半导体装置制造方法

文档序号:7350767阅读:106来源:国知局
半导体装置制造方法
【专利摘要】网格状的分隔部(1)构成多个收容部(2)。半导体组块(4)、端子台组块(5)等多个电路组块在分别被收容于收容部(2)的状态下,彼此电连接而构成功率半导体电路。半导体组块(4)是利用绝缘体(8)将IGBT(7)覆盖而形成组块的。IGBT(7)的集电极经由金属板(11)与电极(12)连接。电极(12)从绝缘体(8)内部引出至绝缘体(8)的侧面。端子台组块(5)具有:电力端子(15),其与对IGBT(7)供给电力的外部的电力配线进行电连接;以及螺钉孔(16),其供用于固定电力配线的螺钉插入。
【专利说明】半导体装置

【技术领域】
[0001]本发明涉及一种能够容易地构成复杂的功率半导体电路的半导体装置。

【背景技术】
[0002]功率IGBT的通常的驱动电路,是将2inl构造等IGBT和FWD搭载于上桥臂侧和下桥臂侧的桥构造。但是,不使用稀土类磁体等的SR电动机的驱动电路等无法适用通常的半桥电路的驱动电路也在日益实用化(例如,参照专利文献I)。另外,提出了下述技术,即,将附设有电气电路的组块部件配置于设置为网格状的划分部件之间,从而构成半导体电路(例如,参照专利文献2)。
[0003]专利文献1:日本特开平11-191995号公报
[0004]专利文献2:日本特开2005-260018号公报


【发明内容】

[0005]在组合多个半导体模块而构成如专利文献I所述的不普通的复杂的功率半导体电路的情况下,半导体模块间的连接变得复杂。另外,在专利文献2的技术中,以内置干电池等低压的电源为前提,由于没有考虑与外部的高电压电源的连接,因此无法应用于功率半导体电路。
[0006]本发明就是为了解决上述课题而提出的,其目的是得到一种能够容易地构成复杂的功率半导体电路的半导体装置。
[0007]本发明所涉及的半导体装置的特征在于,具备:网格状的分隔部,其构成多个收容部;以及多个电路组块,它们在被收容于所述多个收容部的状态下,彼此电连接而构成功率半导体电路,所述多个电路组块至少包含半导体组块以及端子台组块,其中,所述半导体组块具有:半导体元件;绝缘体,其覆盖所述半导体元件;以及电极,其与所述半导体元件连接,并从所述绝缘体引出,所述端子台组块具有:电力端子,其与对所述半导体元件供给电力的外部的电力配线进行电连接;以及螺钉孔,其供用于固定所述电力配线的螺钉插入。
[0008]发明的效果
[0009]根据本发明,能够容易地构成复杂的功率半导体电路。

【专利附图】

【附图说明】
[0010]图1是表示本发明的实施方式所涉及的功率半导体电路的电路图。
[0011]图2是表示本发明的实施方式I所涉及的半导体装置的剖面图。
[0012]图3是沿着图2的1-1I线的剖面图。
[0013]图4是表示对图3的装置进行组装的情况的剖面图。
[0014]图5是表示本发明的实施方式2所涉及的半导体装置的剖面图。
[0015]图6是表示本发明的实施方式3所涉及的半导体装置的剖面图。
[0016]图7是表示本发明的实施方式4所涉及的半导体装置的剖面图。
[0017]图8是表示对图7的装置进行组装的情况的剖面图。

【具体实施方式】
[0018]参照附图,对本发明的实施方式所涉及的半导体装置进行说明。有时对相同或者相对应的结构要素,标注相同的标号,省略重复的说明。
[0019]实施方式1.
[0020]图1是表示本发明的实施方式所涉及的功率半导体电路的电路图。该电路是SR电动机用的驱动电路。驱动电路中,晶体管Trl?Tr6分别与二极管Dl?D6串联连接,它们与高电压的电源连接。
[0021]图2是表示本发明的实施方式I所涉及的半导体装置的剖面图。该装置构成了图1的由虚线包围的电路。图3是沿图2的1-1I线的剖面图。图4是表示对图3的装置进行组装的情况的剖面图。
[0022]网格状的分隔部I构成多个收容部2。冷却器3配置于分隔部I的下方。半导体组块4、端子台组块5以及母线条组块6等电路组块,在分别被收容于收容部2的状态下彼此电连接而构成功率半导体电路。电路组块的外形形成为与收容部2的网格尺寸一致的正方形。
[0023]半导体组块4 是利用绝缘体 8 将 IGBT 7 (Insulated Gate Bipolar Transistor)覆盖而形成组块的。IGBT 7经由绝缘片10以及金属板11而安装于冷却体9上。IGBT 7的集电极经由金属板11与电极12连接,IGBT 7的发射极与电极13连接。电极12、13从绝缘体8内部引出至绝缘体8的侧面。
[0024]端子台组块5构成为在绝缘组块14上设置有电力端子15。对IGBT 7供给电力的外部的电力配线与该电力端子15电连接。另外,在绝缘组块14设置有螺钉孔16,该螺钉孔16供用于固定电力配线的螺钉插入。
[0025]母线条组块6利用绝缘体18将作为导体的母线条17覆盖而形成组块,使母线条17的两端引出至绝缘体18的侧面。这里虽然省略图示,但作为电路组块,也使用利用绝缘体将二极管覆盖而形成组块的结构、利用绝缘体将电容覆盖而形成组块的结构、利用绝缘体将电感元件覆盖而形成组块的结构。
[0026]壁面电极19分别设置于多个收容部2的壁面。在相邻的收容部2之间,壁面电极19经由贯穿分隔部I的贯穿电极20而彼此电连接。在半导体组块4被收容于收容部2的状态下,半导体组块4的电极12与壁面电极19接触而电连接。在端子台组块5被收容于收容部2的状态下,端子台组块5的电力端子15与壁面电极19接触而电连接。由此,端子台组块5的电力端子15与半导体组块4的IGBT 7的集电极进行电连接。
[0027]通过如上所述将各种电路组块组合并收容至收容部2而进行电连接,从而即使是复杂的电路,也能够容易地构成。另外,通过端子台组块5能够获得与外部的高电压电源的电连接,因此也能够适用于功率半导体电路。因此,利用本实施方式,能够容易地构成复杂的功率半导体电路。
[0028]此外,在半导体组块4的上表面设置连接器,利用通信线缆与控制IGBT 7的控制电路连接。由此,能够在任意状态下向多个半导体组块4连接所需要数量的控制电路。另夕卜,也可以在半导体组块4设置受光部,利用光通信与控制电路连接。由此,能够容易地将低电压侧和高电压侧绝缘分离。
[0029]实施方式2.
[0030]图5是表示本发明的实施方式2所涉及的半导体装置的剖面图。冷却器3具有使水等冷却介质通过的冷却介质路径21。与半导体组块4的IGBT 7热连接的冷却体9 (散热片)从绝缘体8的下表面凸出。在半导体组块4被收容于收容部2的状态下,半导体组块4的冷却体9与冷却介质路径21连接而构成冷却系统。利用该结构,能够高效率地对半导体组块4的IGBT 7进行冷却。
[0031]实施方式3.
[0032]图6是表示本发明的实施方式3所涉及的半导体装置的剖面图。使半导体组块4的高度比其他电路组块的高度低,将控制IGBT 7的控制基板22配置于半导体组块4上。按压板23经由弹簧或橡胶等干涉材料24,将控制基板22按压至半导体组块4。按压板23通过螺钉25而固定于分隔部I。
[0033]在半导体组块4的绝缘体8的上表面,配置有与IGBT 7的栅极电连接的控制电极
26。以与该控制电极26相对的方式,在控制基板22的反面设置有输出电极27。
[0034]受到按压板23按压的控制基板22的输出电极27,与控制基板22的控制电极26接触而电连接。另外,还能够确保半导体组块4和冷却器3的热连接。因此,能够一体地确保电连接和热连接,从而使组装变得容易。
[0035]实施方式4.
[0036]图7是表示本发明的实施方式4所涉及的半导体装置的剖面图。图8是表示对图7的装置进行组装的情况的剖面图。半导体组块28和半导体组块29通过母线条组块30而彼此电连接,构成功率半导体电路。
[0037]母线条组块30是利用绝缘体32将母线条31覆盖而形成组块的,2个引脚33、34与母线条31的两端分别电连接,从绝缘体32向下凸出。
[0038]半导体组块28是利用绝缘体35将IGBT 7覆盖而形成组块的。插入电极36、37与IGBT 7的发射极以及集电极分别电连接,其中,该插入电极36、37在绝缘体35的上表面具有插入口。
[0039]半导体组块29是利用绝缘体39将二极管38覆盖而形成组块的。插入电极40、41与二极管38的负极以及正极分别电连接,其中,该插入电极40、41在绝缘体39的上表面具有插入口。
[0040]母线条组块6的引脚33插入至半导体组块28的插入电极36而进行电连接,引脚34插入至半导体组块29的插入电极40而进行电连接。由此,半导体组块28的IGBT 7的发射极和半导体组块29的二极管38的负极电连接。
[0041]通过如上所述将各种半导体组块组合并利用母线条组块6使它们电连接,从而即使不存在如实施方式I所示的收容部,也能够容易地构成功率半导体电路。另外,通过将配线方向不同的母线条组块6组合,从而能够容易地变更连接位置。
[0042]标号的说明
[0043]I分隔部、2收容部、3冷却器、4半导体组块(电路组块)、5端子台组块(电路组块)、7IGBT (半导体元件)、8绝缘体、9冷却体、12电极、15电力端子、16螺钉孔、19壁面电极、21冷却介质路径、22控制基板、23按压板、26控制电极、27输出电极、28、29半导体组块、30母线条组块、31母线条、32绝缘体(第I绝缘体)、33、34引脚、35、39绝缘体(第2绝缘体)、36、37、40、41插入电极、38 二极管(半导体元件)
【权利要求】
1.一种半导体装置,其特征在于,具备: 网格状的分隔部,其构成多个收容部;以及 多个电路组块,它们在被收容于所述多个收容部的状态下,彼此电连接而构成功率半导体电路, 所述多个电路组块至少包含半导体组块以及端子台组块,其中, 所述半导体组块具有:半导体元件;绝缘体,其覆盖所述半导体元件;以及电极,其与所述半导体元件连接,并从所述绝缘体引出, 所述端子台组块具有:电力端子,其与对所述半导体元件供给电力的外部的电力配线进行电连接;以及螺钉孔,其供用于固定所述电力配线的螺钉插入。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于, 还具备壁面电极,该壁面电极分别设置于所述多个收容部的壁面,在相邻的所述收容部之间彼此电连接, 在所述半导体组块被收容于所述收容部的状态下,所述半导体组块的所述电极与所述壁面电极接触而电连接, 在所述端子台组块被收容于所述收容部的状态下,所述端子台组块的所述电力端子与所述壁面电极接触而电连接。
3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于, 还具备冷却器,该冷却器配置于所述分隔部的下方,具有使冷却介质通过的冷却介质路径, 所述半导体组块还具有冷却体,该冷却体与所述半导体元件热连接,从所述绝缘体的下表面凸出, 在所述半导体组块被收容于所述收容部的状态下,所述半导体组块的所述冷却体与所述冷却介质路径连接而构成冷却系统。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,其特征在于,还具备: 控制基板,其配置于所述半导体组块上,控制所述半导体元件;以及 按压板,其将所述控制基板按压至所述半导体组块, 所述半导体组块还具有控制电极,该控制电极配置于所述绝缘体的上表面,与所述半导体元件的控制端子电连接, 受到所述按压板按压的所述控制基板的输出电极,与所述控制基板的所述控制电极接触而电连接。
5.一种半导体装置,其特征在于, 具备多个母线条组块和多个半导体组块,其中, 所述多个母线条组块具有:母线条;第I绝缘体,其覆盖所述母线条;以及2个引脚,它们分别与所述母线条的两端电连接,从所述第I绝缘体向下凸出, 所述多个半导体组块通过所述多个母线条组块而彼此电连接,构成功率半导体电路, 各半导体组块具有: 半导体元件; 第2绝缘体,其覆盖所述半导体元件;以及 插入电极,其在所述第2绝缘体的上表面具有插入口,与所述半导体元件电连接,所述母线条组块的所述引脚插入至所述半导体组块的所述插入电极而电连接。
【文档编号】H02M7/00GK104335472SQ201280073601
【公开日】2015年2月4日 申请日期:2012年5月28日 优先权日:2012年5月28日
【发明者】宫本昇 申请人:三菱电机株式会社
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