包括输送平台3，所述输送平台3上设置有一个或者两个以上的盛放太阳能电池5的托盘4，本实施例中设置了 4个托盘，如图2所示，所述输送平台3与驱动装置6连接。本实施例所述下电极板8与太阳能电池输送装置中的托盘4是一整体结构，托盘4与电源控制器9连接形成回路。托盘4与托盘4之间为电绝缘状态，如图3所示，托盘4采用的材料为金属导体。在一种有利实施方案中，托盘4选用铝及其合金。当设备启动时，输送平台3位于常压室2内，在托盘4中装入太阳能电池5后进入低压室I的工位进行工作程序；完毕后等低压室I恢复常压，通过打开的真空门13，输送平台3停于常压室2的冷却工位，由冷却平台14冷却。
[0030]本实施例所述直流偏压装置还包括一控制上电极板7或下电极板8运动的电极运动装置10，所述电极运动装置10与控制系统15连接。其中上电极板7与电极运动装置10连接，下电极板8由铝质金属托盘充当，当太阳能电池5正确进入工位后，电极运动装置10驱动上电极板7向下移动与太阳能电池5接触。作为替代方案，上电极板7固定，电极运动装置10安装于温控加热器11下方，当太阳能电池5处于正确工位后，电极运动装置10推动温控加热器11上升并且抬举托盘4脱离输送平台3直至太阳能电池5与上电极板7形成接触。
[0031]本实施例电源控制器9在上下电极与太阳能电池5接触时在电池正负两极施加恒定的直流电压，电压范围为0-500伏。在另外实施例中，作为替代方案，电源控制器9在上下电极与太阳能电池接触时在电池正负两极施加恒定的直流电流，电流范围为0-20安培。真空装置12用于维持低压室气压，由真空泵、真空计及电磁阀等组成。控制系统15用于控制包括太阳能电池的输送装置、电极运动装置10、温控加热器11、真空装置12、冷却平台14等操作，以便按照工艺条件设定输送装置的运动速度、直流偏压装置和加热器的工作参数以及控制冷却平台的冷却速率等功能。
[0032]本实施例上电极板7和下电极板8均是一平整的金属导体71，所述上电极板7安装有可伸缩的导电探针74，如图5所示，也可以是在上电极板7下方铺设有耐高温的导电橡胶73，如图4所示，使得上电极板7与太阳能电池5接触时形成弹性接触，目的在于保护太阳能电池5，以防碎裂。本实施例所述上电极板7、下电极板8上安装有压力传感器72，当电极与太阳能电池5之间的接触压力达到设定值时反馈到电极运动装置使电极停止运动。
[0033]本实施例低压室I中安装有温控加热器11，使太阳能电池5在承载电压时保持在设定温度，所述温控加热器11的工作温度范围为50-400摄氏度。太阳能电池5除了从温控加热器11中吸收热量之外，自身通电也会产生大量热量，导致太阳能电池5温度甚至超过温控加热器11的设定温度，本实施例所述温控加热器11是一个由加热管111发热的加热块，加热块与太阳能电池5接触通过热传导的方式加热，所述加热块中除了加热管111之外还含有冷却管道112，冷却管道112中有流动的冷却介质如空气、水、油等，通过控制冷却介质的流动带着太阳能电池5在温度失控时产生的多余热量，冷却管道112的目的在于消除太阳能电池5在通电过程中自身发热造成的温度失控，温控加热器11的设计如附图6所示。在另外实施例中，作为替代方案，所述温控加热器11是一组排列在太阳能电池5底部或环绕在太阳能电池四周的强光源，通过灯光烘烤加热的方式使太阳能电池5处于工作温度。
[0034]本实施例常压室2中安装有冷却平台14，冷却平台14是一个含有冷却管道的金属箱体，冷却平台14与太阳能电池5接触通过热传导的方式冷却，冷却管道中流通的冷却介质如空气、水或油带走热量。输送装置将完成处理的太阳能电池5推送到冷却平台14上，通过与冷却平台14表面接触传导散热。为实现最佳处理效果，要求将太阳能电池5以最快的速度冷却到室温，其冷却速率可通过控制气体或水的初始温度以及流量来实现。在另外实施例中，作为替代方案，为了实现更快的冷却速度，所述冷却平台14是一组气体喷淋装置，所述气体喷淋装置的喷嘴142围绕太阳能电池5设置，通过气体喷淋装置喷射预冷气体到太阳能电池5表面实现冷却，其结构如附图7、8所示，冷却气体通过气体管道141上的喷头142吹拂到太阳能电池四周以实现最佳的冷却效果。
【主权项】
1.一种太阳能电池的氢钝化设备，包括腔体，所述腔体隔成常压室和低压室，所述低压室与真空装置连接，所述腔体内安装有在常压室和低压室之间传送太阳能电池的输送装置，所述常压室内安装有控制系统和冷却平台，所述低压室内安装有使太阳能电池保持稳定温度的温控加热器，其特征在于:还包括一用于对太阳能电池施加偏压的直流偏压装置，所述直流偏压装置包括安装在低压室内的可相对运动后与太阳能电池接触后通电的上电极板和下电极板，所述上电极板和下电极板均与输出恒压或恒流的电源控制器连接，所述直流偏压装置、输送装置、温控加热器、真空装置、冷却平台均与控制系统连接。
2.如权利要求1所述的一种太阳能电池的氢钝化设备，其特征在于:所述电源控制器输出的是恒定直流电压，输出电压的调节范围为0-500伏，或者所述电源控制器输出的是恒定直流电流，输出电流的调节范围为0-20安培。
3.如权利要求1所述的一种太阳能电池的氢钝化设备，其特征在于:所述上电极板安装有可伸缩的导电探针或铺设有耐高温的导电橡胶。
4.如权利要求1所述的一种太阳能电池的氢钝化设备，其特征在于:所述下电极板与太阳能电池输送装置中的托盘是一整体结构，托盘与电源控制器连接形成回路。
5.如权利要求1所述的一种太阳能电池的氢钝化设备，其特征在于:所述上、下电极上安装有压力传感器。
6.如权利要求1~5之一所述的一种太阳能电池的氢钝化设备，其特征在于:所述温控加热器的工作温度范围为50-400摄氏度。
7.如权利要求6所述的一种太阳能电池的氢钝化设备，其特征在于:所述温控加热器是一个由加热管发热的加热块，所述加热块中含有冷却管道，或者所述温控加热器是一组排列在太阳能电池底部或环绕在太阳能电池四周的强光源。
8.如权利要求1所述的一种太阳能电池的氢钝化设备，其特征在于:所述冷却平台是一个含有冷却管道的金属箱体，或者所述冷却平台是一组气体喷淋装置，所述气体喷淋装置的喷嘴围绕太阳能电池设置。
9.如权利要求1所述的一种太阳能电池的氢钝化设备，其特征在于:所述输送装置包括输送平台，所述输送平台上设置有一个或者两个以上的盛放太阳能电池的托盘，所述输送平台与驱动装置连接。
10.如权利要求1所述的一种太阳能电池的氢钝化设备，其特征在于:所述直流偏压装置还包括一控制上电极板或下电极板运动的电极运动装置，所述电极运动装置与控制系统连接。
【专利摘要】一种太阳能电池的氢钝化设备，包括腔体，所述腔体由可开闭的真空门隔成常压室和低压室，所述低压室与真空装置连接，所述腔体内安装有在常压室和低压室之间传送太阳能电池的输送装置，所述常压室内安装有控制系统和冷却平台，所述低压室内安装有使太阳能电池保持稳定温度的温控加热器，还包括一用于对太阳能电池施加偏压的直流偏压装置，所述直流偏压装置包括安装在低压室内的可相对运动后与太阳能电池接触后通电的上电极板和下电极板，所述上电极板和下电极板均与输出恒压或恒流的电源控制器连接，所述直流偏压装置、输送装置、温控加热器、真空装置、冷却平台均与控制系统连接。
【IPC分类】H01L31-18
【公开号】CN204538068
【申请号】CN201520216840
【发明人】陈恩深
【申请人】陈恩深
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年4月13日