一种高分辨率飞行时间质谱探测器俯仰角真空外调节装置的制造方法

文档序号:9549340阅读:244来源:国知局
一种高分辨率飞行时间质谱探测器俯仰角真空外调节装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种高分辨率飞行时间质谱探测器俯仰角真空外调节装置,属于质谱分析领域。
【背景技术】
[0002]飞行时间质谱的原理为:在真空环境下,不同质荷比的离子在同一电压加速下,将获得不同的飞行速度,经过自由飞行和离子反射区,先后达到离子探测器,实现质量分辨。分辨率是评判飞行时间质谱性能的核心指标之一。相同质荷比离子到达探测器表面飞行时间的分散程度直接决定了飞行时间质谱的分辨率。到达探测器表面附近时,如果离子空间聚焦良好,探测器的安装角度会极大地影响离子飞行时间的分散程度。但受限于加工及安装精度,探测器平面与离子聚焦平面的平行度很难保证在±0.05°内。
[0003]根据采集信号的峰宽,采用在真空外实时调节探测器俯仰角的方式,可实现探测器平面与离子聚焦平面尽可能的平行,这将有助于高分辨率的实现。现有的方法是利用真空专用精密电机来调节探测器俯仰角,其具有真空影响小的优点,但也存在着控制系统复杂、成本高的缺点。

【发明内容】

[0004]针对上述问题,本发明的目的是提供一种真空影响小、结构简单的高分辨率飞行时间质谱探测器俯仰角真空外调节装置。
[0005]为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:一种高分辨率飞行时间质谱探测器俯仰角真空外调节装置,其特征在于:它包括一主体法兰、两调节丝杆和一俯仰板;所述主体法兰的一侧为大气侧,另一侧为真空侧;在所述主体法兰的大气侧相隔180°紧固连接两密封差分块,每一所述密封差分块上设置有一穿透至所述主体法兰的所述真空侧的密封孔,在每一所述密封差分块的顶部紧固连接一中心带有螺纹孔的丝杆配合块;两所述调节丝杆分别设置在一所述密封差分块的密封孔中;每一所述调节丝杆的一端为一螺纹杆,另一端设有一中心螺纹孔;所述调节丝杆的所述螺纹杆与所述丝杆配合块的螺纹孔配合连接,所述调节丝杆带有中心螺纹孔的一端延伸至所述主体法兰的所述真空侧;所述俯仰板通过两与所述调节丝杆中心螺纹孔配合连接的螺纹杆间隔支撑在所述主体法兰的所述真空侧;所述俯仰板通过多个螺纹杆与所述质谱探测器紧固连接。
[0006]还包括一拉簧压板,所述拉簧压板紧固连接在所述主体法兰的真空侧;所述俯仰板与所述拉簧压板之间通过两间隔布置的拉簧连接。
[0007]在所述主体法兰的所述真空侧紧固连接一固定支点块,所述固定支点块伸入位于所述俯仰板上的沉孔内且与两所述调节丝杆呈三角形分布。
[0008]在所述俯仰板上设置一用于为所述质谱探测器的连接导线提供容纳空间的中心孔。
[0009]在所述拉簧压板上设置一用于为质谱探测器的连接导线提供容纳空间的中心孔。
[0010]在所述主体法兰的所述大气侧紧固连接四个电穿通和一个信号采集电穿通,所述信号采集电穿通设有连接所述质谱探测器的连接导线。
[0011]在所述主体法兰的所述真空侧紧固连接一将所述俯仰板和质谱探测器包覆在内的屏蔽罩,所述屏蔽罩与所述质谱探测器相对的位置设置一中心孔,所述中心孔的孔径大于所述质谱探测器的口径。
[0012]在每一所述调节丝杆上间隔设置两环形槽,在每一所述环形槽中设置一胶圈;在所述主体法兰的所述大气侧通过一差分管固定块连接一第一真空管和两第二真空管;两所述第二真空管的一端分别连通一所述密封差分块的所述密封孔,另一端共同连通所述第一真空管;所述第二真空管与所述密封差分块的连接孔位于所述调节丝杆的两所述环形槽之间;所述第一真空管与一真空栗连接。
[0013]在所述调节丝杆的所述螺纹杆的端部设置有一“一”字形缺口 ;在位于所述丝杆配合块外部的所述螺纹杆上配合连接一用于将所述调节丝杆锁死固定的锁死块。
[0014]在所述主体法兰的边缘间隔紧固连接两把手。
[0015]本发明由于采取以上技术方案,其具有以下优点:1、本发明在主体法兰上连接两个调节丝杆,调节丝杆的一端穿透至真空侧且与俯仰板连接,故而当在大气侧转动调节丝杆时,调节丝杆便会向真空侧旋进或由真空侧旋回,由此实现对固定连接在俯仰板上的质谱探测器的俯仰角进行调节。2、本发明由于在主体法兰的真空侧固定连接一拉簧压板,拉簧压板与俯仰板之间通过拉簧连接,因此能够确保在调节俯仰角时,俯仰板和位于俯仰板上的质谱探测器振动幅度极小,保证信号峰宽连续变化。3、本发明在调节丝杆的两胶圈之间设置抽真空装置,利用真空栗抽吸空气后使两胶圈之间的环形空间形成位于大气环境与高真空环境之间的低真空环境,该气压差分系统可极大地降低机械传动对高真空环境的影响。
【附图说明】
[0016]图1是本发明的主视示意图;
[0017]图2是本发明的立体结构示意图;
[0018]图3是本发明在另一视角下的立体结构示意图;
[0019]图4是本发明调节丝杆的结构示意图;
[0020]图5是本发明拉簧压板2的结构示意图;
[0021]图6是本发明拉簧压板2的侧视示意图;
[0022]图7是本发明俯仰板的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]下面结合附图和实施例对本发明进行详细的描述。
[0024]如图1?3所示,本发明包括一主体法兰1、一拉簧压板2、两调节丝杆3和一俯仰板4。主体法兰1的一侧为大气侧,另一侧为真空侧,在主体法兰1的大气侧相隔180°紧固连接两密封差分块5,每一密封差分块5上设置有一穿透至主体法兰1的真空侧的密封孔,在每一密封差分块5的顶部紧固连接一中心带有螺纹孔的丝杆配合块7。拉簧压板2紧固连接在主体法兰1的真空侧,拉簧压板2上设置一中心孔(如图5所示),用于为质谱探测器8的连接导线提供容纳空间。两调节丝杆3分别设置在一密封差分块5的密封孔中,每一调节丝杆3的一端为一螺纹杆31 (如图4所示),另一端设有一中心螺纹孔。调节丝杆3的螺纹杆31与丝杆配合块7的螺纹孔配合连接,调节丝杆3带有中心螺纹孔的一端穿过拉簧压板2。俯仰板4通过两与调节丝杆3中心螺纹孔配合连接的螺纹杆9间隔支撑在拉簧压板2的一侧。在主体法兰1的真空侧紧固连接一固定支点块10,固定支点块10穿过拉簧压板2后伸入位于俯仰板4上的沉孔内,固定支点块与两调节丝杆3呈三角形分布。俯仰板4通过多个螺纹杆11与质谱探测器8紧固连接。俯仰板4上亦设置一用于为质谱探测器8的连接导线提供容纳空间的中心孔(如图7所示)。俯仰板4与拉簧压板2之间还通过两间隔布置的拉簧12连接。
[0025]上述实施例中,在主体法兰1的大气侧紧固连接四个电穿通13和一个信号采集电穿通14,用
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