具有共同围绕焊料黏结物以防止焊料散布的凹槽的半导体装置的制造方法_2

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[0047]在每个金属板54、56上半导体开关元件30和二极管32之间的间隔S2的尺寸(长度)大致与上述间隔SI的尺寸相同,并且为了确保每个半导体元件30、32的散热仅需要被设定为必要的最小距离。利用该结构,相比于热传递至半导体元件32、30中的另一个的情形,从半导体元件30或者半导体元件32生成的热易于经由金属块44、50传递至金属板54、56,然后易于从金属板54、56的辐射面释放至外部。因此,确保了半导体元件30、32的散热。
[0048]因为下臂功率单元24具有的构造类似于上臂功率单元22构造,所以在下文中,类似附图标记指代与上臂功率单元22的部件相同的下臂功率单元24的部件。
[0049]半导体开关元件30的一面和二极管32的一面面向金属板54。半导体开关元件30的一面经由焊料构件38黏结至金属板54。二极管32的一面经由焊料构件40黏结至金属板54。半导体开关元件30的集电极经由焊料构件38电热连接至金属板54。二极管32的阴极经由焊料构件40电热连接至金属板54。输出终端O连接至金属板54。输出终端O连接至负荷等。在下文中,金属板54称为输出金属板54。
[0050]另一方面,半导体开关元件30的另一面和二极管32的另一面面向金属板56。半导体开关元件30的另一面经由焊料构件42、金属块44和焊料构件46黏结至金属板56。二极管32的另一面经由焊料构件48、金属块50和焊料构件52黏结至金属板56。
[0051]半导体开关元件30的发射极经由焊料构件42、46和金属块44电热连接至金属板56。二极管32的阳极经由焊料构件48、52和金属块50电热连接至金属板56。连接至低电位电源的低电位连接终端N连接至金属板56。低电位电源的电压经由低电位连接终端N施加至金属板56。在下文中,金属板56称为低电位金属板56。
[0052]在半导体装置20中,上臂功率单元22和下臂功率单元24形成为,使得上臂功率单元22的高电位金属板34和下臂功率单元24的输出金属板54在第一方向X上经由间隔S3彼此面对,而上臂功率单元22的输出金属板36和下臂功率单元24的低电位金属板56在第一方向X上经由间隔S3彼此面对。在该方案中,上臂功率单元22的高电位金属板34和下臂功率单元24的输出金属板54位于大致相同水平面上,上臂功率单元22的输出金属板36和下臂功率单元24的低电位金属板56位于大致相同水平面上。
[0053]上臂功率单元22的半导体开关元件26的栅电极经由对应的一个信号线60连接至一个控制终端62。下臂功率单元24的半导体开关元件30的栅电极经由对应的一个信号线64连接至一个控制终端66。信号线60、64是由例如,铝、铜、等制成的黏结线。
[0054]高电位连接终端P、低电位连接终端N和输出终端O设置成以便在第二方向Y上从每个上臂功率单元22和下臂功率单元24的端部(例如,从邻近在第二方向Y上并排布置的两种类型半导体元件26、28的二极管28以及邻近在第二方向Y上并排布置的两种类型半导体元件30、32的二极管32的外端部)向外突出。控制终端62、66设置成以便从横越第二方向Y的端部、从设置上臂功率单元22和下臂功率单元24的高电位连接终端P、低电位连接终端N和输出终端O的端部向外突出。
[0055 ]主要由微计算机形成的电子控制单元(E⑶)连接至控制终端6 2、6 6。控制信号从ECU经由对应控制终端62和对应信号线60供给至半导体开关元件26的栅电极,控制信号从ECU经由对应控制终端66和对应信号线64供给至半导体开关元件30的栅电极。仅较少电流流经的每个控制终端62、66的面积(尺寸)可以小于较大电流能够流经的每个高电位连接终端P、低电位连接终端N和输出终端O的面积(尺寸)。
[0056]在上臂功率单元22中,半导体开关元件26和二极管28夹在在第三方向Z上彼此面对的高电位金属板34和输出金属板36之间。在下臂功率单元24中,半导体开关元件30和二极管32夹在在第三方向Z上彼此面对的输出金属板54和低电位金属板56之间。每个上臂功率单元22和下臂功率单元24在第三方向Z上具有预定厚度。臂功率单元22、24的厚度在第三方向Z上大致相同。
[0057]在上臂功率单元22中,凹槽70设置在金属板36上。也即,金属板36具有凹槽70。凹槽70仅设置在金属板36上,金属板36不同于金属板34,半导体元件26、28经由对应焊料构件38、40直接黏结至金属板34。半导体元件26、28经由对应焊料构件42、48、对应金属块44、50和对应焊料构件46、52黏结至金属板36(也即,金属块44、50经由对应焊料构件46、52连接至金属板36)。凹槽70是防止焊料构件46、52在金属板36的黏结面上散布的凹槽,金属块44、50经由对应焊料构件46、52连接至金属板36(也即,设置焊料构件46、52)。
[0058]凹槽70沿着区域80、82(图5中被虚线围绕的区域)的外围形成,在该区域中焊料构件46、52设置在金属板36的黏结面上,金属块44、50被连接至该面,并且凹槽70形成为环形和框架形状以便共同围绕对应于半导体开关元件26侧的金属块44的焊料构件46和对应于二极管28侧的金属块50的焊料构件52。
[0059]也即,凹槽70形成为一体地连接沿着区域80的外周设置的凹槽和沿着区域82的外周设置的凹槽,在区域80中设置有对应于半导体开关元件26侧的金属块44的焊料构件46,在区域82中设置有对应于二极管28侧的金属块50的焊料构件52。但是,没有凹槽形成在区域80和区域82之间的边界部分处。
[0060]因为金属块44、50在第一方向X上具有大致相同宽度,所以在第一方向X上金属块44两侧的凹槽70的部分之间在金属板36上的距离大致相同于在第一方向X上金属块50两侧的凹槽70的部分之间在金属板36上的距离。在第一方向X上金属板36上的区域80的宽度大致相同于在第一方向X上金属板36上的区域82的宽度。焊料构件46设置在区域80中。焊料构件52设置在区域82中。凹槽70是环形凹槽,其形成为大致矩形形状,在金属板36的黏结面上共同围绕焊料构件46、52,并且在金属板36的分别设置焊料构件46、52的区域80、82周围是连续的。凹槽70在金属板36上的深度和宽度设定为这种程度:使得允许预定量的焊料构件46、52的焊料流入其中。
[0061]在下臂功率单元24中,凹槽72设置在金属板56上。也即,金属板56具有凹槽72。凹槽72仅设置在金属板56上,金属板56不同于金属板54,半导体元件30、32经由对应焊料构件38、40直接黏结至金属板54。半导体元件30、32经由对应焊料构件42、48、对应金属块44、50和对应焊料构件46、52黏结至金属板56(也即,金属块44、50经由对应焊料构件46、52连接至金属板56)。凹槽72是防止焊料构件46、52在金属板56的黏结面上散布的凹槽,金属块44、50经由对应焊料构件46、52连接至金属板56(也即,设置焊料构件46、52)。
[0062]凹槽72沿着区域84、86(图5中被虚线围绕的区域)的外围形成,在该区域中焊料构件46、52设置在金属板56的黏结面上,金属块44、50被连接至该面,并且凹槽72形成为环形和框架形状以便共同围绕对应于半导体开关元件30侧的金属块44的焊料构件46和对应于二极管32侧的金属块50的焊料构件52。
[0063]也即,凹槽72形成为一体地连接沿着区域84的外周设置的凹槽和沿着区域86的外周设置的凹槽,在区域84中设置有对应于半导体开关元件30侧的金属块44的焊料构件46,在区域86中设置有对应于二极管32侧的金属块50的焊料构件52。但是,没有凹槽形成在区域84和区域86之间的边界部分处。
[0064]因为金属块44、50在第一方向X上具有大致相同宽度,所以在第一方向X上金属块44两侧的凹槽72的部分之间在金属板56上的距离大致相同于在第一方向X上金属块50两侧的凹槽72的部分之间在金属板56上的距离。在第一方向X上金属板56上的区域84的宽度大致相同于在第一方向X上金属板56上的区域86的宽度。焊料构件46设置在区域84中。焊料构件52设置在区域86中。凹槽72是环形凹槽,其形成为大致矩形形状,在金属板56的黏结面上共同围绕焊料构件46、52,并且在金属板56的分别设置焊料构件46、52的区域84、86周围是连续的。凹槽72在金属板56上的深度和宽度设定为这种程度:使得允许预定量的焊料构件46、52的焊料流入其中。
[0065]在上臂功率单元22中,半导体开关元件26和二极管28在第二方向Y上以间隔SI并排布置在金属板34、36之间。在下臂功率单元24中,半导体开关元件30和二极管32在第二方向Y上以间隔S2并排布置在金属板54、56之间。上臂功率单元22和下臂功率单元24并排布置在垂直于第二方向Y和第三方向Z的第一方向X上。
[0066]上臂功率单元22和下臂功率单元24布置成使得半导体开关元件26、30在第一方向X上彼此面对而且二极管28、32在第一方向X上彼此面对,并且布置成其间有间隔S3。例如,为了确保每个半导体元件26、28、30、32的散热,间隔S3的尺寸(长度)仅需要设定为必要的最小距离。
[0067]上臂功率单元22的输出金属板36具有在第一方向X上在端部处朝向下臂功率单元24突出的接头部36a。下臂功率单元24的输出金属板54具有在第一方向X上在端部处朝向上臂功率单元22突出的接头部54a。上臂功率单元22的输出金属板36和下臂功率单元24的输出金属板54彼此连接,使得接头部36a、54a彼此接触。
[0068]下臂功率单元24的低电位金属板56具有在第一方向X上在端部处朝向上臂功率单元22突出的接头部56a。接头部56a设置成使得当在第三方向Z上观看时,在第二方向Y上从输出金属板54的接头部54a偏移并且在第二方向Y上从上臂功率单元22的输出金属板36的接头部36a偏移。下臂功率单元24的低电位金属板56的接头部56a接触并且连接至从低电位连接终端N延伸的突出部分Na。
[0069]半导体装置20具有模制结构,在该模制结构中,在第一方向X上并排布置的上臂功率单元22和下臂功率单元24被一体地树脂密封。半导体装置20包括注塑树脂74,注塑树脂74—体地树脂密封上臂功率单元22和下臂功率单元24。注塑树脂74将半导体元件26、28和上臂功率单元22的金属块44、50密封在金属板34、36之间,并且将半导体元件30、32和下臂功率单元24的金属块44、50密封在金属板54、56之间。
[0070]注塑树脂74由诸如环氧树脂等制成。上述树脂密封是通过将熔化的注塑树脂74倾注入收纳上臂功率单元22和下臂功率单元24的模具而执行。将熔化的注塑树脂74倾注入模具是从两个功率单元22、24的设置有控制终端62、66的那侧(S卩,设置有分别将控制终端62、66与半导体开关元件26、30的栅电极连接的信号线60、64的那侧)的第一方向X上的大致中心附近在第二方向Y上执行的。
[0071]通过注塑树脂74执行树脂密封,使得包含高电位连接终端P、低电位连接终端N、输出终端O和控制终端62、66中每个的一部分。因此,高电位连接终端P、低电位连接终端N、输出终端O和控制终端62、66中每个的一部分暴露,以便从半导体装置20的主体侧(被注塑树脂74围绕的一侧)向外突出。
[0072]通过使用注塑树脂74执行树脂密封,使得在黏结至金属块44、50的黏结面的对置侧上的金属板34、36、54、56的每个面(散热面)暴露至外侧。因此,在黏结至金属块44、50的黏结面的对置侧上的金属板34、36、54、56的每个散热面暴露至外侧。散热器等附着在接近黏结至金属块44、50的黏结面的对置侧上的金属板34、36、54、56的每个散热面处。因此,上臂功率单元22和下臂功率单元24均从上和下两面得到冷却。金属板34、36、54、56的功能为散热板,其从上臂功率单元22和下臂功率单元24散热。
[0073]图7A和图7B是示出了根据本实施例组装半导体装置20的程序的一部分的视图。图7A示出了在组装金属板36、56之前的状态。图7B示出了在组装金属板36、56之后的状态。
[0074]在根据本实施例组装半导体装置20时,起初,如图7A所示,半导体元件26、28经由焊料构件38、40安装在上臂功率单元22的高电位金属板34的黏结面上,金属块44、50被层压并且经由焊料构件42、48安装在半导体元件26、28上。如图7A所示,半导体元件30、32经由焊料构件38、40安装在下臂功率单元24的输出金属板54的黏结面上,金属块44、50被层压并且经由焊料构件42、48安装在半导体元件30、32上。
[0075]高电位金属板34和输出金属板54
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