吸嘴检查装置的制作方法

技术领域

本发明涉及对吸附元件的吸嘴进行检查的装置。

背景技术：

以往提出有专利文献1所示的电子元件安装装置的方案。这样的电子元件安装装置是利用吸嘴对所供给的电子元件进行吸附并搬运至电子基板的安装位置而将该电子元件安装到电子基板上的装置。

随着电子元件安装装置的运转，在吸嘴的吸嘴孔内蓄积有焊料、尘埃等异物。这样一来，由吸嘴产生的电子元件的吸附力下降，在最差的情况是，导致无法利用吸嘴吸附电子元件或由吸嘴吸附的电子元件脱落等情况，可能生产出不良基板。因此，定期地从电子元件安装装置将吸嘴拆卸，利用超声波清洗机或钻孔装置等清扫装置对拆卸下来的吸嘴的吸嘴孔进行清扫。

专利文献

专利文献1：日本特开2004-179636号公报

然而，由于吸嘴孔的内部难以目视确认，因此难以确认吸嘴孔的清扫是否可靠地进行，在吸嘴孔内残存有异物时，会产生由上述的吸嘴产生的电子元件的抽吸力下降的问题。

技术实现要素：

本发明鉴于这样的情况而作出，提供一种能够检查清扫后的吸嘴的清扫状态的吸嘴检查装置。

为了解决上述的课题，根据技术方案1的本发明是一种吸嘴检查装置，对用于吸附元件的吸嘴的清扫状态进行检查，该吸嘴检查装置具备：安装台；吸嘴保持托盘，以能够旋转的方式设于上述安装台，且在圆周上等间隔地设有以垂直状态保持上述吸嘴的多个吸嘴保持部；旋转装置，使上述吸嘴保持托盘每次旋转规定的旋转角而使上述吸嘴保持部依次转位到检查位置；吸嘴连接部，以能够沿着上下方向移动的方式设置，与在转位到上述检查位置的上述吸嘴的基端开口的吸嘴孔连接，以供给或抽吸空气；流量检测部，检测经由上述吸嘴连接部供给至上述吸嘴孔的空气的流量或经由上述吸嘴连接部从上述吸嘴孔抽吸的空气的流量；及清扫状态判定部，基于由上述流量检测部检测出的空气的流量，来判定上述吸嘴的清扫状态。

技术方案2的发明以技术方案1或2为基础，其中，在上述旋转装置上具有能够相对于上述安装台旋转的转台，上述吸嘴保持托盘以能够拆装的方式安装于上述转台。

技术方案3的发明以技术方案1或2为基础，其中，上述吸嘴检查装置具有对上述吸嘴的前端部进行拍摄的吸嘴拍摄装置，上述清扫状态判定部基于由上述吸嘴拍摄装置拍摄到的上述吸嘴的前端部的图像来判定上述吸嘴的清扫状态。

技术方案4的发明以技术方案1至3中任一项为基础，其中，在上述吸嘴上设有记载或存储用于识别该吸嘴的识别信息的识别部，上述吸嘴检查装置具有：识别信息读取部，读取上述识别部的识别信息；及对应建立部将，将由上述清扫状态判定部判定的上述吸嘴的清扫状态与由上述识别信息读取部读取的上述识别信息建立对应地进行存储。

技术方案5的发明以技术方案4的发明为基础，其中，上述识别部是用于识别上述吸嘴的图案，上述识别信息读取部是拍摄上述图案的识别部拍摄装置，上述清扫状态判定部基于由上述识别部拍摄装置拍摄到的图案的污损状态来判定上述吸嘴的清扫状态。

技术方案6的发明以技术方案1至5中任一项为基础，其中，在上述吸嘴保持托盘或上述转台上，在与上述各吸嘴保持部对应的位置分别设有显示上述吸嘴的清扫状态是否良好的结果的显示部，上述吸嘴检查装置具有判定结果反映部，该判定结果反映部基于上述清扫状态判定部对上述吸嘴的清扫状态的判定结果使上述显示部反映上述吸嘴的清扫状态是否良好的结果。

发明效果

根据技术方案1的发明，清扫状态判定部基于由流量检测部检测出的流通吸嘴孔的空气的流量来判定吸嘴的清扫状态。即，清扫状态判定部在判断为流通吸嘴孔的空气的流量低于规定的适当值的下限时，判定为吸嘴孔内残存有异物、吸嘴的清扫状态不充分。这样一来，通过使空气实际流通于吸嘴孔，判断吸嘴孔内是否残存有异物，从而判定吸嘴的清扫状态，因此能够可靠地检测吸嘴的抽吸力的下降，能够可靠地检测清扫后的吸嘴的清扫状态。

根据技术方案2的发明，吸嘴保持托盘以能够拆装的方式安装于转台。由此，在将使用后的吸嘴由吸嘴保持托盘保持的状态下，能够利用清扫装置对吸嘴进行清扫，因此无需为了检查吸嘴的清扫状态而将清洗后的吸嘴向吸嘴保持托盘移换，作业性良好。

根据技术方案3的发明，清扫状态判定部基于由吸嘴拍摄装置拍摄到的吸嘴的前端部的图像来判定吸嘴的清扫状态。即，清扫状态判定部基于拍摄到的吸嘴的前端部的图像而判断为在吸嘴的前端部开口的吸嘴孔处残存有异物时，判定为吸嘴的清扫状态不充分。由此，除了基于使空气流通吸嘴孔的检查之外，还检查吸嘴孔的开口部的异物的有无残存，因此能够检测吸嘴的抽吸力下降的征兆。而且，能够防止异物从吸嘴孔的开口部落下。而且，清扫状态判定部基于拍摄到的吸嘴的前端部的图像而判断为吸嘴的前端部的外周部附着有异物时，判定为吸嘴的清扫状态不充分。因此，能够防止异物从吸嘴对元件进行抽吸时的附着在吸嘴的前端部的外周部落下。而且，清扫状态判定部基于拍摄到的吸嘴的前端部的图像，也能够检测吸嘴的前端部的破损。

根据技术方案4的发明，识别信息读取部读取吸嘴的识别信息，对应建立部将吸嘴的清扫状态与识别信息建立对应地进行存储。由此，通过参照与识别信息建立对应地进行存储的吸嘴的清扫状态，能够确认各吸嘴的清扫状态。而且，由于建立对应的吸嘴的清扫状态和识别信息被依次存储于存储部，因此能够进行吸嘴的清扫状态的履历管理。

根据技术方案5的发明，在吸嘴的表面记载有用于识别该吸嘴的图案即识别部，清扫状态判定部基于由识别部拍摄装置拍摄到的图案的污损状态来判定吸嘴的清扫状态。由此，可判定用于识别吸嘴的图案的污损状态，因此能够避免安装吸嘴的装置上的图案的读取出错。

根据技术方案6的发明，判定结果反映部使设于与吸嘴保持部对应的位置的各显示部反映吸嘴的清扫状态的是否良好的结果。由此，作业者能够容易地识别哪个吸嘴存在清扫不良。

附图说明

图1是表示本实施方式的吸嘴检查装置的结构的俯视图。

图2是表示本实施方式的吸嘴检查装置的结构的主视图。

图3中，(A)是设置在移动台上的旋转装置的俯视图。(B)是(A)的主视图。

图4中，(A)是吸嘴保持托盘的俯视图。(B)是(A)的局部剖视图。

图5中，(A)是吸嘴的俯视图。(B)是沿着(A)的B-B的剖视图。

图6是沿着图1的A-A的剖视图，是表示吸嘴拍摄装置80的图。

图7是表示吸嘴的清洗/检查工序的流程图。

图8是通过图1所示的控制部执行的吸嘴检查处理的流程图。

图9是表示通过图1所示的控制部生成的吸嘴检查信息的说明图。

附图标记说明

13…移动台(安装台)

20…旋转装置

30…转台

40…吸嘴保持托盘

40f…吸嘴保持部

40j…显示部

55…泵

58…流量检测传感器(流量检测部)

60…顶起装置(判定结果反映部)

70…识别部拍摄装置

80…吸嘴拍摄装置

90…控制部(清扫状态判定部，对应建立部)

90a…存储部

100…吸嘴检查装置

500…吸嘴

501d…识别部

501e…图案

502b…吸附部

502f…吸嘴孔

具体实施方式

(吸嘴检查装置的概略)

以下，基于附图，说明本发明的实施方式。如图1～图3所示，本实施方式的吸嘴检查装置100主要包括基台11、导轨12、移动台13、滑动部件14、旋转装置20、转台30、吸嘴保持托盘40、流量检查部50、顶起装置60、识别部拍摄装置70、吸嘴拍摄装置80及控制部90。

在基台11上排列设置有多个导轨12。在各导轨12上分别以能够滑动的方式安装有滑动部件14。在滑动部件14上安装有板状的移动台13。移动台13通过气缸等促动器15而在基台11上的设置位置A与检查位置B之间移动。

(旋转装置)

接着，使用图3，对旋转装置20进行说明。旋转装置20将吸嘴保持托盘40的吸嘴保持部40f依次转位给各检查位置(1)～(3)(图1所示)，主要包括摆动部件21、旋转部件22、促动器23、第一止动部件24、第二止动部件25及转台30。摆动部件21包括圆板状的主体部21a和从该主体部21a的外缘向外周侧突出的板状的突出部21b，并能够以主体部21a的中心为摆动中心进行摆动地安装于移动台13。

旋转部件22是在外周部间隔规定角度地形成有多个卡锁22a的圆板状，在摆动部件21中，以能够旋转的方式安装于移动台13。在本实施方式中，卡锁22a以15°间隔形成于旋转部件22的外周部。此外，旋转部件22能够相对于摆动部件21进行旋转。

第一止动部件24以可摆动的方式安装在移动台13上，由未图示的施力部件向旋转部件22的卡锁22a侧施力而与卡锁22a卡合。通过这样的结构，旋转部件22仅能够向一个方向(在本实施方式中为顺时针)旋转。

第二止动部件25以能够摆动的方式安装于摆动部件21的突出部21b，由未图示的施力部件向旋转部件22的卡锁22a侧施力而与卡锁22a卡合。

促动器23在本实施方式中为气缸，具有主体23a和以能够从该主体23a退出的方式滑动的杆23b。促动器23与后述的控制部90连接，按照来自控制部90的控制信号使杆23b退出。主体23a以能够摆动的方式安装在移动台13上。杆23b的前端经由托架26而以可摆动的方式安装在摆动部件21的突出部21b。

通过这样的结构，从杆23b退避到主体23a内的状态开始，当该杆23b突出时，摆动部件21摆动规定角度。这样一来，第二止动部件25与旋转部件22的卡锁22a卡合，因此旋转部件22顺时针地转动规定角度(与卡锁22a1的间距相当的量)。并且，当杆23b退避到主体23a内时，第一止动部件24与卡锁22a卡合，因此可阻止旋转部件22的逆时针的转动。这样一来，通过杆23b突出、退避的促动器23的一次动作，旋转部件22转动与卡锁22a1间距相当的量。

转台30为大致圆柱形状，将旋转中心设成与旋转部件22相同而安装在旋转部件22上。这样一来，转台30以可旋转的方式安装在移动台13上。在转台30的上部形成有外径比其他的部分的小的圆柱形状的卡合部30a。在卡合部30a的基部的周围形成有与转台30的旋转轴垂直的平面即载置面30b。在载置面30b上形成有定位突起30c。在转台30的卡合部30a上间隔规定角度地设有多个识别传感器30d。识别传感器30d是在物体靠近该识别传感器30d时将检测信号向控制部90输出的接近传感器。

(吸嘴保持托盘)

接着，使用图4，对吸嘴保持托盘40进行说明。吸嘴保持托盘40以垂直状态保持后述的多个吸嘴500。吸嘴保持托盘40包括：在其下部形成的圆柱形状的安装部40a；与安装部40a同轴地形成在安装部40a上的圆板状的保持部40b。

在安装部40a的下表面形成有内径比卡合部30a(图3所示)的外径稍大的圆柱形状的空间即卡合凹部40c。在安装部40a的下表面的卡合凹部40c的外周部形成有内径比定位突起30c(图3所示)的外径稍大的圆柱形状的空间即定位凹部40d。卡合凹部40c与卡合部30a卡合，并且定位凹部40d与定位突起30c卡合，从而将吸嘴保持托盘40同轴地定位安装在转台30上(图1、图2所示)。这样一来，吸嘴保持托盘40以可拆装的方式安装于转台30。

在卡合凹部40c的底面上间隔规定角度地形成有单一或多个识别突起40e。在将吸嘴保持托盘40安装于转台30时，识别突起40e配置在与转台30的识别传感器30d对应的位置。识别突起40e的个数、位置根据吸嘴保持托盘40的不同而不同。例如，识别突起40e的个数、位置根据吸嘴保持部40f的个数、即相邻的吸嘴保持部40f的角度的不同而不同。在将吸嘴保持托盘40安装到转台30时，各识别传感器30d检测或不检测识别突起40e，由此，在控制部90，可识别安装于转台30的吸嘴保持托盘40。

在保持部40b上，在图4的单点划线所示的圆周上等间隔(间隔相等角度)地贯通形成有吸嘴保持部40f。在本实施方式中，吸嘴保持部40f包括其上部的定位部40g和其下部的插通部40h，定位部40g的内径比插通部40h的内径大。在定位部40g与插通部40h之间形成有水平的面即载置面40i。

在保持部40b上，在与各吸嘴保持部40f对应的位置设有显示部40j。在本实施方式中，显示部40j设置在各吸嘴保持部40f的外周侧。显示部40j包括圆柱形状的显示筒40k、贯通形成于保持部40b并将显示筒40k以能够沿着上下方向滑动的方式进行收容的收容部40m、对显示筒40k的外周面进行按压的按压部件40n。在显示筒40k上的从上向下的不同的位置分别在全周上形成有上侧定位槽40p和下侧定位槽40q。按压部件40n在本实施方式中是具有与定位槽40p、40q卡合的球40r的球塞。通过这样的结构，显示筒40k被定位在如下两个位置：球40r与上侧定位槽40p卡合而使显示筒40k完全收容在收容部40m内的位置；和球40r与下侧定位槽40q卡合而使显示筒40k从保持部40b的上表面突出的位置。

(吸嘴)

接着使用图5，说明由本实施方式的吸嘴检查装置100进行检查的吸嘴500。元件安装装置的吸嘴500对依次供给至供给位置的电子元件等的元件进行吸附并搬运到基板等被安装物的安装位置，用于将该元件安装于被安装物。如图5的(B)所示，吸嘴500包括固定部501、可动部502、螺旋弹簧503。

固定部501以可拆装的方式安装在元件安装装置的吸嘴支架上，包括圆筒状的筒部501a和从该筒部501a的中途部分向外周侧形成的圆板状的凸缘部501b。在比凸缘部501b靠上部的筒部501a形成有向外周侧突出的安装杆501c。筒部501a的上部与吸嘴支架嵌合，安装杆501c与吸嘴支架卡合，从而将吸嘴500安装于吸嘴支架。

如图5的(A)所示，在凸缘部501b的上表面设有识别部501d。在识别部501d以二维或三维的图案501e(二维代码或三维代码)记载有各吸嘴500固有的“识别信息”。当将吸嘴500安装于吸嘴支架时，识别部501d由设于吸嘴支架的拍摄装置读取，元件安装装置基于读取的识别部501d的图案501e来识别吸嘴500的规格。

可动部502包括基部侧吸嘴502a、吸附部502b及弹簧承受部502c。基部侧吸嘴502a是圆筒形状，其上部以可滑动的方式插通到筒部501a内。吸附部502b安装在基部侧吸嘴502a的下端，下端的外径比其他的部分的外径小。基部侧吸嘴502a及吸附部502b的流路成为吸嘴孔502f，通过从该吸嘴孔502f抽吸空气，利用吸附部502b来吸附元件。

弹簧承受部502c包括：从基部侧吸嘴502a的中途部分或下部向外周侧形成的圆板形状的承受部502d；和在该承受部502d的外缘向上方形成的圆筒形状的弹簧保持部502e。

螺旋弹簧503配置在筒部501a的下部的外周侧与弹簧保持部502e的内周侧之间，其上部与凸缘部501b的下表面抵接，并且其下端与承受部502d抵接，将可动部502相对于固定部501向下方施力。通过这样的结构，可动部502被安装成能够相对于固定部501而沿着上下方向滑动。

可动部502穿过吸嘴保持部40f，凸缘部501b载置在载置面40i上，多个吸嘴500由吸嘴保持托盘40的吸嘴保持部40f保持为垂直状态(图1所示)。此外，定位部40g(图4示)的内径的尺寸比凸缘部501b(图5示)的外径的尺寸稍大。因此，吸嘴500在吸嘴保持托盘40的水平方向上被定位。

(流量检查部)

接着，使用图1及图2，对流量检查部50进行说明。此外，在图2中，未表示后述的上下移动装置52。如图1所示，流量检查部50包括吸嘴连接部51、上下移动装置52、空气流路54、泵55、蓄压部56、电磁阀57、流量检测传感器58及压力传感器59。如图1所示，吸嘴连接部51为块状，配置在转位到检查位置(3)的吸嘴保持托盘40的吸嘴保持部40f的正上方。如图2所示，在吸嘴连接部51形成有在其下端开口的空气通路51a。而且，在空气通路51a的开口部安装有由橡胶、树脂等软性材料构成的环状的密封件51b。

上下移动装置52是对吸嘴连接部51进行支承并沿着上下方向移动的装置，安装在基台11上。上下移动装置52具备：将吸嘴连接部51安装成能够沿着上下方向移动的直线引导件等的引导部(未图示)；和使吸嘴连接部51沿着上下方向移动的移动部52a，该移动部52a由滚珠丝杠、滚珠螺母及使滚珠丝杠旋转的电动机等构成。移动部52a以能够通信的方式与控制部90连接，按照从控制部90输出的控制信号，移动部52a运转，吸嘴连接部51沿着上下方向移动。

泵55通过空气流路54与吸嘴连接部51的空气通路51a连接，并向空气通路51a供给空气。如图1所示，在空气流路54的中途，从泵55侧依次设有蓄压部56、电磁阀57、流量检测传感器58。

蓄压部56是积存由泵55生成的压缩空气的罐。在蓄压部56设有检测蓄压部56的压力并将检测信号向控制部90输出的压力传感器59。

电磁阀57始终将空气流路54堵塞，并以能够通信的方式与控制部90连接。按照来自控制部90的控制信号，电磁阀57对空气流路54进行打开或堵塞。

流量检测传感器58是对在空气流路54中流通的空气的流量进行检测的传感器，并向控制部90输出检测信号。

(顶起装置)

接着，使用图2，对顶起装置60进行说明。顶起装置60将吸嘴保持托盘40的显示筒40k向上方顶起，并设置在移动台13上。顶起装置60包括主体61和从主体61的上端面突出并安装成能够相对于主体61沿着上下方向移动的顶起销62。顶起销62配置在转位到检查位置(3)的吸嘴保持托盘40的显示筒40k的正下方。主体61具有使顶起销62沿着上下方向移动、且以能够通信的方式与控制部90连接的促动器(未图示)。按照来自控制部90的控制信号，促动器使顶起销62向上方移动或者向下方退避。当顶起销62向上方移动时，顶起销62将处于其正上方的显示筒40k顶起。

(识别部拍摄)

接着，使用图1、图2，说明识别部拍摄装置70。识别部拍摄装置70是读取吸嘴500的识别部501d的图案501e(图5(A)所示)的装置。识别部拍摄装置70由拍摄装置71和托架72构成。拍摄装置71配置在转位到检查位置(1)的吸嘴保持托盘40的吸嘴保持部40f的正上方。拍摄装置71具有CCD、CMOS等拍摄元件和在该拍摄元件上成像出被拍摄图像的透镜，对识别部501d进行拍摄，并将拍摄数据向控制部90输出。托架72安装在基台11上，并将拍摄装置71保持在转位到检查位置(1)的吸嘴保持部40f的正上方。

(吸嘴拍摄装置)

接着，使用图1、图2、图6，对吸嘴拍摄装置80进行说明。吸嘴拍摄装置80对由吸嘴保持托盘40的吸嘴保持部40f保持的吸嘴500的吸附部502b进行拍摄。吸嘴拍摄装置80包括拍摄装置81、光反射部82及托架83。吸嘴拍摄装置80在吸嘴保持托盘40(转台30)的侧方位置经由托架83而安装于基台11。拍摄装置81具有：下方开口的有底筒状的框体81a；CCD、CMOS等拍摄元件81b；及在该拍摄元件81b上成像出被拍摄图像的单个或多个透镜81c。

光反射部82在拍摄装置81及吸嘴保持托盘40的下方位置经由托架83而安装于基台11。光反射部82包括上方开口的箱形的框体82a、收纳并安装在框体82a内的棱镜等反射部件82b、82c。反射部件82b配置在拍摄装置81的正下方。反射部件82c配置在转为到检查位置(2)的吸嘴保持托盘40的吸嘴保持部40f的正下方。如图6的双点划线所示，从吸嘴500的吸附部502b的周围射出的光由反射部件82c及反射部件82b反射，向拍摄装置81入射，由拍摄装置81拍摄。

(控制部)

接着说明控制部90。控制部90对吸嘴检查装置100进行综合控制，具有微型计算机(未图示)，微型计算机具备经由总线而分别连接的输入输出接口、CPU、RAM、ROM、非易失性存储器等存储部90a。CPU执行与图8所示的流程图对应的程序。RAM暂时存储该程序的执行所需的变量，ROM、存储部90a存储上述程序。

控制部90被输入来自流量检测传感器58的检测信号并计算出在空气流路54流通的空气的流量、即经由吸嘴连接部51向吸嘴500供给的空气的流量。而且，控制部90被输入来自压力传感器59的检测信号，并向泵55输出控制信号。控制部90在判断为由压力传感器59检测到的蓄压部56的压力下降至规定压力以下时，使泵55运转。而且，控制部90通过向促动器15输出控制信号而使移动台13在基台11上的设置位置A与检查位置B之间(图1所示)移动。而且，控制部90向电磁阀57输出控制信号，对电磁阀57进行打开或堵塞。而且，控制部90向促动器23输出控制信号，使促动器23的杆23b(图3所示)退出。而且，控制部90向拍摄装置71、81输出控制信号，执行由拍摄装置71、81进行的拍摄。然后，向控制部90输入来自拍摄装置71、81的拍摄图像。

在控制部90上以能够通信的方式连接有操作部91。操作部91用于对吸嘴检查装置100进行操作。当作业者对操作部91进行操作时，将与该操作对应的信号向控制部90输入。

控制部90以能够通信的方式与主机200连接，向主机200发送与各吸嘴500的“识别信息”建立了对应的各吸嘴500的检查结果即“吸嘴检查信息”(图9所示)。主机200例如是所谓的个人计算机，依次存储并蓄积“吸嘴检查信息”。

(吸嘴的清洗/检查工序)

接着，使用图7所示的流程图，说明吸嘴的清洗/检查工序。在元件安装装置中，使用后的吸嘴500被以由吸嘴保持托盘40的各吸嘴保持部40f保持的状态进行贮存(P1)。接着，在各吸嘴500由吸嘴保持托盘40保持的状态下，通过清扫装置对吸嘴500的吸附部502b、吸嘴孔502f、识别部501d进行清扫(P2)，通过鼓风装置向吸嘴孔502f内进给压缩空气，将吸嘴孔502f内的清洗液、异物除去(P3)。接着，在后述的“吸嘴检查处理”中，在各吸嘴500由吸嘴保持托盘40保持的状态下，对各吸嘴500进行检查(P4)。检查后的各吸嘴500以由吸嘴保持托盘40保持的状态进行贮存(P5)。

(吸嘴检查处理)

接着，使用图8所示的流程图，说明由控制部90执行的“吸嘴检查处理”。在“吸嘴检查处理”中，依次生成图9所示的“吸嘴检查信息”。“吸嘴检查信息”是将“识别信息”与后述的S15“吸附部检查”及S16“流量检查”的检查结果建立了对应的信息，在存储于存储部90a之后，向主机200发送。

在鼓风(图7的P3)之后，将保持有吸嘴500的吸嘴保持托盘40安装到处于设置位置A(图1所示)的转台30，开始“吸嘴检查处理”，前进至S11。

在S11中，控制部90向促动器15输出控制信号，使移动台13向检查位置B移动，使程序前进至S12。

在S12中，控制部90基于从多个识别传感器30d输出的检测信号来识别吸嘴保持托盘40并识别相邻的吸嘴保持部40f的角度而使程序进入S13。

在S13中，控制部90向拍摄装置71输出拍摄指令，利用拍摄装置71拍摄并读取转位到检查位置(1)(图1示)的吸嘴500的识别部501d。此时，控制部90在无法识别出识别部501d的图案501e时，作为识别部501d的清洗不充分而发生污损，将识别部501d的读取异常存储在“吸嘴检查信息”的“识别信息”的栏中。另一方面，在控制部90识别出识别部501d的图案501e时，将与图案501e对应的吸嘴500的“识别信息”存储在“吸嘴检查信息”的“识别信息”的栏中。当S13结束时，程序前进至S14。

在S14中，控制部90向促动器23输出控制信号，使促动器23一次或多次进行使杆23b突出并退避的动作，在S12中使转台30转动与识别到的相邻的吸嘴保持部40f的角度相当的量。当S14结束时，程序前进至S15。

在S15中，控制部90向拍摄装置81输出拍摄指令，利用拍摄装置81拍摄转位到检查位置(2)(图1所示)的吸嘴500的吸附部502b。控制部90通过对拍摄到的吸附部502b的拍摄图像进行图像处理，来判断是否存在向吸附部502b的外周部、在吸附部502b开口的吸嘴孔502f内附着异物或者吸附部502b的破损等的异常，当存在异常时，将吸附部502b的异常与上述的“识别信息”建立关联，并存储在“吸嘴检查信息”的“流量检查”的栏中。当S15结束时，程序前进至S16。

在S16中，控制部90向上下移动装置52输出控制信号，使吸嘴连接部51下降，使空气通路51a与转位到检查位置(3)(图1所示)的吸嘴500的吸嘴孔502f的开口部连接而连通。接着，控制部90向电磁阀57输出控制信号，使电磁阀57打开，将空气从蓄压部56向吸嘴500的吸嘴孔502f供给。此时，控制部90将由流量检测传感器58检测到的空气的流量与上述的“识别信息”建立关联，并与“吸嘴检查信息”建立关联地进行存储。然后，控制部90基于由流量检测传感器58检测到的空气的流量来判断吸嘴500的流路即吸嘴孔502f是否存在异常，当存在异常时，将吸嘴孔502f的异常与上述的“识别信息”建立关联，并存储在“吸嘴检查信息”的“流量检查”的栏中。

具体而言，控制部90在判断为由流量检测传感器58检测到的空气的流量不在适当流量的范围内时，判断为吸嘴孔502f存在异常。即，在吸嘴孔502f的清扫不充分，而在该吸嘴孔502f残存有异物时，由流量检测传感器58检测到的空气的流量低于适当流量的下限，因此判断为吸嘴500的流路的异常。另一方面，在判断为吸嘴孔502f发生破损时，由流量检测传感器58检测到的空气的流量超过适当流量的上限，因此判断为吸嘴孔502f的异常。此外，上述的适当流量的范围因吸嘴500的规格的不同而不同，因此控制部90基于上述的“识别信息”，选择与检查的吸嘴500对应的适当流量(存储于存储部90a)，判断吸嘴孔502f有无异常。当S16结束时，程序前进至S17。

在S17中，控制部90在判断为与对在S13、S15、及S16中的至少任一个步骤中判断出异常的吸嘴500进行保持的吸嘴保持部40f对应的显示筒40k位于顶起装置60上时，向顶起装置60输出控制信号，由顶起装置60将上述显示筒40k顶起，将吸嘴500的异常反映在显示筒40k上。当S17的处理结束时，程序前进至S18。

在S18中，控制部90在判断为由吸嘴保持托盘40保持的全部的吸嘴500的检查完成时(S18为是)，使程序前进至S19，在判断为由吸嘴保持托盘40保持的全部的吸嘴500的检查未完成时(S18为否)，使程序返回S13。

在S19中，控制部90通过向促动器15输出控制信号而使移动台13向设置位置A移动，使程序前进至S20。

在S20中，控制部90将存储在存储部90a中的与各吸嘴500的“识别信息”建立了对应的各吸嘴500的异常信息即“吸嘴检查信息”向主机200发送，“吸嘴检查处理”结束。

作业者能够通过确认与各吸嘴保持部40f对应的显示筒40k是否被顶起而容易地识别吸嘴500的异常。而且，作业者能够通过在主机200的显示画面上确认图9所示的“吸嘴检查信息”而识别吸嘴500的异常的种类。

(本实施方式的效果)

从上述的说明可知，在图8的S16中，泵55使空气经由吸嘴连接部51向吸嘴500的吸嘴孔502f流通，控制部90(清扫状态判定部)基于流量检查传感器58(流量检测部)检测到的流通吸嘴孔502f的空气的流量来判定吸嘴500的清扫状态。即，控制部90在判断为流通吸嘴孔502f的空气的流量低于规定的适当值的下限时，判定为吸嘴孔502f内残存有异物，吸嘴500的清扫状态不充分。这样一来，通过使空气实际流通于吸嘴孔502f，判断吸嘴孔502f内是否残存有异物，从而判定吸嘴500的清扫状态，因此能够可靠地检测吸嘴500的抽吸力的下降。

另外，吸嘴保持托盘40以可拆装的方式安装于转台30。由此，在使用后的吸嘴500由吸嘴保持托盘40保持的状态下，能够利用清扫装置对吸嘴500进行清扫，因此无需为了检查吸嘴500的清扫状态而将清洗后的吸嘴500向吸嘴保持托盘40移换，作业性良好。

另外，在图8的S15中，控制部90基于由拍摄装置81(吸嘴拍摄装置)拍摄到的吸嘴500的前端部即吸附部502b的图像来判定吸嘴500的清扫状态。即，控制部90基于拍摄到的吸附部502b的图像而判断为在吸附部502b开口的吸嘴孔502f残存有异物时，判定为吸嘴500的清扫状态不充分。由此，除了基于使空气流通吸嘴孔502f的检查之外，还检查吸嘴孔502f的开口部有无异物的残存，因此能够检测吸嘴500的抽吸力的下降的征兆。而且，能够防止异物从吸嘴孔502f的开口部落下。而且，控制部90基于拍摄到的吸附部502b的图像而判断为吸附部502b的外周部附着有异物时，判定为吸嘴500的清扫状态不充分。因此，能够防止吸嘴500对元件抽吸时的附着在吸附部502b的外周部的异物落下。而且，控制部90基于拍摄到的吸嘴500的前端部的图像，也能够检测吸附部502b的破损。

另外，在图8的S13中，拍摄装置71(识别信息读取部)读取吸嘴500的“识别信息”，控制部90(对应建立部)将吸嘴500的清扫状态与“识别信息”建立对应，并在存储部90a中存储与“识别信息”建立了对应的吸嘴500的清扫状态。由此，能够通过参照存储部90a来确认各吸嘴500的清扫状态。而且，由于与存储部90a建立了对应的吸嘴500的清扫状态和“识别信息”依次被存储，因此能够进行吸嘴500的清扫状态的履历管理。即，在图8的S16所示的“流量检查”中，在某特定的吸嘴500的流量逐渐下降时，能够识别为异物在该吸嘴500的吸嘴孔502f内逐渐蓄积。而且，能够基于某特定吸嘴500的流量变化来变更对吸嘴500进行清扫的间隔。

另外，如图5的(A)所示，在吸嘴500的表面设有识别部501d，该识别部501d记载有用于识别该吸嘴500的图案501e。并且，在图8的S13中，控制部90(清扫状态判定部)基于由拍摄装置71(识别部拍摄装置)拍摄到的图案501e的污损状态来判定吸嘴500的清扫状态。由此，元件安装装置判定用于识别吸嘴500的图案501e的污损状态，因此能够避免元件安装装置的图案501e的读取出错。

另外，在图8的S17中，顶起装置60(判定结果反映部)通过将设置在与吸嘴保持部40f对应的位置上的各显示部40j的显示筒40k顶起，来反映吸嘴500的清扫状态的是否良好的结果。由此，作业者能够容易地识别哪个吸嘴500存在清扫不良等异常。

另外，如图1或图2所示，安装有转台30的移动台13(安装台)在基台11上的设置位置A与检查位置B之间移动。而且，吸嘴检查装置100形成为如下结构：在设置位置A上向转台30设置吸嘴保持托盘40，而在检查位置B判定由吸嘴保持托盘40保持的各吸嘴500的清扫状态。因此，作业者在设置位置A上，能够向转台30设置吸嘴保持托盘40，因此在设置时，吸嘴保持托盘40不会与流量检查部50、识别部拍摄装置70、吸嘴拍摄装置80发生干扰，作业性良好。而且，作业者在向转台30设置了吸嘴保持托盘40之后，仅通过对操作部91进行操作，就能够开始执行吸嘴500的清扫状态的检查，因此作业性良好。

(其他实施方式)

此外，在以上说明的实施方式中，泵55向吸嘴连接部51的空气通路51a供给空气，流量检测传感器58通过泵55经由吸嘴连接部51来检测向吸嘴孔502f供给的空气的流量，控制部90基于由流量检测传感器58检测到的空气的流量来判定吸嘴孔502f的清扫状态。然而，也可以是如下实施方式：泵55从吸嘴连接部51的空气通路51a抽吸空气，流量检测传感器58检测通过泵55经由吸嘴连接部51而从吸嘴孔502f抽吸的空气的流量，控制部90基于由流量检测传感器58检测到的空气的流量来判定吸嘴孔502f的清扫状态。

另外，在以上说明的实施方式中，泵55向吸嘴连接部51的空气通路51a供给空气。然而，也可以是从设置在吸嘴检查装置100的外部的泵等的空气供给源向吸嘴连接部51的空气通路51a供给空气的实施方式。同样地，也可以是设置在吸嘴检查装置100的外部的泵等的空气抽吸装置从吸嘴连接部51的空气通路51a抽吸空气的实施方式。

另外，在以上说明的实施方式中，用于识别吸嘴500的识别部501d是记载在吸嘴500的表面上的图案501e，读取识别部501d的“识别信息”即图案501e的识别信息读取部是拍摄装置71。然而，用于识别吸嘴500的识别部也可以是存储有吸嘴500的“识别信息”的IC标签、IC芯片、磁带等。在该实施方式的情况下，读取识别部的“识别信息”的识别信息读取部是读取存储在IC标签中的“识别信息”的IC标签读取器、或读取存储在IC芯片中的识别信息的IC芯片读取器、读取存储在磁带中的“识别信息”的磁带读取器等。

另外，在以上说明的实施方式中，显示吸嘴500的清扫状态的是否良好的结果的显示部40j设于吸嘴保持托盘40。然而，也可以将显示吸嘴500的清扫状态是否良好的结果的显示部分别设置在与各吸嘴保持部40f对应的位置的转台30上。

另外，在以上说明的实施方式中，吸嘴500的吸嘴孔502f的基端与吸嘴连接部51的空气通路51a直接连接。然而，也可以是吸嘴500的吸嘴孔502f的基端经由将吸嘴孔502f的基端与吸嘴连接部51的空气通路51a连接的部件而与空气通路51a连接的实施方式。