准进行旋转。
[0060]并且，针对装载臂220与卸载壁230而言，各个第一臂222、232以第一接点部为同心点具有相同的半径，并且可单独进行旋转。基板移送机器人200被并排配置为，当为了装载或卸载基板而在负载锁定腔室或处理腔室130搬出或搬入基板时，使装载臂220与卸载臂230的手部236朝向相同方向。因此，装载臂220与卸载臂230在比较窄的传送腔室120内可顺畅地移送基板。
[0061]驱动部独立旋转安装臂220及卸载臂230各自的旋转轴210、第一臂222、232、第二臂224、234、手部226、236来实现直线运动。驱动部可设置在传送腔室120内部，或还可设置在外部。
[0062]控制部控制驱动部、旋转轴210、第一臂222、232、第二臂224、234、手部226、236的动作。控制部根据提前设置的手册来控制驱动部的操作，来控制第一臂222、232、第二臂224、234、手部226、236的旋转方向，进而可装载或卸载基板。
[0063]以下，说明利用如上所述的基板处理装置来移送基板的方法。
[0064]图5是示出根据本发明实施例的基板移送方法在负载锁定腔室搬出基板的过程的图，图6至12是示出根据本发明实施例的基板移送方法装载及卸载基板的过程的图，图13至图15是示出根据本发明实施例来在处理腔室内处理基板的各种方法的图。
[0065]本发明实施例的基板移送方法包括:利用配置在传送腔室120的基板移动机器人200的装载臂220，从负载锁定腔室110搬出未处理基板Wl的过程；将搬出的未处理基板Wl装载于处理腔室130的过程；若完成基板处理，则利用卸载臂230卸载处理基板W2的过程；将处理基板W2搬入负载锁定腔室的过程。这时，在负载锁定腔室搬出基板来装载于处理腔室130的过程可至少反复执行对应于配置在处理腔室130的基板支撑部137的个数的次数，在处理腔室130装载未处理基板之后装载下一个基板之间，可执行针对装载于处理腔室130的基板的处理。另外，针对卸载处理基板W2的过程而言，可至少反复执行对应于配置在处理腔室130的基板支撑部137个数的次数，在最初卸载处理基板W2之后可与未处理基板Wl的安装步骤交替并反复执行。在以下的说明中，手部226、236的前进意味着为了搬入或搬出并装载或卸载基板而进入负载锁定腔室或处理腔室130的状态，手部226、236的后退意味着为了搬入或搬出并装载或卸载基板而进脱离负载锁定腔室或处理腔室130的状态。根据第一臂222、232与第二臂224、234的重叠程度可调节手部226、236的前进或后退。
[0066]首先，参照图5说明搬出用于在负载锁定腔室110进行处理的未处理基板Wl的过程。
[0067]参照图5，基板移送机器人200被配置为，将并排配置装载臂220与卸载臂230的手部226、236的状态下，使手部226、236叶片228、238朝向负载锁定腔室(参照图5的(a)) ο将与此相同的状态称为初始位置。
[0068]之后，将装载臂220的手部236向负载锁定腔室中收容了未处理基板Wl的第一负载锁定腔室IlOa内部(参照图5的(b))前进，将未处理基板Wl安装在配置于装载臂220的手部226末端的叶片228，接着后退手部226将收容于第一负载锁定腔室IlOa的未处理基板Wl搬出到传送腔室120。若搬出未处理基板W1，则旋转基板移送机器人200的旋转轴210，使装载臂220与卸载臂230的手部226、236以朝向处理腔室130的方式进行配置(参照图5的(C))。
[0069]接着，若从负载锁定腔室搬出未处理基板W1，则将安装了未处理基板Wl的装载臂220的手部226向处理腔室130内部前进，来装载未处理基板Wl (参照图6)。此时，在处理腔室130下降旋转轴135a与支撑轴137a来下降转台135b与基板支承架137b，同时将转台135b配置在低于基板支承架137b的位置，并且向基板支撑架137b上部凸出升降销。并且，前进装载臂220的手部226，将未处理基板Wl装载于向装载区域L的基板支承架137b上部露出的升降销上。
[0070]若装载了未处理基板W1，则从处理腔室130后退装载臂220的手部226，然后关闭第一闸门131a。并且，上升支撑轴，以使未处理基板Wl安装在基板支承架137b及基板支撑环138上的状态，将基板移动到顶盖下部的基板处理空间。
[0071]若处理了装载到处理腔室130内部的基板，则为了处理下一个基板可将基板移动到邻接基板的基板支承架。针对基板而言，上升转台，将被基板支撑架与基板支承环138支撑的基板通过基板支承环138安装在开口边缘位置的第一台阶138a，进而可由转台支撑。若基板被转台支撑，则将旋转轴旋转固定角度(例如，旋转90度)来移动到邻接的基板支撑架上部。之后，下降旋转轴并通过基板支撑环138将基板安装在基板支撑架上。
[0072]若未处理基板Wl移动到邻接的基板支承架，则由装载了未处理基板Wl的区域的气体喷射体喷射工序气体来处理基板。
[0073]在这里，若基板移动到邻接的基板支撑架，则在处理腔室130中在配置在装载区域L的基板支撑架为了装载下一个未处理基板Wl而处于等待状态。
[0074]接着，反复图5所示的过程来从第一负载锁定腔室IlOa搬出下一个未处理基板W1，并且反复执行向处理腔室130的装载及处理过程(参照图6至图8)。这种过程可至少反复对应于配置在处理腔室130的基板支承架137的个数或基板处理空间的个数，并且若通过一系列的过程，装载到装载区域L的基板支撑架的基板到达卸载区域UL的基板支承架，则完成基板处理。这时，第一闸门131a的关闭及转台135b的旋转可与在第一负载锁定腔室IlOa搬出未处理基板Wl的过程同时执行。在基板处理的执行期间，为了在第一负载锁定腔室IlOa搬出未处理基板Wl (参照图5的的(c))来装载于处理腔室130，基板移送机器人200以在装载臂220的手部226安装未处理基板Wl的状态进行等待。
[0075]针对基板处理而言，如图13所示，可在多个基板处理空间中的某一个基板处理空间利用与其余基板处理空间不同的工序气体，如图14所示，也可交替执行利用相互不同的两种工序气体的两种工序。这时，在装载区域与卸载区域可进行相互不同的基板处理。另夕卜，如图15所示，可在所有的多个基板处理空间也利用相互不同的工序气体来执行基板处理，并且还可在至少一个基板处理空间执行基板的等离子处理。例如，在一个处理腔室130内利用相同工序气体的基板处理工序还可以是如下的情况:当蒸镀薄膜时，将相同的薄膜经过多次而阶段性地进行蒸镀。这时，多个基板处理空间中的一个，例如在卸载区域的基板处理空间中还可在蒸镀薄膜之后执行等离子处理。等离子处理为，可在安装基板的基板支承架与气体喷射体施加电源，进而在基板处理空间形成等离子，还可在处理腔室外部将工序气体激活成等离子状态