装方法中，激光器发出的激光通过激光扫描单元投射至待封装的密封玻璃封装体上进行加热，所述激光能够进行快速周期性扫描，可以实现准同步封装的效果，达到提高温度场的均匀性以及产率的目的，同时，实现封装图案的多样化。进一步的，龙门架上可以设置一个或者多个激光扫描单元，并且能够步进带动激光扫描单元移动，可以对大尺寸待封装的密封玻璃封装体进行区域封装，或者实现同时对多个待封装的密封玻璃封装体进行封装，极大的提高产率。
[0105]上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.激光密封玻璃封装体封装系统一种、，包括:激光器、龙门架以及激光扫描单元，其中，所述激光扫描单元设置在所述龙门架上，所述激光器发出激光通过所述激光扫描单元投射至待封装的密封玻璃封装体上。2.如权利要求1所述的激光密封玻璃封装体封装系统，其特征在于，所述激光器为C02激光器。3.如权利要求2所述的激光密封玻璃封装体封装系统，其特征在于，所述激光器发出的激光波长范围是800nm?900nm，其工作功率范围是10W?500W。4.如权利要求2所述的系统激光密封玻璃封装体封装，其特征在于，所述激光器通过光纤与所述激光扫描单元相连。5.如权利要求1所述的激光密封玻璃封装体封装系统，其特征在于，所述激光扫描单元为振镜式激光扫描单元，包括反射镜、扫描电机以及伺服驱动单元，其中伺服驱动单元发出偏转角度信号至所述扫描电机，所述扫描电机控制所述反射镜进行角度偏转。6.如权利要求5所述的激光密封玻璃封装体封装系统，其特征在于，所述反射镜偏转角度范围是+/_20°。7.如权利要求5所述的激光密封玻璃封装体封装系统，其特征在于，所述龙门架能够带动所述激光扫描单元在平面内移动。8.如权利要求5所述的激光密封玻璃封装体封装系统，其特征在于，所述激光密封玻璃封装体封装系统为单振镜式激光扫描系统，所述龙门架上设有一个振镜式激光扫描单J Li ο9.如权利要求5所述的激光密封玻璃封装体封装系统，其特征在于，所述激光密封玻璃封装体封装系统为多振镜式激光扫描系统，所述龙门架上设有多个振镜式激光扫描单J Li ο10.一种激光密封玻璃封装体封装方法，采用如权利要求1至权利要求9中任意一种所述的激光密封玻璃封装体封装系统，对待封装的密封玻璃封装体的玻璃料加热，形成气密密封，所述方法包括步骤: 所述激光器发出的激光光束通过所述激光扫描单元投射并覆盖在待封装的密封玻璃封装体的封装线上； 使用所述激光扫描单元或者龙门架对激光方向进行控制，使激光光束在所述封装线上进行周期性扫描，对封装线处的玻璃粉进行加热，直至其融化使待封装的密封玻璃封装体的上玻璃基板和下玻璃基板粘合在一起，形成气密性的密封玻璃封装体。11.如权利要求10所述的激光密封玻璃封装体封装方法，其特征在于，所述激光密封玻璃封装体封装系统为单振镜式激光扫描系统，采用单振镜区域封装方法进行封装。12.如权利要求11所述的激光密封玻璃封装体封装方法，其特征在于，所述单振镜区域封装方法包括步骤: 将一个待封装的密封玻璃封装体划分为多个封装区域； 在对其中一个封装区域进行封装时，所述龙门架保持静态，所述激光扫描单元进行转动，使所述激光按照预定的轨迹和速度对所述封装区域内的封装线进行周期性扫描； 在对所述封装区域进行封装完毕后，所述龙门架带动所述激光扫描单元移动至下一个封装区域，进行周期性扫描，直至将所述待封装的密封玻璃封装体全部封装完毕。13.如权利要求10所述的激光密封玻璃封装体封装方法，其特征在于，所述激光密封玻璃封装体封装系统为单振镜式激光扫描系统，采用龙门架带动激光光束扫描的方式进行封装。14.如权利要求13所述的激光密封玻璃封装体封装方法，其特征在于，所述封装方法包括步骤: 在对一个待封装的密封玻璃封装体进行封装时，所述龙门架沿着所述封装线的上方平面进行移动的同时，所述激光光束按照预定的轨迹和速度对所述封装线进行扫描，直至将所述待封装的密封玻璃封装体全部封装完毕。15.如权利要求10所述的激光密封玻璃封装体封装方法，其特征在于，所述激光密封玻璃封装体封装系统为多振镜式激光扫描系统，采用多振镜封装方法进行封装。16.如权利要求15所述的封装体封装方法激光密封玻璃，其特征在于，所述多振镜封装方法包括步骤: 所述待封装的密封玻璃封装体为多个并排成多排，多个振镜式激光扫描单元与所述待封装的密封玻璃封装体一一对应，分别覆盖所述待封装的密封玻璃封装体； 所述龙门架保持静态，多个所述激光扫描单元进行转动，使所述激光按照预定的轨迹和速度分别对所述封装线进行周期性扫描，形成气密性的密封玻璃封装体。17.如权利要求10所述的激光密封玻璃封装体封装方法，其特征在于，所述激光密封玻璃封装体封装系统为多振镜式激光扫描系统，采用多振镜静态区域封装方法进行封装。18.如权利要求17所述的激光密封玻璃封装体封装方法，其特征在于，所述多振镜静态区域封装方法包括步骤: 将一个待封装的密封玻璃封装体划分为多个封装区域，所述振镜式激光扫描单元与所述封装区域一一对应，分别覆盖所述封装区域； 在进行封装时，所述龙门架保持静态，多个所述激光扫描单元进行转动，使所述激光按照预定的轨迹和速度对所述封装区域内的封装线进行周期性扫描，完成对待封装的密封玻璃封装体的封装； 在对所述待封装的密封玻璃封装体进行封装完毕后，所述龙门架带动所述激光扫描单元移动至下一个待封装的密封玻璃封装体，进行封装。19.如权利要求10所述的激光密封玻璃封装体封装方法，其特征在于，所述激光密封玻璃封装体封装系统为多振镜式激光扫描系统，采用多振镜动态区域封装方法进行封装。20.如权利要求19所述的激光密封玻璃封装体封装方法，其特征在于，所述多振镜动态区域封装方法包括步骤: 将一个待封装的密封玻璃封装体划分为多个封装区域，所述封装区域分为多排，所述振镜式激光扫描单元与其中一排的封装区域一一对应，分别覆盖该排的封装区域； 在对该排封装区域进行封装时，所述龙门架保持静态，多个所述激光扫描单元进行转动，使所述激光按照预定的轨迹和速度对所述封装区域内的封装线进行周期性扫描； 在对该排封装区域封装完毕后，所述龙门架进行步进，带动所述激光扫描单元移动至下一排封装区域进行封装，直至将整个所述待封装的密封玻璃封装体封装完毕。
【专利摘要】本发明提出了一种激光密封玻璃封装体封装系统和封装方法，激光器发出的激光通过激光扫描单元投射至待封装的密封玻璃封装体上进行加热，所述激光能够进行快速周期性扫描，可以实现准同步封装的效果，达到提高温度场的均匀性以及产率的目的，同时，实现封装图案的多样化。进一步的，龙门架上可以设置一个或者多个激光扫描单元，并且能够步进带动激光扫描单元移动，可以对大尺寸待封装的密封玻璃封装体进行区域封装，或者实现同时对多个待封装的密封玻璃封装体进行封装，极大的提高产率。
【IPC分类】H01L51/56
【公开号】CN105336876
【申请号】CN201410367503
【发明人】程蕾丽
【申请人】上海微电子装备有限公司
【公开日】2016年2月17日
【申请日】2014年7月29日
【公告号】WO2016015514A1