一种在线式薄膜电池膜面清洁装置的制造方法
【专利摘要】一种在线式薄膜电池膜面清洁装置，包括镀膜机，镀膜机连接传动线，传动线上设有薄膜电池，所述传动线上设有吹扫机，所述吹扫机包括外壳、抽风机、风刀，外壳两侧边底部各设有2个位置调节器，外壳一侧还设有控制器，外壳一侧设有抽风机，外壳相对抽风机的另一侧设有由旋转轴固定在外壳上的风刀，所述风刀上设有CDA气口，风刀连接CDA气管，所述外壳前后两端外部各设有一个感应器。该装置在薄膜太阳能电池生产过程中，薄膜电池芯片在进行磁控溅射镀膜之前，进行表面粉尘及异物的清理，降低因粉尘或异物导致磁控溅射镀膜质量变差的影响，进而提高薄膜电池产品性能及质量，具有结构简单、效率高、操作方便、易安装的特点。
【专利说明】
一种在线式薄膜电池膜面清洁装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种在线式薄膜电池膜面清洁装置。
【背景技术】
[0002]在薄膜太阳能电池生产过程中，由于工艺本身及车间环境等不良因素，薄膜电池芯片或衬底表面不可避免会残留粉尘或落上异物，在薄膜电池芯片或衬底经过磁控溅射沉积镀膜时，粉尘或异物脱落，造成膜层透空，影响功能膜层的成膜质量，进而影响薄膜电池产品的电性能。
[0003]因此在薄膜电池芯片或衬底镀膜之前，需要把残留在膜面或衬底上的粉尘、异物等清洁干净，减少磁控溅射镀膜过程中因粉尘、异物导致的膜层脱膜及透空。目前还没有比较有效的措施，临时措施是直接用CDA对膜面进行吹扫，这样做会有两个弊端:一方面，对膜面有损坏;另一方面会造成洁净车间的污染，得不偿失。因此对薄膜电池膜面或衬底表面粉尘及异物的清洁是薄膜太阳能电池生产工艺中不可忽略的问题。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型其目的就在于提供一种在线式薄膜电池膜面清洁装置，解决了薄膜电池芯片在进行磁控溅射镀膜之前，因表面粉尘或异物导致磁控溅射镀膜质量变差的影响，进而降低了薄膜电池产品性能及质量的问题，具有结构简单、效率高、操作方便、易安装的特点。
[0005]实现上述目的而采取的技术方案，包括镀膜机，镀膜机连接传动线，传动线上设有薄膜电池，所述传动线上设有吹扫机，所述吹扫机包括外壳、抽风机、风刀，外壳两侧边底部各设有2个位置调节器，外壳一侧还设有控制器，外壳一侧设有抽风机，外壳相对抽风机的另一侧设有由旋转轴固定在外壳上的风刀，所述风刀上设有CDA气口，风刀连接CDA气管，所述外壳前后两端外部各设有一个感应器。
[0006]有益效果
[0007]与现有技术相比本实用新型具有以下优点。
[0008]本实用新型在薄膜太阳能电池生产过程中，薄膜电池芯片在进行磁控溅射镀膜之前，进行表面粉尘及异物的清理，降低因粉尘或异物导致磁控溅射镀膜质量变差的影响，进而提高薄膜电池产品性能及质量，具有结构简单、效率高、操作方便、易安装的特点。
【附图说明】
[0009]以下结合附图对本实用新型作进一步详述。
[00?0]图1为本实用新型结构俯视不意图；
[0011 ]图2为本实用新型结构剖面示意图。
[0012]图中所示:薄膜电池1、传动线2、吹扫机3、抽风机4、控制器5、感应器6、位置调节器7、外壳8、风刀9、CDA气口 10、镀膜机11、粉尘或异物12、CDA气管13、旋转轴14。
【具体实施方式】
[0013]本装置包括镀膜机11，镀膜机11连接传动线2，传动线2上设有薄膜电池I，如图1、图2所示，所述传动线2上设有吹扫机3，所述吹扫机3包括外壳8、抽风机4、风刀9，外壳8两侧边底部各设有2个位置调节器7，外壳8—侧还设有控制器5，外壳8—侧设有抽风机4，外壳8相对抽风机4的另一侧设有由旋转轴14固定在外壳8上的风刀9，所述风刀9上设有CDA气口1，风刀9连接CDA气管13，所述外壳8前后两端外部各设有一个感应器6。
[0014]所述抽风机4设有2个，抽风机4设置在薄膜电池I进入吹扫机3的入口端。
[0015]工作原理
[0016]首先把CDA气管13前端压力值调节到工艺所需的参数，然后打开控制器5，装置可以正常工作，在工作过程中，薄膜电池I在传动线2传输到第一个感应器6时，抽风机4开始工作，气体⑶A气管13进入到风刀9，CDA气口 1开始吹扫薄膜电池I表面，把表面上的粉尘或异物12扬起，然后会被抽到抽风机4内处理；当薄膜电池I被传输到第二个感应器6时，控制器5控制各部分工作部件停止工作，可以起到节约资源的作用，使装置使用效率最高。
【主权项】
1.一种在线式薄膜电池膜面清洁装置，包括镀膜机(11)，镀膜机(11)连接传动线(2)，传动线(2)上设有薄膜电池(1)，其特征在于，所述传动线(2)上设有吹扫机(3)，所述吹扫机(3)包括外壳(8)、抽风机(4)、风刀(9)，外壳(8)两侧边底部各设有2个位置调节器(7)，外壳(8)—侧还设有控制器(5)，外壳(8)—侧设有抽风机(4)，外壳(8)相对抽风机(4)的另一侧设有由旋转轴(14)固定在外壳(8)上的风刀(9)，所述风刀(9)上设有CDA气口(10)，风刀(9)连接CDA气管(13)，所述外壳(8)前后两端外部各设有一个感应器(6)。2.根据权利要求1所述的一种在线式薄膜电池膜面清洁装置，其特征在于，所述抽风机(4)设有2个，抽风机(4)设置在薄膜电池(I)进入吹扫机(3)的入口端。
【文档编号】H01L21/67GK205657045SQ201620391871
【公开日】2016年10月19日
【申请日】2016年5月4日 公开号201620391871.5, CN 201620391871, CN 205657045 U, CN 205657045U, CN-U-205657045, CN201620391871, CN201620391871.5, CN205657045 U, CN205657045U
【发明人】魏小涛, 王宏杰, 周志虎
【申请人】江西共青城汉能薄膜太阳能有限公司