一种多极片层叠式电流体动力微泵的制作方法_2

文档序号:8474686阅读:来源:国知局
的液体通孔与其相邻层电极片上的液体通孔开设位置相反;所述上层硅胶膜3、中层硅胶膜5和下层硅胶膜7的中部均开设有槽孔,每层电极片上的液体通孔均与其相邻硅胶膜上的槽孔连通;
[0033]在所述上盖板2对应于集电极和发射极末端的这端,开设有液体流出孔2-1。
[0034]如图1、图5所示。每层电极片上的液体通孔均与其相邻硅胶膜上的矩形槽孔连通,液体由下层电极片8上的液体通孔进入后再由上盖板2上的液体流出孔2-1流出,形成“S”型串联液体通道;每层电极片上的集电极末端连接直流电源负极,发射极末端连接直流电源正极,接通500V直流电源,利用电流体动力效应驱动液体流动。
[0035]所述上层电极片4与下层电极片8的集电极及发射极排布顺序与中层电极片6的排布顺序相反。
[0036]所述上层电极片4与下层电极片8的梳齿状电极,由梳齿状电极始端至末端的排布顺序依次为发射极、集电极。
[0037]所述中层电极片6的梳齿状电极,由梳齿状电极始端至末端的排布顺序依次为集电极、发射极。
[0038]所述梳齿状电极阵列中相邻的集电极与发射极构成一对电极对,该电极对的对数为24对。
[0039]上述三层电极片电极梳线线宽为0.3mm,所述电极对的两个梳线之间的距离为0.2mm,电极对之间的距离为0.3mm。电极部分(梳齿状电极阵列)外围尺寸为25.8mmX6.6mm0
[0040]所述槽孔为圆角矩形槽孔,槽孔长度18mm,宽度3mm。
[0041]所述上盖板2的液体流出孔2-1 (直径均为3mm)连接液体流出管I ;所述下层电极片8的液体通孔8-1 (直径均为3mm)连接液体流入管9。
[0042]在使用时,先将液体流入管9和液体流出管I与外部循环系统连接,让液体充满整个“S”型微泵腔室。然后连接500V直流电源,利用电流体动力效应驱动液体流动。本电流体动力微泵采用多极片层叠式结构,三层腔室利用液体通孔相连,构成“串联”液体通道。三层电极片同时产生电场,增强了对离子的拖拽作用,大幅度提高了电流体动力泵的动力效果O
[0043]如上所述,便可较好地实现本发明。
[0044]本发明的实施方式并不受上述实施例的限制,其他任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种多极片层叠式电流体动力微泵,其特征在于,包括自上而下依次设置、并且边缘相互密封结合的:上盖板(2)、上层硅胶膜(3)、上层电极片(4)、中层硅胶膜(5)、中层电极片(6)、下层硅胶膜(7)和下层电极片⑶; 所述上层电极片(4)、中层电极片(6)和下层电极片⑶上表面,均由向上凸起的集电极和发射极构成,集电极与发射极之间相互间隔并交错排布,构成梳齿状电极阵列;集电极和发射极的末端分别用导线引至梳齿状电极阵列之外; 所述上层电极片(4)、下层电极片(8)和中层电极片(6)的一个端部分别开设有液体通孔(8-1);其中,每层电极片上的液体通孔与其相邻层电极片上的液体通孔开设位置相反;所述上层硅胶膜(3)、中层硅胶膜(5)和下层硅胶膜(7)的中部均开设有槽孔,每层电极片上的液体通孔均与其相邻硅胶膜上的槽孔连通; 在所述上盖板(2)对应于集电极和发射极末端的这端,开设有液体流出孔(2-1)。
2.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵,其特征在于,每层电极片上的液体通孔均与其相邻硅胶膜上的矩形槽孔连通,液体由下层电极片(8)上的液体通孔进入后再由上盖板(2)上的液体流出孔(2-1)流出,形成“S”型串联液体通道;每层电极片上的集电极末端连接直流电源负极,发射极末端连接直流电源正极。
3.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵,其特征在于,所述上层电极片⑷与下层电极片⑶的集电极及发射极排布顺序与中层电极片(6)的排布顺序相反。
4.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵,其特征在于,所述上层电极片(4)与下层电极片(8)的梳齿状电极,由梳齿状电极始端至末端的排布顺序依次为发射极、集电极。
5.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵,其特征在于,所述中层电极片(6)的梳齿状电极,由梳齿状电极始端至末端的排布顺序依次为集电极、发射极。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的多极片层叠式电流体动力微泵,其特征在于,所述梳齿状电极阵列中相邻的集电极与发射极构成一对电极对,该电极对的对数为24对。
7.根据权利要求6所述的多极片层叠式电流体动力微泵,其特征在于,所述槽孔为圆角矩形槽孔。
8.根据权利要求6所述的多极片层叠式电流体动力微泵,其特征在于,所述槽孔长度18mm,宽度 3_。
9.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵,其特征在于,所述上盖板(2)的液体流出孔(2-1)连接液体流出管⑴;所述下层电极片⑶的液体通孔(8-1)连接液体流入管(9)。
【专利摘要】本发明公开了一种多极片层叠式电流体动力微泵,包括自上而下依次设置的:上盖板、上中下三层硅胶膜、上中下三层电极片等构成;上中下层电极片上的集电极和发射极构成梳齿状电极阵列;所述三层硅胶膜中间均加工出圆角矩形沟槽,在组装后与三层电极片通孔构成“S”型微泵腔室。使用时,先将液体流入管和液体流出管与外部循环系统连接,让液体充满整个腔室。然后连接500V直流电源,利用电流体动力效应驱动液体流动。本电流体动力微泵采用多极片层叠式结构,三层腔室利用通孔相连,构成“串联”液体通道。三层电极片同时产生电场,增强了对离子的拖拽作用,大幅度提高了电流体动力泵的动力效果。
【IPC分类】H02K44-02
【公开号】CN104795963
【申请号】CN201510121041
【发明人】柳俊城, 陈伯扦, 万珍平, 邵浩然, 马明怡, 谢松汝
【申请人】华南理工大学
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2015年3月19日
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