用于抑制横模的表面声波装置的制作方法

本发明涉及表面声波装置，尤其涉及通过抑制不必要的横模，减少在通带中出现的波纹，并改善插入损耗来消除杂散(spurious)的表面声波装置。

背景技术：

表面声波装置将电能转换为声波能，或者将声波能转换为电能。例如，如图1中所示的表面声波装置包括：压电基板10、形成在基板10上彼此相对的母线21和22以及分别连接到母线21和22交替布置的交指型电极31和32。

表面声波装置的问题之一是不必要的横模。横模产生杂散响应，引起不期望的波纹，或增加插入损耗。这种现象对表面声波装置的性能具有不良影响。

作为用于抑制表面声波装置中的横模的方法之一，标题为“designmodelingandvisualizationforlowtransversemodesr-spudtdevices”的文献提供了所谓的活塞模式(pistonmode)，其中在换能器的边缘添加了波速减小区，以产生速度在开口处正常并且随着朝向外部而减小的模式。然而，由于图案复杂而难以实现该文献中所公开的结构，并且发生故障的概率高。

技术实现要素：

本发明的一个方面是提供一种能够通过较简单的结构抑制横模的表面声波装置。

本发明的一个方面提供一种表面声波装置，包括：压电基板、形成在压电基板上的彼此相对的第一母线和第二母线、电连接到第一母线并且从第一母线向第二母线延伸的多个第一交指型电极以及电连接到第二母线并且从第二母线向第一母线延伸的多个第二交指型电极，其中第一交指型电极和第二交指型电极是交替布置的。这里，第一交指型电极和第二交指型电极的中心区、在该中心区和第一母线之间的第一边缘区以及在该中心域和第二母线之间的第二边缘区是根据波传播方向界定的。此外，仅在第一边缘区中的第一交指型电极和第二边缘区中的第二交指型电极形成有突出部，以使第一边缘区和第二边缘区中的波速小于中心区中的波速。

突出部的宽度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的宽度。

突出部的厚度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的厚度。

突出部的宽度和厚度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的宽度和厚度。

本发明的另一方面提供一种表面声波装置，包括：压电基板、形成在压电基板上的彼此相对的第一母线和第二母线、电连接到第一母线并且从第一母线向第二母线延伸的多个第一交指型电极以及电连接到第二母线并且从第二母线向第一母线延伸的多个第二交指型电极，其中第一交指型电极和第二交指型电极是交替布置的。这里，第一交指型电极和第二交指型电极的中心区、在中心区和第一母线之间的第一边缘区以及在中心区和第二母线之间的第二边缘区是根据波传播方向界定的。此外，仅在第一边缘区中的第二交指型电极和第二边缘区中的第一交指型电极形成突出部，以使第一边缘区和第二边缘区中的波速小于中心区中的波速。

突出部的宽度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的宽度。

突出部的厚度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的厚度。

突出部的宽度和厚度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的宽度和厚度。

附图说明

通过参考附图详细描述本发明的示例性实施例，本发明的上述和其它目的、特征和优点对于本领域普通技术人员将变得更加显而易见，其中：

图1示出一般表面声波装置的结构的例子；

图2是示出根据本发明的第一实施例的表面声波装置的结构的视图；

图3是示出根据本发明的第二实施例的表面声波装置的结构的视图；

图4是示出根据本发明的第三实施例的表面声波装置的结构的视图；

图5是示出根据本发明的第四实施例的表面声波装置的结构的视图；

图6是示出根据本发明的第五实施例的表面声波装置的结构的视图；以及

图7是示出根据本发明的第六实施例的表面声波装置的结构的视图。

具体实施方式

下面将参照附图详细描述本发明的示例性实施例。在下面的描述和附图中，基本相同的部件将用相同的附图标记表示，并且将省略其重复描述。此外，在本发明的实施例的所有描述中，当认为对本领域公知的功能和部件的详细说明可能会不必要地使本发明的本质模糊时将被省略。

图2是示出根据本发明的第一实施例的表面声波装置的结构的视图。

参考图2，根据本实施例的表面声波装置包括压电基板100、形成在压电基板100上的彼此相对的第一母线和第二母线210和220、电连接到第一母线210并且从第一母线210向第二母线220延伸的多个第一交指型电极310以及电连接到第二母线220并且从第二母线220向第一母线210延伸的多个第二交指型电极320。这里，第一交指型电极310和第二交指型电极320是交替布置的。

在本发明的实施例中，根据波传播方向(与第一交指型电极和第二交指型电极310和320垂直的方向)界定第一交指型电极和第二交指型电极310和320的中心区、中心区和第一母线210之间的第一边缘区以及中心区和第二母线220之间的第二边缘区。

第二交指型电极320包括在第一边缘区中的宽度大于在中心区中的宽度的突出部321，并且第一交指型电极310包括在第二边缘区中的宽度大于中心区中的宽度的突出部311。因此，第一边缘区和第二边缘区中的波速变得小于中心区中的波速。

在第一边缘区中，不仅第二交指型电极320可以具有比中心区中的宽度更大的宽度的突出部，而且第一交指型电极310也可以具有比中心区中的宽度更大的宽度的突出部。然而，由于第二交指型电极320的突出部321和与其相邻的第一交指型电极310的突出部之间的间隙变得较窄，因此难以实现相应的电极图案。同样地，在第二边缘区中，不仅第一交指型电极310可以具有比中心区中的宽度更大的宽度的突出部，而且第二交指型电极320也可以具有比中心区中的宽度更大的宽度的突出部。然而，由于第一交指型电极310的突出部311和与其相邻的第二交指型电极320的突出部之间的间隙变得较窄，因此难以实现相应的电极图案。例如，可以通过光刻工艺形成电极图案。然而，当电极之间的间隙窄时，难以使用光刻工艺实现电极图案，并且发生缺陷的概率增加。

在本发明的该实施例中，在第一边缘区中，第二交指型电极320包括突出部321，但是第一交指型电极310不包括突出部。同样地，在第二边缘区中，第一交指型电极310包括突出部311，但是第二交指型电极320不包括突出部。因此，与在同一边缘区中的第一交指型电极310和第二交指型电极320两者都形成突出部的情况相比，具有工艺上的优势和减小不合格率的优点。

图3是示出根据本发明的第二实施例的表面声波装置的结构的视图。

参考图3，根据本实施例的表面声波装置包括压电基板100、形成在压电基板100上的彼此相对的第一母线和第二母线210和220、电连接到第一母线210并且从第一母线210向第二母线220延伸的多个第一交指型电极410以及电连接到第二母线220并且从第二母线220向第一母线210延伸的多个第二交指型电极420。这里，第一交指型电极410和第二交指型电极420是交替布置的。

第一交指型电极410包括在第一边缘区中的宽度大于在中心区中的宽度的突出部411，并且第二交指型电极420包括在第二边缘区中的宽度大于中心区中的宽度的突出部421。因此，第一边缘区和第二边缘区中的波速变得小于中心区中的波速。

在第一边缘区中，不仅第一交指型电极410可以具有比中心区中的宽度更大的宽度的突出部，而且第二交指型电极420也可以具有比中心区中的宽度更大的宽度的突出部。然而，由于第一交指型电极410的突出部411和与其相邻的第二交指型电极420的突出部之间的间隙变得较窄，因此难以实现相应的电极图案。同样地，在第二边缘区中，不仅第二交指型电极420可以具有比中心区中的宽度更大的宽度的突出部，而且第一交指型电极410也可以具有比中心区中的宽度更大的宽度的突出部。然而，由于第二交指型电极420的突出部421和与其相邻的第一交指型电极410的突出部之间的间隙变得较窄，因此难以实现相应的电极图案。

在本发明的该实施例中，在第一边缘区中，第一交指型电极410包括突出部411，但是第二交指型电极420不包括突出部。同样地，在第二边缘区中，第二交指型电极420包括突出部421，但是第一交指型电极410不包括突出部。因此，与在同一边缘区中的第一交指型电极410和第二交指型电极420两者都形成突出部的情况相比，具有工艺上的优势和减小不合格率的优点。

图4是示出根据本发明的第三实施例的表面声波装置的结构的视图。

参考图4，根据本实施例的表面声波装置包括压电基板100、形成在压电基板100上的彼此相对的第一母线和第二母线210和220、电连接到第一母线210并且从第一母线210向第二母线220延伸的多个第一交指型电极510以及电连接到第二母线220并且从第二母线220向第一母线210延伸的多个第二交指型电极520。这里，第一交指型电极510和第二交指型电极520是交替布置的。

第二交指型电极520包括在第一边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部521，并且第一交指型电极510包括在第二边缘区中的厚度大于中心区中的厚度的突出部511。因此，第一边缘区和第二边缘区中的波速变得小于中心区中的波速。

虽然不仅第二交指型电极520可以包括在第一边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部，而且第一交指型电极510也可以包括在第一边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部，但是难以在各个相邻电极中形成具有较大厚度的突出部。同样地，虽然不仅第一交指型电极510可以包括在第二边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部，而且第二交指型电极520也可以包括在第二边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部，但是难以在各个相邻电极中形成具有较大厚度的突出部。

在本发明的该实施例中，在第一边缘区中，第二交指型电极520包括突出部521，但是第一交指型电极510不包括突出部。同样地，在第二边缘区中，第一交指型电极510包括突出部511，但是第二交指型电极520不包括突出部。因此，与在同一边缘区中的第一交指型电极510和第二交指型电极520两者都形成突出部的情况相比，具有工艺上的优势和降低不合格率的优点。

图5是示出根据本发明的第四实施例的表面声波装置的结构的视图。

参考图5，根据本实施例的表面声波装置包括压电基板100、形成在压电基板100上的彼此相对的第一母线和第二母线210和220、电连接到第一母线210并且从第一母线210向第二母线220延伸的多个第一交指型电极610以及电连接到第二母线220并且从第二母线220向第一母线210延伸的多个第二交指型电极620。这里，第一交指型电极610和第二交指型电极620是交替布置的。

第一交指型电极610包括在第一边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部611，并且第二交指型电极620包括在第二边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部621。因此，第一边缘区和第二边缘区中的波速变得小于中心区中的波速。

虽然不仅第一交指型电极610可以包括在第一边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部，而且第二交指型电极620也可以包括在第一边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部，但是难以在各个相邻电极中形成具有较大厚度的突出部。同样地，虽然不仅第二交指型电极620可以包括在第二边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部，而且第一交指型电极610也可以包括在第二边缘区中的厚度大于在中心区中的厚度的突出部，但是难以在各个相邻电极中形成具有较大厚度的突出部。

在本发明的该实施例中，在第一边缘区中，第一交指型电极610包括突出部611，但是第二交指型电极620不包括突出部。同样地，在第二边缘区中，第二交指型电极620包括突出部621，但是第一交指型电极610不包括突出部。因此，与在同一边缘区中的第一交指型电极610和第二交指型电极620两者都形成突出部的情况相比，具有工艺上的优势和降低不合格率的优点。

图6是示出根据本发明的第五实施例的表面声波装置的结构的视图。

参考图6，根据该实施例的表面声波装置包括压电基板100、形成在压电基板100上的彼此相对的第一母线和第二母线210和220、电连接到第一母线210并且从第一母线210向第二母线220延伸的多个第一交指型电极710以及电连接到第二母线220并且从第二母线220向第一母线210延伸的多个第二交指型电极720。这里，第一交指型电极710和第二交指型电极720是交替布置的。

第二交指型电极720包括在第一边缘区中的宽度和厚度大于在中心区中的宽度和厚度的突出部721，并且第一交指型电极710包括在第二边缘区中的宽度和厚度大于中心区中的宽度和厚度的突出部711。因此，第一边缘区和第二边缘区中的波速变得小于中心区中的波速。

在第一边缘区中，不仅第二交指型电极720可以具有比中心区中的宽度和厚度更大的宽度和厚度的突出部，而且第一交指型电极710也可以具有比中心区中的宽度和厚度更大的宽度和厚度的突出部。然而，由于第二交指型电极720的突出部721和第一交指型电极710的突出部之间的间隙变得较窄，因此难以实现相应的电极图案。同样地，在第二边缘区中，不仅第一交指型电极710可以具有比中心区中的宽度和厚度更大的宽度和厚度的突出部，而且第二交指型电极720也可以具有比中心区中的宽度和厚度更大的宽度和厚度的突出部。然而，由于第一交指型电极710的突出部711和与其相邻的第二交指型电极720的突出部之间的间隙变得较窄，因此难以实现相应的电极图案。

在本发明的该实施例中，在第一边缘区中，第二交指型电极720包括突出部721，但是第一交指型电极710不包括突出部。同样地，在第二边缘区中，第一交指型电极710包括突出部711，但是第二交指型电极720不包括突出部。因此，与在同一边缘区中的第一交指型电极710和第二交指型电极720两者都形成突出部的情况相比，具有工艺上的优势和降低不合格率的优点。

图7是示出根据本发明的第六实施例的表面声波装置的结构的示出。

参考图7，根据该实施例的表面声波装置包括压电基板100、形成在压电基板100上的彼此相对的第一母线和第二母线210和220、电连接到第一母线210并且从第一母线210向第二母线220延伸的多个第一交指型电极810以及电连接到第二母线220并且从第二母线220向第一母线210延伸的多个第二交指型电极820。这里，第一交指型电极810和第二交指型电极820是交替布置的。

第一交指型电极810包括在第一边缘区中的宽度和厚度大于在中心区中的宽度和厚度的突出部811，并且第二交指型电极820包括在第二边缘区中的宽度和厚度大于中心区中的宽度和厚度的突出部821。因此，第一边缘区和第二边缘区中的波速变得小于中心区中的波速。

在第一边缘区中，不仅第一交指型电极810可以具有比中心区中的宽度和厚度更大的宽度和厚度的突出部，而且第二交指型电极820也可以具有比中心区中的宽度和厚度更大的宽度和厚度的突出部。然而，由于第一交指型电极810的突出部811和第二交指型电极820的突出部之间的间隙变得较窄，因此难以实现相应的电极图案。同样地，在第二边缘区中，不仅第二交指型电极820可以具有比中心区中的宽度和厚度更大的宽度和厚度的突出部，而且第一交指型电极810也可以具有比中心区中的宽度和厚度更大的宽度和厚度的突出部。然而，由于第二交指型电极820的突出部821和与其相邻的第一交指型电极810的突出部之间的间隙变得较窄，因此难以实现相应的电极图案。

在本发明的该实施例中，在第一边缘区中，第一交指型电极810包括突出部811，但是第二交指型电极820不包括突出部。同样地，在第二边缘区中，第二交指型电极820包括突出部821，但是第一交指型电极810不包括突出部。因此，与在同一边缘区中的第一交指型电极810和第二交指型电极820两者都形成突出部的情况相比，具有工艺上的优势和降低不合格率的优点。

根据本发明，可以利用更简单的结构抑制横模，因此容易实现并且发生故障的概率低。

尽管上面已经描述了本发明的示例性实施例，但是本领域普通技术人员应当理解，在不脱离本发明的实质特征的情况下可以进行修改。因此，所公开的实施例不应当被认为是限制性的观点，而是描述性的观点。应当理解，本发明的范围由权利要求书而不是由上述说明限定，并且包括其等同范围内的所有差异。