技术总结
原子束源(10)具备：筒状的阴极(20)，其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30)；设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40；以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50)；通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成，从而抑制溅射粒子的射出，该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。
技术研发人员：辻裕之;高桥知典;近藤好正;北村和正;赤尾隆嘉;长江智毅
受保护的技术使用者：日本碍子株式会社
文档号码：201680002242
技术研发日：2016.08.18
技术公布日：2017.05.10