一种PCB等离子体处理装置的制作方法

本发明涉及pcb加工领域，具体涉及一种pcb等离子体处理装置。

背景技术：

印刷电路板(pcb)是电子信息业不可或缺的重要配件。pcb在加工过程中，常需要进行等离子体处理。等离子体处理能激活活性，对印刷电路板去污和背面蚀刻是一种较方便、高效、优质的方法。等离子体处理的流程是在钻孔后沉铜前，主要是对孔的处理，普遍的等离子体处理流程为：钻孔——等离子体处理——kmno4清洗二次处理——化学沉铜。等离子体处理可以清除孔内胶渣残留、碳化物残留导致的内层铜层电性结合不良以及回蚀不充分等问题，但目前制程存在清除不彻底，因此需要额外增加kmno4药水进行二次处理，以彻底消除胶渣及碳化物对pcb板性能的影响。一般而言，在对pcb进行等离子体处理时，常通过高频发生器(典型40khz和13.56mhz)，利用电场的能量在真空条件下、分离加工气体建立等离子体技术。这些激发不稳定的分离气体物质，将表面进行改性和轰击。

现有技术中，在进行等离子体处理时，常将需要处理的pcb板人工叠放在等离子体处理用的工艺腔中，在人工叠放待处理的pcb板后，启动等离子体处理程序，以对放置在工艺腔中的待处理的pcb板同时进行等离子体处理；在等离子体处理完毕后，再将位于工艺腔中的pcb板人工取出。这种等离子体处理方式虽然能够批量处理，但是，在等离子体处理前后需要人工进行放置和取出，非常繁琐，自动化程度偏低。此外，这种等离子体处理方式总耗时长达30分钟。

因此，如何解决人力需求过多，实现快速流水作业与现行流水制程衔接成为亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题在于如何解决人力需求过多，实现快速流水作业与现行流水制程衔接。

为此，根据第一方面，本发明实施例公开了一种pcb等离子体处理装置，包括：

工艺腔，用于为pcb电路板提供等离子体加工场所；工艺腔设置有等离子体源，用于为位于工艺腔内的pcb电路板进行等离子体加工；传输轨道，贯穿工艺腔的腔体，用于通过工艺腔腔体的入口端向工艺腔腔体内传送pcb电路板以及通过工艺腔腔体的出口端将位于工艺腔腔体内的pcb电路板传出工艺腔腔体。

可选地，工艺腔包括第一工艺腔和第二工艺腔，第一工艺腔和第二工艺腔沿传输轨道一字排布。

可选地，设置在第一工艺腔内的等离子体源位于传输轨道的上方；设置在第二工艺腔内的等离子体源位于传输轨道的下方。

可选地，等离子体源为微波等离子体发生装置。

可选地，还包括：过渡腔，与工艺腔腔体的入口端和出口端连通；传输轨道通过过渡腔贯穿工艺腔的腔体。

可选地，过渡腔包括：上片过渡腔，上片过渡腔可封闭与工艺腔腔体的入口端连通；传输轨道通过上片过渡腔贯穿工艺腔的腔体；传输轨道将待处理pcb电路板传送至上片过渡腔后，上片过渡腔封闭抽气；在上片过渡腔内的气压达到上片阈值后，传输轨道将位于上片过渡腔内的待处理pcb电路板传送至工艺腔的腔体内。

可选地，过渡腔包括：下片过渡腔，下片过渡腔可封闭与工艺腔腔体的出口端连通；传输轨道通过下片过渡腔贯穿工艺腔的腔体；传输轨道将处理后的pcb电路板传送至下片过渡腔后，下片过渡腔充气；在下片过渡腔内的气压达到下片阈值后，传输轨道将位于下片过渡腔内的pcb电路板传送出下片过渡腔。

本发明技术方案，具有如下优点：

本发明实施例提供的pcb等离子体处理装置，通过工艺腔为pcb电路板提供等离子体加工场所，传输轨道贯穿工艺腔的腔体，通过工艺腔腔体的入口端向工艺腔腔体内传送pcb电路板以及通过工艺腔腔体的出口端将位于工艺腔腔体内的pcb电路板传出工艺腔腔体，从而实现了通过传输轨道自动地向工艺腔输送pcb电路板，并自动地将pcb电路板从工艺腔内传出，提高了pcb板的等离子体处理自动化程度。相对于现有技术集中式人工放置pcb电路板进行等离子体处理的方案，本实施例的技术方案可以实现流水化作业，提高了等离子体处理效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实施例中一种pcb等离子体处理装置立体结构示意图；

图2为本实施例中一种pcb等离子体处理装置正视平面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

为了提高pcb板的等离子体处理自动化程度，本实施例公开了一种pcb等离子体处理装置，请参考图1和图2，其中，图1为本实施例pcb等离子体处理装置立体结构示意图，图2为本实施例pcb等离子体处理装置正视平面示意图。请参考图1和图2，该pcb等离子体处理装置包括：工艺腔1和传输轨道2，其中：

工艺腔1用于为pcb电路板提供等离子体加工场所。本实施例中，工艺腔1设置有等离子体源10，用于为位于工艺腔内的pcb电路板进行等离子体加工。在具体实施例中，等离子体源10可以是微波等离子体发生装置，微波线性等离子体发生装置不间断工作不断激发等离子体，在偏压电场3作用下，等离子体同时向正面和反面飞出，轰击位于工艺腔腔体内的pcb电路板，从而实现对pcb电路板进行等离子体处理。

传输轨道2贯穿工艺腔1的腔体，用于通过工艺腔腔体的入口端向工艺腔腔体内传送pcb电路板以及通过工艺腔腔体的出口端将位于工艺腔腔体内的pcb电路板传出工艺腔腔体。在具体实施例中，传输轨道2上铺设驱动轮20，通过驱动轮20来驱动传输轨道2上的pcb电路板向工艺腔1的腔体内传送，或者将位于工艺腔腔体内的pcb电路板传出工艺腔腔体。通过传输轨道2可以流水式传送pcb电路板。

相对于现有技术分批次人工放置pcb电路板进行等离子体处理的方案，本实施例的技术方案可以实现流水化作业，提高了等离子体处理效率。

请参考图1和图2，在具体实施例中，工艺腔1包括：第一工艺腔11和第二工艺腔12，第一工艺腔11和第二工艺腔12沿传输轨道2一字排布。传输轨道2依次通过第一工艺腔11的入口端贯穿第一工艺腔11和第二工艺腔12，而后通过第二工艺腔12的出口端穿出第二工艺腔12。在具体实施例中，设置在第一工艺腔11内的等离子体源位于传输轨道2的上方；设置在第二工艺腔12内的等离子体源位于传输轨道2的下方。当待处理的pcb电路板通过传输轨道2进入第一工艺腔11的腔体内时，第一工艺腔11内的等离子体源对待处理的pcb电路板上侧进行等离子体处理；当待处理的pcb电路板通过传输轨道2进入第二工艺腔12的腔体内时，第二工艺腔12内的等离子体源对待处理的pcb电路板下侧进行等离子体处理。本实施例中，通过第一工艺腔11和第二工艺腔12中等离子体源的不同设置方位，使得待处理的pcb电路板在通过传输轨道2进入第一工艺腔11和第二工艺腔12后，可以实现双侧等离子体处理。

在可选的实施例中，该pcb等离子体处理装置还包括：过渡腔，过渡腔与工艺腔1腔体的入口端和出口端连通；传输轨道2通过过渡腔贯穿工艺腔1的腔体。

请参考图1和图2，在具体实施例中，过渡腔包括：上片过渡腔41，上片过渡腔41可封闭与工艺腔1腔体的入口端连通；传输轨道2通过上片过渡腔41贯穿工艺腔的腔体；传输轨道2将待处理pcb电路板传送至上片过渡腔41后，上片过渡腔41封闭抽气；在上片过渡腔41内的气压达到上片阈值后，传输轨道2将位于上片过渡腔41内的待处理pcb电路板传送至工艺腔1的腔体内。本实施例中，所称上片阈值可以根据经验或者先验知识确定，具体地，该阈值应能满足等离子体处理的真空环境要求。

请参考图1和图2，在具体实施例中，过渡腔包括：下片过渡腔42，下片过渡腔42可封闭与工艺腔1腔体的出口端连通；传输轨道2通过下片过渡腔42贯穿工艺腔1的腔体；传输轨道2将处理后的pcb电路板传送至下片过渡腔42后，下片过渡腔42充气；在下片过渡腔42内的气压达到下片阈值后，传输轨道2将位于下片过渡腔42内的pcb电路板传送出下片过渡腔42。本实施例中，所称下片阈值可以根据经验或者先验知识确定，具体地，该阈值应能满足等离子体处理的真空环境要求。

本实施例提供的pcb等离子体处理装置，通过工艺腔为pcb电路板提供等离子体加工场所，传输轨道贯穿工艺腔的腔体，通过工艺腔腔体的入口端向工艺腔腔体内传送pcb电路板以及通过工艺腔腔体的出口端将位于工艺腔腔体内的pcb电路板传出工艺腔腔体，从而实现了通过传输轨道自动地向工艺腔输送pcb电路板，并自动地将pcb电路板从工艺腔内传出，提高了pcb板的等离子体处理自动化程度。相对于现有技术集中式人工放置pcb电路板进行等离子体处理的方案，本实施例的技术方案可以实现流水化作业，提高了等离子体处理效率。

本发明实施例采用微波激发等离子体，相对比业界普遍采用的40khz和13.56mhz激发的等离子体，具有等离子体浓度大，活性强，因此能够快速并彻底的清除pcb板孔内的胶渣和碳化物，将业界现有的等离子体处理和kmno4清洗，二步制程所达到的效果，仅用等离子体处理一步制程即可实现，大大提高pcb处理效率；其次，微波激发等离子体效率高，因此只需少量工作气体就能产生工艺需要的等离子体数量，仅有业界目前40khz和13.56mhz射频等离子体工作气体用量的一半不到；再次，高活性的微波等离子体能大大提高pcb板孔内壁活性，有利于后续化学沉铜制程中药水附着，提高沉铜效果。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。