，有效地降低了设备成本。
[0032]较佳地，请继续参考图1和图2，所述龙门架200包括两个立柱210、两个Y向滑轨220、第一滑块230、X向滑轨240、第二滑块250、Z向滑轨260以及第三滑块270，所述两个立柱210沿Y向固定设置于所述大理石100上，所述两个Y向滑轨220分别固定于两个立柱210上，所述第一滑块230架设于所述两个Y向滑轨220上，并能够沿Y向滑动;所述X向滑轨240固定于所述第一滑块230上，所述第二滑块240安装于所述X向滑轨240上，并能够沿X向滑动;所述Z向滑轨260固定于所述第二滑块250上，所述第三滑块270安装于所述Z向滑轨260上，并能够沿Z向滑动;所述激光头固定安装于所述第三滑块270上。本实用新型利用龙门架200带动激光头进行X、Y、Z向的运动，配合基板台300的Rz向运动，以实现调焦和对准功能。
[0033]较佳地，所述第一滑块230、第二滑块250和第三滑块270的运动均采用无刷直线电机驱动，定位精度为± 5um，重复定位精度为± Ium，进一步提高定位精度。
[0034]较佳地，请继续参考图1和图2，所述基板台300包括基板吸盘310和Rz轴旋转电机320，所述Rz轴旋转电机320的定子部分固定于所述大理石100上，所述Rz轴旋转电机320的转子部分与所述基板吸盘310固定连接，所述基板吸盘310在所述Rz轴旋转电机320的带动下相对于所述大理石旋转，所述基板吸盘310对所述玻璃基板400进行吸附。
[0035]具体地，本实用新型中，龙门架200的X向、Y向以及基板台300的Rz向耦合运动，实现对准功能;所述龙门架200的Z向运动实现调焦功能。
[0036]较佳地，请重点参考图2，所述预定位机构包括三个定位销331以及一个推压机构332，所述定位销331固定于所述基板吸盘310上，所述推压机构332固定于所述大理石100上，具体地，其中两个定位销331设于所述玻璃基板400的第一边处，另一个定位销331设于与上述第一边相邻且垂直的第二边处，所述推压机构332设于与上述第一边和第二边组成的顶角相对的顶角处，换句话说，玻璃基板400的预定位由玻璃基板400的相邻两垂直边和三个定位销331共同完成，再利用推压机构332推动玻璃基板400与三个定位销331可靠接触，实现玻璃基板400的预定位，该预定位机构结构简单，定位精度高，使用寿命长。
[0037]实施例二
[0038]请重点参考图3，本实施例与实施例一的区别在于:所述定位销331上还设有一限位板334，所述限位板334位于所述玻璃基板400上方，起到导向约束作用，避免玻璃基板400弯曲变形;所述定位销331与所述基板吸盘310之间还设有一轴承333，所述玻璃基板400与所述轴承400的外圈接触，以实现定位功能。
[0039]综上所述，本实用新型提供的一种激光封装运动台，包括大理石100、龙门架200以及用于承载玻璃基板400的基板台300，其中，所述基板台300安装于所述大理石100上，并能够相对于所述大理石10沿Rz向旋转;所述基板台300上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板400在所述基板台300上的位置;所述激光头安装于所述龙门架200上，所述龙门架200带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。本实用新型中，整合了运动轴，将基板台300与龙门架200重复的运动自由度去掉，有效地降低了设备成本。预定位机构的结构简单，简化了影响定位精度的因素，有效的提高了预定位精度，延长了使用寿命。
[0040]显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种激光封装运动台，其特征在于，包括大理石、龙门架以及用于承载玻璃基板的基板台，其中， 所述基板台安装于所述大理石上，并能够相对于所述大理石沿Rz向旋转； 所述基板台上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板在所述基板台上的位置； 激光头安装于所述龙门架上，所述龙门架带动所述激光头沿X向、￥向和Z向滑动。2.如权利要求1所述的激光封装运动台，其特征在于，所述龙门架包括两个立柱、两个Y向滑轨、第一滑块、X向滑轨、第二滑块、Z向滑轨以及第三滑块，所述两个立柱沿Y向固定设置于所述大理石上，所述两个Y向滑轨分别固定于两个立柱上，所述第一滑块架设于所述两个Y向滑轨上，并能够沿Y向滑动;所述X向滑轨固定于所述第一滑块上，所述第二滑块安装于所述X向滑轨上，并能够沿X向滑动;所述Z向滑轨固定于所述第二滑块上，所述第三滑块安装于所述Z向滑轨上，并能够沿Z向滑动;所述激光头固定安装于所述第三滑块上。3.如权利要求2所述的激光封装运动台，其特征在于，所述第一滑块、第二滑块和第三滑块的运动均采用无刷直线电机驱动。4.如权利要求1所述的激光封装运动台，其特征在于，所述基板台包括基板吸盘和Rz轴旋转电机，所述Rz轴旋转电机的定子部分固定于所述大理石上，所述Rz轴旋转电机的转子部分与所述基板吸盘固定连接。5.如权利要求4所述的激光封装运动台，其特征在于，所述预定位机构包括三个定位销以及一个推压机构，所述定位销固定于所述基板吸盘上，所述推压机构固定于所述大理石上。6.如权利要求5所述的激光封装运动台，其特征在于，其中两个定位销设于所述玻璃基板的第一边处，另一个定位销设于与上述第一边相邻且垂直的第二边处，所述推压机构设于与上述第一边和第二边组成的顶角相对的顶角处。7.如权利要求5所述的激光封装运动台，其特征在于，所述定位销上还设有一限位板，所述限位板位于所述玻璃基板上方。8.如权利要求5所述的激光封装运动台，其特征在于，所述定位销与所述基板吸盘之间还设有一轴承，所述玻璃基板与所述轴承的外圈接触。
【专利摘要】本实用新型涉及一种激光封装运动台，包括大理石、龙门架以及用于承载玻璃基板的基板台，其中，所述基板台安装于所述大理石上，并能够相对于所述大理石沿Rz向旋转；所述基板台上设有预定位机构，所述预定位机构限定所述玻璃基板在所述基板台上的位置；激光头安装于所述龙门架上，所述龙门架带动所述激光头沿X向、Y向和Z向滑动。本实用新型中，整合了运动轴，将基板台与龙门架重复的运动自由度去掉，有效地降低了设备成本。预定位机构的结构简单，简化了影响定位精度的因素，有效的提高了预定位精度，延长了使用寿命。
【IPC分类】H01L51/56
【公开号】CN205282512
【申请号】CN201520972990
【发明人】梁德志, 葛军锋
【申请人】上海微电子装备有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年11月30日