具有共同围绕焊料黏结物以防止焊料散布的凹槽的半导体装置的制造方法_3

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可以事先一体地形成,半导体元件26、28、30、32和金属块44、50可以安装在高电位金属板34和输出金属板54上,然后正如稍后将描述的通过注塑树脂74被树脂密封。在完成树脂密封之后,将高电位金属板34联接至输出金属板54的多余部分可以被切割而分离。
[0076]在第一方向X上半导体开关元件26和二极管28具有大致相同宽度。在安装时,半导体开关元件26和二极管28在第二方向Y上并排布置在高电位金属板34上,半导体开关元件26和二极管28的在第一方向X上的端部彼此对准。半导体开关元件30和二极管32在第一方向X上具有大致相同宽度。在安装时,半导体开关元件30和二极管32在第二方向Y上并排布置在输出金属板54上,半导体开关元件30和二极管32的在第一方向X上的端部彼此对准。如上所述金属块44、50在第一方向X上具有大致相同宽度。在安装时,金属块44、50在第二方向Y上并排布置,金属块44、50的在第一方向X上的端部彼此对准。
[0077]也即,半导体开关元件26在第一方向X上的位置和二极管28在第一方向X上的位置大致彼此一致,在第一方向X上在高电位金属板34上无任何偏移。半导体开关元件30在第一方向X上的位置和二极管32在第一方向X上的位置大致彼此一致,在第一方向X上在输出金属板54上无任何偏移。金属块44在第一方向X上的位置和金属块50在第一方向X上的位置大致彼此一致,在第一方向X上在高电位金属板34和输出金属板54中的每个上无任何偏移。
[0078]如上所述当半导体元件26、28和金属块44、50安装在高电位金属板34上时,信号线60随后黏结至半导体开关元件26,然后,如图7B所示,输出金属板36被层压并且经由焊料构件46、52安装在金属块44、50上。当半导体元件30、32和金属块44、50已经安装在输出金属板54上时,信号线64随后黏结至半导体开关元件30,然后,如图7B所示,低电位金属板56被层压并且经由焊料构件46、52安装在金属块44、50上。
[0079]将输出金属板36安装在上臂功率单元22中以及将低电位金属板56安装在下臂功率单元24中是如下执行的。将构成焊料构件46、52的焊料箔附着至金属块44、50的表面,金属板36、56被层压在金属块44、50上,使得每个凹槽70、72共同环绕对应焊料构件46、52,将焊料箔熔化以黏结金属块44、50至金属板36、56。
[0080]如上所述当信号线60、64被黏结并且输出金属板36和低电位金属板56被安装时,上臂功率单元22的结构和下臂功率单元24的结构随后被按压同时被收纳在模具中,然后注塑树脂74被倾注入模具。因而,上臂功率单元22和下臂功率单元24通过注塑树脂74被树脂密封。在树脂密封之后,注塑树脂74的一部分和每个金属板34、36、54、56的一部分被切割。因而,金属板34、36、54、56的散热面暴露至外侧。
[0081]在本实施例中,半导体装置20通过组装以下列方式被制造。半导体开关元件26和二极管28通过注塑树脂74被密封在上臂功率单元22的金属板34、36之间。半导体开关元件30和二极管32通过注塑树脂74被密封在下臂功率单元24的金属板54、56之间。然后,这些上臂功率单元22和下臂功率单元24通过注塑树脂74—体化。
[0082]在半导体装置20的上述结构中,当通过将附着至金属块44、50的表面的焊料箔熔化为焊料构件46、52,金属块44、50黏结至金属板36、56的同时按压在模具内,金属块44、50和金属板36、56之间多余量的焊料构件46、52的焊料从其间的区域径向朝向外侧溢出。当多余量的焊料构件46、52的焊料朝向径向外侧溢出时,焊料构件46、52的焊料流入形成在金属板36、56的黏结面上的凹槽70、72。焊料构件46、52的焊料流入金属板36、56的凹槽70、72,停留在凹槽70、72中。因此,当凹槽70、72形成在金属板36、56的黏结面上时,能够防止焊料构件46、52的焊料散布在金属板36、56的面内方向上。
[0083]当上臂功率单元22和下臂功率单元24每个的高度在层压方向Z上降低时,从金属块44、50和金属板36、56之间溢出的焊料构件46、52的焊料的量朝向径向外侧增加,所以流入凹槽70、72的焊料构件46、52的焊料的量增加。在该方案中,即便当事先确定金属块44、50和金属板36、56之间的焊料构件46、52的焊料的量时,也能够通过调节从金属块44、50和金属板36、56之间溢出至凹槽70、72的焊料构件46、52的焊料的量,来调节上臂功率单元22和下臂功率单元24每个在层压方向Z上的高度。
[0084]因而,利用金属板36、56的凹槽70、72,能够吸收上臂功率单元22和下臂功率单元24每个在层压方向Z上的高度的容差变化。为半导体元件26至32提供允许用于吸收容差变化的多余焊料流入其中的凹槽是有难度的,因为会发生不便,例如,由于焊料构件42、48的焊料的卷绕,焊料构件42、48黏附至半导体元件26至32的表面。
[0085]图8A和图8B是用于图示出根据本实施例的半导体装置20的有利效应的视图。图8A是示出了根据比较实施例的半导体装置100的金属板102的黏结面的视图,比较实施例是与根据本实施例的半导体装置20相比较。图SB是示出了根据本实施例的半导体装置20的每个金属板36、56的黏结面的视图。
[0086]在根据本实施例的半导体装置20的结构中,形成在金属板36的黏结面上的凹槽70沿着其中设置有焊料构件46、52的区域80、82的外围形成在黏结面上,以便共同围绕半导体开关元件26侧的焊料构件46和二极管28侧的焊料构件52,并且形成在金属板56的黏结面上的凹槽72沿着其中设置有焊料构件46、52的区域84、86的外围形成在黏结面上,以便共同围绕半导体开关元件30侧的焊料构件46和二极管32侧的焊料构件52(见图SB)。上臂功率单元22的凹槽70防止半导体开关元件26侧的焊料构件46和二极管28侧的焊料构件52散布。下臂功率单元24的凹槽72防止半导体开关元件30侧的焊料构件46和二极管32侧的焊料构件52散布。
[0087]利用上述结构,不同于图8A示出的根据比较实施例的半导体装置100的结构(在该结构中,用于防止焊料构件46、52散布的凹槽104、106形成在金属板102上,分别用于与半导体开关元件26和二极管28或者半导体开关元件30和二极管32对应的金属块44、50),对应于焊料构件46的凹槽和对应于焊料构件52的凹槽不需要单独地设置在:在金属板36的黏结面上设置有半导体开关元件26侧的焊料构件46的区域和设置有二极管28侧的焊料构件52的区域之间;或者在金属板56的黏结面上设置有半导体开关元件30侧的焊料构件46的区域和设置有二极管32侧的焊料构件52的区域之间。
[0088]在该方案中,在半导体装置20中,在确定在第二方向Y上并排放置在上臂功率单元22的金属板34、36上的半导体开关元件26和二极管28之间的间隔SI的尺寸时,不同于根据比较实施例的半导体装置100,不需要考虑凹槽104、106的宽度,并且间隔SI的尺寸设定为用于确保每个半导体元件26、28的散热的必要的最小距离就足够了。这也适用于下臂功率单元24的半导体开关元件30和二极管32之间的间隔S2的尺寸。
[0089]因此,与根据比较实施例的半导体装置100相比,利用根据本实施例的半导体装置20,能够减小每个金属板34、36在第二方向Y上的宽度,每个金属板34、36上的上臂功率单元22的两种类型的半导体元件26、28在第二方向Y上并排布置,并且能够减小每个金属板54、56在第二方向Y上的宽度,每个金属板54、56上的下臂功率单元24的两种类型的半导体元件30、32在第二方向Y上并排布置。在该方案中,能够减小每个金属板34、36、54、56的尺寸和重量,其结果是,能够减小半导体装置20本身的尺寸和重量。
[0090]在根据本实施例的半导体装置20的结构中,上臂功率单元22的半导体开关元件26在第一方向X上的宽度大致相同于上臂功率单元22的二极管28在第一方向X上的宽度。下臂功率单元24的半导体开关元件30在第一方向X上的宽度大致相同于下臂功率单元24的二极管32在第一方向X上的宽度。在上述结构中,在上臂功率单元22中用作将金属板34黏结至半导体开关元件26的焊料构件38的焊料箔的卷筒宽度大致相同于用作将金属板34黏结至二极管28的焊料构件40的焊料箔的卷筒宽度。类似地,在下臂功率单元24中用作将金属板54黏结至半导体开关元件30的焊料构件38的焊料箔的卷筒宽度大致相同于用作将金属板54黏结至二极管32的焊料构件40的焊料箔的卷筒宽度。
[0091]在该方案中,在半导体装置20中,能够使用相同材料用于焊料箔,附着的焊料箔作为分别介于半导体开关元件26、30和金属板34、54之间的焊料构件38;以及附着的焊料箔作为分别介于二极管28、32和金属板34、54之间的焊料构件40。因此,能够减少使用在半导体装置20中的焊料箔的类型的数量。
[0092]此外,在上臂功率单元22和下臂功率单元24任何一个中,金属块44、50在第一方向X上的宽度大致相同。在上述结构中,在上臂功率单元22中用作将半导体开关元件26黏结至金属块44的焊料构件42的焊料箔的卷筒宽度大致相同于用作将二极管28黏结至金属块50的焊料构件48的焊料箔的卷筒宽度。在上臂功率单元22中用作将金属块44黏结至金属板36的焊料构件46的焊料箔的卷筒宽度大致相同于用作将金属块50黏结至金属板36的焊料构件52的焊料箔的卷筒宽度。
[0093]类似地,在下臂功率单元24中,用作将半导体开关元件30黏结至金属块44的焊料构件42的焊料箔的卷筒宽度大致相同于用作将二极管32黏结至金属块50的焊料构件48的焊料箔的卷筒宽度,并且用作将金属块44黏结至金属板56的焊料构件46的焊料箔的卷筒宽度大致相同于用作将金属块50黏结至金属板56的焊料构件52的焊料箔的卷筒宽度。
[0094]在该方案中,在半导体装置20中,能够使用相同材料用于焊料箔,附着的焊料箔作为分别介于半导体开关元件26、30和金属块44之间的焊料构件42;以及附着的焊料箔作为分别介于二极管28、32和金属块50之间的焊料构件48。因此,能够减少使用在半导体装置20中的焊料箔的类型的数量。能够使用相同材料用于焊料箔,附着的焊料箔作为分别介于金属块44和金属板36、56之间的焊料构件46;以及附着的焊料箔作为分别介于金属块50和金属板36、56之间的焊料构件52。因此,能够减少使用在半导体装置20中的焊料箔的类型的数量。
[0095]根据本实施例的半导体装置20具有一体化的模制结构,在该结构中上臂功率单元22和下臂功率单元24在第一方向X上并排安装。设置在上臂功率单元22的金属板36上的凹槽70形成为大致矩形形状,以便共同围绕对应于半导体开关元件26侧的金属块44的焊料构件46和对应于二极管28侧的金属块50的焊料构件52。设置在下臂功率单元24的金属板56上的凹槽72形成为大致矩形形状,以便共同围绕对应于半导体开关元件30侧的金属块44的焊料构件46和对应于二极管32侧的金属块50的焊料构件52。
[0096]在上述结构中,不同于图8A示出的根据比较实施例的半导体装置100的结构(在该结构中,凹槽104、106形成在金属板102上,分别对应于与半导体开关元件26和二极管28或者半导体开关元件30和二极管32对应的金属块44、50),在第二方向Y上并排布置在被金属板36的凹槽70围绕的框架内的与半导体开关元件26侧的金属块44对应的焊料构件46和与二极管28侧的金属块50对应的焊料构件52之间的布置位置关系、或者在第二方向Y上并排布置在被金属板56的凹槽72围绕的框架内的与半导体开关元件30侧的金属块44对应的焊料构件46和与二极管32侧的金属块50对应的焊料构件52之间的布置位置关系,允许在由对应的一个凹槽70、72围绕的框架内颠倒。
[0097]也即,半导体开关元件26和焊料构件46可以布置在金属板36上的在第二方向Y上设置接头部36a的一侧处,二极管28和焊料构件52可以布置在第二方向Y上不设置接头部36a的一侧处,或者半导体开关元件30和焊料构件46可以布置在金属板56上的在第二方向Y上设置接头部56a的一侧处,二极管32和焊料构件52可以布置在第二方向Y上不设置接头部56a的一侧处。可替换地,二极管28和焊料构件52可以布置在金属板36上的在第二方向Y上设置接头部36a的一侧处,半导体开关元件26和焊料构件46可以布置在第二方向Y上不设置接头部36a的一侧处,或者二极管32和焊料构件52可以布置在金属板56上的在第二方向Y上设置接头部56a的一侧处,半导体开关元件30和焊料构件46可以布置在第二方向Y上不设置接头部56a的一侧处。
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