821上。使用例如草酸湿蚀刻第一透明层821形成红色子像素区R中的第一透明电极821R、绿色子像素区G中的第一透明电极821G和蓝色子像素区B中的第一透明电极821B，如图9d中所示。在红色子像素区R、绿色子像素区G和蓝色子像素区B中形成第一透明电极821R、821G和821B导致在分别在红色子像素区R、绿色子像素区G和蓝色子像素区B中的第一透明电极821R、821B和821G周围的一些残余物821’，如图9d中所示。
[0079]如图9e中所示，具有第二预定厚度的透明材料(诸如ITO)的第二透明层825沉积在腔电极层810和红色子像素区R、绿色子像素区G和蓝色子像素区B中的第一透明电极82IR、82IG和82IB上方。第二曝光过程将第二透明层825上的光致抗蚀剂826图案化。如图9f中所示，第二图案化光致抗蚀剂826形成在红色子像素区R中的第二透明层825上和绿色子像素区G中的第二透明层825上。使用例如草酸湿蚀刻第二透明层825形成红色子像素区R中的第一透明电极821R上的第二透明电极825R和绿色子像素区G中的第一透明电极821G上的第二透明电极825G，如图9g中所示。形成红色子像素区R中的第二透明电极825R和绿色子像素区G中的第二透明电极825G导致在红色子像素区R中的第一透明电极82IR周围以及在绿色子像素区G中的第一透明电极82IG周围的附加残余物825’，如图9g中所示。
[0080]如图9h中所示，具有第三预定厚度的透明材料(诸如ΙΤ0)的第三透明层827沉积在腔电极层810、红色子像素区R中的第二透明电极825R、绿色子像素区G中的第二透明电极825G、和蓝色子像素区B中的第一透明电极821B上方。第三曝光过程将第三透明层827上的光致抗蚀剂828图案化。如图9i中所示，第三图案化光致抗蚀剂828形成在红色子像素区R中的第三透明层827上。使用例如草酸湿蚀刻第三透明层827形成红色子像素区R中的第二透明电极825R上的第三透明电极827R。形成红色子像素区R中的第三透明电极827R导致在红色子像素区R中的第一透明电极82IR周围的更多残余物827’，如图9 j中所示。
[0081]残余物821’、825’和827’可以从第一透明层821、第二透明层825和第三透明层827的蚀刻累积。残余物821’、825’和827’是导电的，并且可能导致相邻子像素之间的短路。如图9j中所示，红色子像素区R和绿色子像素区G具有最多累积，使得如果残余物721’、725’和727’留下，则可能出现红色子像素区R和绿色子像素区G之间的短路。
[0082]如图9k中所示，在腔电极层810的湿蚀刻期间，去除残余物821’、825’和827’，以形成红色子像素区R中的腔电极810R、绿色子像素区G中的腔电极810G和蓝色子像素区B中的腔电极810B。例如，用于腔电极层810的湿蚀刻剂由能够对诸如铝、银、银合金的金属材料、其它金属材料或由其它金属材料组成的金属合金进行湿蚀刻的材料组成。而且，可以在湿蚀刻腔电极层810之前，或者在湿蚀刻腔电极层810之后，去除第三透明层827上的光致抗蚀剂828。这意味着，第三透明层827或光致抗蚀剂828可以是用于湿蚀刻腔电极层810的掩模。在湿蚀刻腔电极层810期间，红色子像素区R中的第一透明电极821R、绿色子像素区G中的第一透明电极821G、和蓝色子像素区B中的第一透明电极821B分别用作用于红色子像素区R中的腔电极810R、绿色子像素区G中的腔电极810G和蓝色子像素区B中的腔电极810B的掩模。对腔电极层810进行湿蚀刻在红色子像素区R中的第一透明电极821R、绿色子像素区G中的第一透明电极821G和蓝色子像素区B中的第一透明电极821B下面形成底切。因此，红色子像素区R中的腔电极810R、绿色子像素区G中的腔电极810G和蓝色子像素区B中的腔电极810B分别被红色子像素区R中的第一透明电极821R、绿色子像素区G中的第一透明电极821G和蓝色子像素区B中的第一透明电极821B的两侧叠盖超出，如图9k中所示。
[0083]如图91中所示，然后在子像素区R、G和B的外围形成绝缘材料的堤状物840，以将子像素区的透明电极和腔电极与另一个子像素区的透明电极和腔电极分开和隔离。如图9m中所示，在红色子像素区R中的第三透明电极827R、绿色子像素区G中的第二透明电极825G、蓝色子像素区B中的第一透明电极82IB和堤状物840上沉积蓝色发射层855并且然后是黄色发射层856 ο可选地，可以在堤状物840之间的每个子像素中设置成对黄色和绿色发射层。公共阴极860沉积在黄色发射层856上。公共阴极860基本上是反射性的并且可以由例如银、银合金或一些其它反射性材料制成。
[0084]图10示出当腔电极层上的下透明电极的宽度大于该下透明电极上的上透明电极的宽度时的腔电极的蚀刻。如图10中所示，在基板901上的腔电极层910上形成第二透明电极933和第一透明电极931的透明电极叠层，然后发生腔电极层910的湿蚀刻，以形成图案化的腔电极910X。通过湿蚀刻去除因形成第一透明电极931和第二透明电极933带来的残余物934。第一透明电极931的宽度Wl确定图案化的腔电极910X的宽度。另外，腔电极910X在第一透明电极931两侧被底切距离U。因为第二透明电极933在第一透明电极931的外周内，所以第二透明电极933对图案化没有影响。存在第二透明电极、第三透明电极或第一透明电极、第二透明电极和第三透明电极的一些组合可能影响设置在第一透明电极下方的腔电极的图案化的情况。腔电极910X可以是反射性的或半透射性的，并且可应用至顶部发射OLED器件或底部发射OLED器件。
[0085]图11示出当腔电极层上的下透明电极的宽度小于该下透明电极上的上透明电极的宽度时的腔电极的蚀刻。如图11中所示，在基板1001上的腔电极层1010上形成第二透明电极1033和第一透明电极1031的透明电极叠层，并且然后发生腔电极层1010的湿蚀刻，以形成图案化腔电极1010Y。通过湿蚀刻去除因形成第一透明电极1031和第二透明电极1033带来的残余物1034。第一透明电极1031被无意地图案化成小于第二透明电极1033。第二透明电极1033的宽度W2确定图案化腔电极1010Y的宽度，这是因为由于第二透明电极1033的无意图案化导致第二透明电极1033向下叠盖(overlap down)第一透明电极1031的两侧。另外，腔电极1010Y在第二透明电极1033两侧被底切距离U。尽管所得到的腔电极1010Y比其它子像素的其它腔电极稍微更宽，但是残余物1034被去除并且腔电极1010Y被适当地图案化成第二透明电极1033和第一透明电极1031的透明电极叠层。腔电极1010Y可以是反射性的或半透射性的，并且可应用至顶部发射OLED器件或底部发射OLED器件。
[0086]图12示出当腔电极层上的下透明电极的宽度小于位于下透明电极上方的两个未对准上透明电极的组合宽度时的腔电极的蚀刻。如图12中所示，在基板1101上的腔电极层1110上形成第三透明电极1137、第二透明电极1133和第一透明电极1131的透明电极叠层，并且然后发生腔电极层1110的湿蚀刻，以形成图案化的腔电极1110Z。通过湿蚀刻去除因形成第一透明电极1131、第二透明电极1133和第三透明电极1137带来的残余物1138。第三透明电极1137被无意地图案化在第一透明电极1131的一侧上。第二透明电极1133被无意地图案化在第一透明电极1131的另一侧上。第一透明电极1131的一侧上的第二透明电极1133和第一透明电极1131的另一侧上的第三透明电极1137的组合的宽度W3确定图案化的腔电极IllOZ的宽度。此外，腔电极1110Z在第二透明电极1133所在的一侧和第三透明电极1137所在的另一侧上被底切距离U。尽管所得到的腔电极1110Z比其它子像素的其它腔电极稍微更宽，但是残余物1134被去除并且腔电极1110Z被适当地图案化成第三透明电极(1137)、第二透明电极1133和第一透明电极1131的透明电极叠层。腔电极1110Z可以是反射性的或半透射性的，并且可应用至顶部发射OLED器件或底部发射OLED器件。
[0087]下文中，将描述本发明的有机发光二极管的各种特性。
[0088]根据本发明的另一个特性，第一透明电极叠盖超过第一腔电极的与第一侧相对的第二侧。
[0089]根据本发明的又一个特性，阴极层是反射性的。
[0090]根据本发明的又一个特性，阴极层是半透射性的。
[0091]根据本发明的又一个特性，第一腔电极是反射性的。
[0092]根据本发明的又一个特性，第一腔电极是半透射性的。
[0093]根据本发明的又一个特性，有机发光二极管还包括:基板的第二微腔区域中的第二腔电极；基板的第三微腔区域中的第三腔电极；第二微腔区域中的具有第二厚度的第二透明电极，第二透明层叠盖超过第二腔电极的第三侧；第三微腔区域中的具有第三厚度的第三透明电极，第三透明层叠盖超过第三腔电极的第四侧；与第二微腔区域的第二透明电极电连接的第二发射层；以及与第三微腔区域的第三透明电极电连接的第三发射层，其中，阴极层在第二发射层和第三发射层上。
[0094]根据本发明的又一个特性，阴极层包括第一微腔区域中的第一阴极层、第二微腔区域中的第二阴极层、第三微腔区域中的第三阴极层。
[0095]根据本发明的又一个特性，第二厚度小于第一厚度。
[0096]根据本发明的又一个特性，第三厚度小于第二厚度。
[0097]根据本发明的又一个特性，第二腔电极和第三腔电极是反射性的。
[0098]根据本发明的又一个特性，第二腔电极和第三腔电极是半透射性的。
[0099]根据本发明的又一个特性，第一、第二和第三发射层发射相同颜色。
[0100]下文中，将描述本发明的基板上的有机发光二极管的各种特性。
[0101]根据本发明的另一个特性，第一透明电极叠盖超过第一腔电极的第一侧和第一腔电极的与第一侧相对的第二侧。
[0102]根据本发明的又一个特性，第一腔电极是反射性的。
[0103]根据本发明的又一个特性，第一腔电极是半透射性的。
[0104]根据本发明的又一个特性，阴极层电极是反射性的。
[0105]根据本发明的又一个特性，阴极层电极是半透射性的。
[0106]下文中，将描述本发明的有机发光二极管的各种特性。
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