检测装置5以一个方向转动(比如顺时针)，拨杆6在弹簧8的作用下复位。当裂缝检测装置5转动一周后，底座4从另一侧再次拨动长板61转动，使短板62移动至另一个第一槽型传感器7的凹槽71内。第一槽型传感器7向控制主机发送第二个信号，控制主机使电机停止工作，裂缝检测装置5停止继续沿原转向(顺时针)转动。至此，裂缝检测装置5绕传动轴31转动一圈。完成对一个晶圆的检测。需要检测下一个晶圆时，控制主机控制电机2反向旋转(如逆时针)，直至收到第一槽型传感器7的信号时停止。
[0050]在裂缝检测装置5转动过程中，根据信号发射与接收的时间差(时间差与信号行走距离成正比)是否存在变化判断是否存在裂缝。裂缝检测装置5转动一周，信号发射与接收的时间差相同或者不超出预定范围，则判断晶圆不存在裂缝；信号发射与接收的时间差不相同或超出预定范围，则判断晶圆存在裂缝。
[0051]本实用新型中的上、下、水平、竖直均以图3为参考，本实用新型中的顺时针、逆时针均以图4为参考，为清楚地描述本实用新型而使用的相对概念，并不构成对权利要求范围的限制。
[0052]本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。
【主权项】
1.晶圆检测装置，其特征在于，包括: 支架； 裂缝检测装置；所述裂缝检测装置用于检测晶圆是否存在裂缝，所述裂缝检测装置可转动地设置在所述支架上； 第一驱动装置；所述第一驱动装置驱动所述裂缝检测装置转动或者通过第一传动装置驱动所述裂缝检测装置转动。
2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述传动装置包括传动带、传动链、传动带轮、传动轴、传动丝杆中的一种或任意几种组合。
3.根据权利要求1或2所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第一驱动装置为电机；所述电机设置于所述支架上；所述第一传动装置包括传动轴；所述传动轴可绕其中心轴线转动地设置在所述支架上；所述电机通过同步带驱动所述传动轴转动。
4.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，还包括底座；所述裂缝检测装置安装在所述底座上；所述第一驱动装置通过驱动所述底座转动或通过第一传动装置驱动所述底座转动以驱动所述裂缝检测装置转动。
5.根据权利要求4所述的晶圆检测装置，其特征在于，还包括拨杆和至少一个第一位置检测装置；所述拨杆可转动地设置；所述拨杆一端位于所述底座的转动路线上，并可受底座推动而转动；所述拨杆转动过程中，另一端可移动至可被所述第一位置检测装置检测到的位置。
6.根据权利要求5所述的晶圆检测装置，其特征在于，还包括控制主机，所述第一位置检测装置检测到所述拨杆另一端时，向所述控制主机发送信号；所述控制主机控制所述第一驱动装置工作，并在接收到所述第一位置检测装置的检测信号后，使所述第一驱动装置停止工作。
7.根据权利要求6所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第一位置检测装置数目为两个，间隔设置；所述底座以不同的转向转动过程中，分别从所述拨杆两侧推动所述拨杆以不同的转向转动。
8.根据权利要求5所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述拨杆为L型板；所述L型板包括长板和短板；所述长板可转动地安装在支架上；所述长板一端设置于所述底座的转动路线上，另一端安装短板；所述第一位置检测装置为第一槽型传感器，数目为两个，间隔设置；所述第一槽型传感器设有凹槽；所述凹槽的其中一个槽壁发射信号，与之相对的另一个槽壁接收信号；所述底座转动过程中，可分别从两侧推动所述长板沿不同的转向转动；所述长板转动时，带动所述短板移动；所述短板移动时，可移动至所述第一槽型传感器的凹槽内；所述第一槽型传感器根据所述短板是否位于所述凹槽内，发出不同的信号。
9.根据权利要求5所述的晶圆检测装置，其特征在于，还包括至少一个弹性复位装置；所述拨杆转动时，所述弹性复位装置变形产生弹性变形力；所述弹性变形力具有使所述拨杆复位的趋势。
10.根据权利要求9所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述弹性复位装置为压缩弹簧或拉伸弹簧。
11.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述裂缝检测装置角度可调地安装于所述支架上。
12.根据权利要求11所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述裂缝检测装置通过底座安装于所述支架上；所述底座设置有插孔；所述裂缝检测装置设置有插杆；所述插杆插置于所述插孔内；所述裂缝检测装置通过连接板与所述底座连接；所述连接板上设置有通槽和多个通孔；所述通孔与所述通槽间隔设置；所述裂缝检测装置上设置有销子；所述销子可沿所述通槽移动地插置于所述通槽内；所述裂缝检测装置设置有一个安装孔；通过连接件穿过所述通孔与所述安装孔相配合，将所述连接板与所述裂缝检测装置连接；通过不同的通孔与所述安装孔相配合，调整所述裂缝检测装置的角度。
13.根据权利要求12所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述底座上设置有多个第二位置检测装置；选择不同的通孔与所述安装孔相配合时，所述连接板端部位置不同；所述第二位置检测装置用于检测所述连接板端部的位置，当所述第二位置检测装置检测到所述连接板时，输送信号。
14.根据权利要求13所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第二位置检测装置为第二槽型传感器，数目为两个，间隔设置；所述第二槽型传感器设有凹槽；所述凹槽的其中一个槽壁发射信号，与之相对的另一个槽壁接收信号；所述连接板端部安装有凸板和槽板；所述凸板设置在所述连接板端部；所述槽板设置在所述凸板端部；不同的所述通孔与所述安装孔位置相对时，所述槽板插入不同的第二槽型传感器的凹槽内；所述第二槽型传感器根据槽板是否插入凹槽内，输出不同的信号。
15.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，还包括横梁；所述支架可沿所述横梁移动地设置于所述横梁上，或者可升降地设置于横梁上；还包括第二驱动装置或第三驱动装置；所述第二驱动装置驱动所述支架沿所述横梁移动；所述第三驱动装置驱动所述支架升降。
16.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述裂缝检测装置具有信号发射端和信号接收端；所述信号发射端朝晶圆发送信号，所述信号经晶圆反射后由所述信号接收端接收；在裂缝检测装置转动过程中，根据信号发射与接收的时间差是否存在变化判断是否存在裂缝；裂缝检测装置转动一周，信号发射与接收的时间差相同或者不超出预定范围，则判断晶圆不存在裂缝，信号发射与接收的时间差不相同或超出预定范围，则判断晶圆存在裂缝。
17.根据权利要求16所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述裂缝检测装置为激光测距仪、红外测距仪或者超声测距仪的一种。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：支架；裂缝检测装置；所述裂缝检测装置用于检测晶圆是否存在裂缝，所述裂缝检测装置可转动地设置在所述支架上。本实用新型中的晶片检测装置，运用裂缝检测装置检测晶圆上是否存在裂缝，操作简单、方便，测量的准确度高。本实用新型中的晶圆检测装置的自动化程度和检测效率高，适应现代化生产。
【IPC分类】H01L21-66, G01N21-88
【公开号】CN204271041
【申请号】CN201420606230
【发明人】刘永丰
【申请人】上海技美电子科技有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年10月20日