掩膜处理装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种掩膜处理装置，其包括：装载部(100)，配备有用于分别取出夹具和掩膜并将其结合的多关节装载机器手(140)；处理部(200)，配备有处理组(210)和工程机器手(220)，所述处理组(210)配备有一个以上，所述工程机器手(220)从所述装载机器手(140)接收结合于夹具的掩膜并移动而经过所述处理组(210)；卸载部(300)，配备有多关节卸载机器手(330)，所述多关节卸载机器手(330)从所述处理部(200)接收已完成处理的结合于夹具的掩膜而分离夹具和掩膜，之后分别卸载所述分离的夹具和掩膜；以及夹具回收部(400)，与所述处理部(200)并排地配备于所述处理部(200)的上部，用于从所述卸载机器手(330)接收夹具并向所述装载部返送。
【专利说明】
掩膜处理装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种掩膜处理装置，尤其涉及一种能够将用于掩膜处理工序的夹具回收到原来的位置而再次使用的、减少了大小并简化了结构的掩膜处理装置。
【背景技术】
[0002]通常，使用有机电激发光显示装置(0LED;0rganic Light Emitting Display)等大面积基板的显示屏制造工序中，为了形成特定的薄膜而使用印网掩膜等掩膜。
[0003]对这种掩膜而言，要求高的清洁度以准确地形成所需的薄膜图案，因此需要周期性的清洗等处理工序。
[0004]现有的掩膜处理装置如韩国授权专利第10-1195565号中记载，使借助于机器手(robot)而装载的掩膜与从夹具堆积台取出的夹具结合，从而被其他机器手移送且在多个清洗组进行清洗。
[0005]图1是所述韩国授权专利第10-1195565号的摘要附图。
[0006]如图1所示，现有的掩膜处理装置包括:回收固定台10;陈列单元20，配备于所述回收固定台10的一侧;清洗单元30，配备于所述陈列单元20的一侧;排出固定台40，配备于所述清洗单元30的一侧;第一移送单元50，配备于所述回收固定台10和清洗单元30之间，第二移送单元60，配备于所述清洗单元30;第三移送单元70，配备于所述清洗单元30和排出固定台40之间；以及回收单元80，在所述回收固定台10和排出固定台40之间来回移送。
[0007]并且，其构成还包括待机固定台95和排出单元90。
[0008]在上述构成中，第一移送单元50起到如下的作用:移送陈列于陈列单元20的夹具并使其与位于回收固定台10的屏幕掩膜结合，之后将其转交给第二移送单元60，但省略了用于实质地装载屏幕掩膜的装载单元，在该部分中，通常多个机器手装载屏幕掩膜，取出夹具，并使夹具和屏幕掩膜结合后，转交给在清洗单元30的区间内进行来回运动的第二移送单元60。
[0009]如上所述，目前为了掩膜的装载、夹具的装载以及夹具和掩膜的结合、移送而使用多个机器手，但是在该情况下，不容易对多个机器手进行同步控制，且存在装置的大小相对变大的问题。
[0010]并且，还包括:回收单元80，将结合于夹具的屏幕掩膜清洗后，分离夹具和屏幕掩膜而回收夹具，并将其供应至所述陈列单元20。
[0011]为了夹具的连续且重复的使用而将夹具从清洗完毕的平面掩膜分离后，为了与新的掩膜结合，所述回收单元80形成在与第一至第三移送单元50、60、70不同的路径，如图1所示，与清洗单元30并排布置于在清洗单元30的一侧。
[0012]根据上述回收单元80的构成，因为掩膜处理装置的大小变大且结构复杂而导致需要维修的部分过多，因此存在装置的维护以及管理所需的费用也增加的问题。
【发明内容】
[0013]本实用新型为了解决上述问题而提出，其目的在于，提供一种如下的掩膜处理装置，为了将用于掩膜的处理工序的夹具回收到原位并再使用的装置中，减小其大小，简化结构，从而最小化需要维修的部分。
[0014]为了实现上述目的，本实用新型的掩膜处理装置I包括:装载部100，配备有用于分别取出夹具和掩膜并将其结合的多关节装载机器手140;处理部200，配备有处理组210和工程机器手220，所述处理组210配备有一个以上，所述工程机器手220从所述装载机器手140接收结合于夹具的掩膜并移动而经过所述处理组210;卸载部300，配备有多关节卸载机器手330，所述多关节卸载机器手330从所述处理部200接收已完成处理的结合于夹具的掩膜而分离夹具和掩膜，之后分别卸载所述分离的夹具和掩膜；以及夹具回收部400，与所述处理部200并排地配备于所述处理部200的上部，用于从所述卸载机器手330接收夹具并向所述装载部100返送。
[0015]所述夹具回收部400可以由穿梭输送机410构成，所述夹具安装于所述穿梭输送机410而被返送处理。
[0016]所述装载部100可以包括:夹具堆载部110，使所述夹具得到收纳;掩膜堆载部120，使所述掩膜得到收纳;组装部130，使从所述夹具堆载部110取出的夹具和从所述掩膜堆载部120取出的掩膜结合。
[0017]所述装载机器手140可以从所述夹具回收部400接收夹具，并使其被收纳在所述夹具堆载部110。
[0018]所述工程机器手220可以在所述处理部200上部向前后方向进行来回移动，并且进行上下升降移动以将所述结合于夹具的掩膜放置在所述处理组210内。
[0019]所述卸载部300可以包括:分离部310，用于使从工程机器手220接收的结合于夹具的掩膜分离;掩膜卸载部320，收纳从所述分离部310分离的掩膜。
[0020]所述卸载机器手330可以从位于所述分离部310的结合于夹具的掩膜分离掩膜后，使其被收纳在所述掩膜卸载部320，然后将留在所述分离部310的夹具转交给所述夹具回收部400。
[0021]对根据本实用新型的掩膜处理装置而言，通过将多关节机器手应用在装载部和卸载部，能够用一个装置进行所需处理操作，并且在处理部的上部与处理部并排地配备用于将掩膜处理工序中用到的夹具回收至原位而重新使用的夹具回收部，因此可以通过减少装置的大小而进行有效的使用，并且可以通过简化装置的结构而最小化需要维修的部分，从而提高运用装置的便利性。
【附图说明】
[0022]图1是现有掩膜处理装置的结构图。
[0023]图2是根据本实用新型的掩膜处理装置的平面图。
[0024]图3是根据本实用新型的掩膜处理装置的正面图。
[0025]附图符号
[0026]1:掩膜处理装置100:装载部
[0027]110:夹具堆载部120:掩膜堆载部
[0028]130:组装部140:装载机器手
[0029]200:处理部210:处理组
[0030]220:工程机器手300:卸载部
[0031]310:分离部320:掩膜卸载部
[0032]330:卸载机器手400:夹具回收部
[0033]410:穿梭输送机A:夹具
[0034]B:掩膜C:与夹具结合的掩膜
【具体实施方式】
[0035]以下，参照附图对本实用新型的优选实施例的构成以及作用进行详细的说明。
[0036]参照图2和图3，根据本实用新型的掩膜处理装置I包括:装载部100，配备有多关节装载机器手140，所述多关节装载机器手140用于分别取出夹具和掩膜并将其结合;处理部200，配备有处理组210和工程机器手220，所述处理组210配备有一个以上，所述工程机器手220从所述装载机器手140接收结合于夹具的掩膜并移动而经过所述处理组210;卸载部300，配备有多关节卸载机器手330，所述多关节卸载机器手330从所述处理部200接收已完成处理的结合于夹具的掩膜而分离夹具和掩膜，之后分别卸载所述被分离的夹具和掩膜；夹具回收部400，与所述处理部200并排地配备于所述处理部200的上部，用于从所述卸载机器手330接收夹具并向所述装载部100返送。
[0037]所述装载部100包括:夹具堆载部110，使夹具A得到收纳;掩膜堆载部120，使掩膜B得到收纳;组装部130，使从所述夹具堆载部110取出的夹具A和从所述掩膜堆载部120取出的掩膜B结合。
[0038]所述多关节装载机器手140从夹具堆载部110取出夹具A而使其位于组装部130，之后从掩膜堆载部120取出掩膜B并使其与位于所述组装部103的夹具A结合。所述多关节装载机器手140将结合于夹具的掩膜C转交给移动至处理部200的入口部的工程机器手220。
[0039]如上所述，相比现有的在装载部设置有用于掩膜的取出、夹具的取出、夹具和掩膜的结合、将结合的夹具和掩膜转交给工程机器手的多个机器手的情况，本实用新型中，通过使用多关节装载机器手140的多关节卸载机器手330，可以进一步简化装置的构成，并消除需要对每个机器手进行必要的控制编程的不便。
[0040]配备于所述处理部200的处理组210可以配备有多个，作为一实施例，可以由基于沉浸的清洗组、漂洗组、干燥组等构成。
[0041]所述工程机器手220可以构成为在处理部200上部向前后方向进行来回移动，同时为了将结合于夹具的掩膜C放置在处理组210内而进行上下升降移动。
[0042]所述结合于夹具的掩膜C在借助于所述工程机器手220而移动并完成处理工序后，被转交到卸载部300的多关节卸载机器手330。
[0043]对将结合于夹具的掩膜C转交给所述卸载机器手300的工程机器手220而言，其向装载部100侧移动而准备从装载机器手140接收需要后续处理的结合于夹具的掩膜C。
[0044]所述卸载部300包括:分离部310，用于使从工程机器手220接收的结合于夹具的掩膜C分离;掩膜卸载部320，收纳从所述分离部310分离的掩膜B。
[0045]所述卸载机器手330从位于所述分离部310的结合于夹具的掩膜C分离掩膜B并将其收纳在掩膜卸载部320，然后举起留在所述分离部310的夹具A而转交给夹具回收部400。
[0046]所述夹具回收部400执行使从卸载机器手330接收的夹具A向装载部100返送而转交给装载机器手140的功能，其特征在于，由如下方式构成:与处理部200并排地布置于处理部200的上部以减少设置空间。
[0047]本实施例中，所述夹具回收部400包括:穿梭输送机410，使夹具A被安装支撑而被返送处理；以及驱动部(未图示)，用于驱动该穿梭输送机410。但是，所述夹具回收部400只要是能够将从卸载部300回收的夹具A返送至装载部100侧的结构，自然可以改变成穿梭输送机410以外的结构而实施。
[0048]被所述夹具回收部400返送至装载部100侧的夹具A被装载机器手140接收，装载机器手140将接收到的夹具A收纳在夹具堆载部110并重新使用。
[0049]根据上述的本实用新型，可以通过在装载部100和卸载部300应用多关节机器手140、330而由一个装置来进行所需的处理操作，并且在处理部200的上部与所述处理部200并排地配备用于将掩膜处理工序中使用的夹具A回收到原位而再使用的夹具回收部400，从而可以通过减少掩膜处理装置的大小而实现设置空间的有效使用，并且可以通过简化装置的结构而最小化需要维修的部分。
【主权项】
1.一种掩膜处理装置，其特征在于，包括: 装载部(100)，配备有用于分别取出夹具和掩膜并将其结合的多关节装载机器手(140); 处理部(200)，配备有处理组(210)和工程机器手(220)，所述处理组(210)配备有一个以上，所述工程机器手(220)从所述装载机器手(140)接收结合于夹具的掩膜并移动而经过所述处理组(210); 卸载部(300)，配备有多关节卸载机器手(330)，所述多关节卸载机器手(330)从所述处理部(200)接收已完成处理的结合于夹具的掩膜而分离夹具和掩膜，之后分别卸载所述分离的夹具和掩膜;以及 夹具回收部(400)，与所述处理部(200)并排地配备于所述处理部(200)的上部，用于从所述卸载机器手(330)接收夹具并向所述装载部(100)返送。2.如权利要求1所述的掩膜处理装置，其特征在于， 所述夹具回收部(400)由穿梭输送机(410)构成，所述夹具安装于所述穿梭输送机(410)而被返送处理。3.如权利要求1所述的掩膜处理装置，其特征在于， 所述装载部(I 00)包括: 夹具堆载部(110)，使所述夹具得到收纳； 掩膜堆载部(120)，使所述掩膜得到收纳； 组装部(130)，使从所述夹具堆载部(I 10)取出的夹具和从所述掩膜堆载部(120)取出的掩膜结合。4.如权利要求3所述的掩膜处理装置，其特征在于， 所述装载机器手(140)从所述夹具回收部(400)接收夹具，并使其被收纳在所述夹具堆载部(110)。5.如权利要求1所述的掩膜处理装置，其特征在于， 所述工程机器手(220)在所述处理部(200)上部向前后方向进行来回移动，并且进行上下升降移动以将所述结合于夹具的掩膜放置在所述处理组(210)内。6.如权利要求1所述的掩膜处理装置，其特征在于， 所述卸载部(300)包括:分离部(310)，用于使从工程机器手(220)接收的结合于夹具的掩膜分离;掩膜卸载部(320)，收纳从所述分离部(310)分离的掩膜。7.如权利要求6所述的掩膜处理装置，其特征在于， 所述卸载机器手(330)从位于所述分离部(310)的结合于夹具的掩膜分离掩膜后，使其被收纳在所述掩膜卸载部(320)，然后将留在所述分离部(310)的夹具转交给所述夹具回收部(400)。
【文档编号】H01L21/70GK205542788SQ201620307265
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年4月13日
【发明人】白云泳, 鲁正勋
【申请人】K.C.科技股份有限公司