弹性波装置的制作方法

文档序号:12143200阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种弹性波装置,具备:

压电基板;

IDT电极,其层叠在所述压电基板上,具有第1、第2汇流条、和与该第1、第2汇流条连接的第1、第2电极指;

安装电极,其与所述IDT电极电连接;

保护膜,其被形成为覆盖所述IDT电极;和

热传导性材料层,其具有绝缘性,形成在除了所述IDT电极的激励区域上以及所述安装电极上以外的区域的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,

所述弹性波装置还具备:

布线电极,其被设置为将所述IDT电极的所述第1、第2汇流条和所述安装电极连接。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置,其中,

所述布线电极具有将2个金属层层叠的层叠结构。

4.根据权利要求2所述的弹性波装置,其中,

所述热传导性材料层被设置为与所述布线电极的至少一部分相接。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置,其中,

所述热传导性材料层层叠在所述布线电极上。

6.根据权利要求4所述的弹性波装置,其中,

所述热传导性材料层被所述布线电极以及所述压电基板所夹。

7.根据权利要求4~6中任一项所述的弹性波装置,其中,

所述热传导性材料层与所述布线电极相邻。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的弹性波装置,其中,

所述热传导性材料层与所述安装电极连接。

9.根据权利要求1~8中任一项所述的弹性波装置,其中,

所述热传导性材料层的厚度厚于所述保护膜的厚度。

10.根据权利要求1~9中任一项所述的弹性波装置,其中,

所述保护膜由SiO2和SiN当中至少一方构成。

11.根据权利要求1~10中任一项所述的弹性波装置,其中,

所述热传导性材料层由从氧化铝、蓝宝石、氮化铝、金刚石、掺杂钪的氮化铝、SiO2以及SiN所构成的群中选择的至少1种电介质构成。

12.根据权利要求1~11中任一项所述的弹性波装置,其中,

构成梯型的滤波器电路。

13.根据权利要求12所述的弹性波装置,其中,

所述梯型的滤波器电路的串联臂谐振器当中除了与所述安装电极连接的谐振器以外的谐振器和所述安装电极通过所述热传导性材料层连接。

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