压电振动器件的制作方法

文档序号:22400762发布日期:2020-09-29 18:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压电振动器件,设置有压电振动片、覆盖所述压电振动片的一个主面侧的第一密封构件、及覆盖所述压电振动片的另一个主面侧的第二密封构件,所述第一密封构件与所述压电振动片相接合;所述第二密封构件与所述压电振动片相接合,从而形成将包含第一激励电极和第二激励电极的所述压电振动片的振动部气密密封的内部空间,其特征在于:

所述压电振动片具有振动部、保持所述振动部的保持部、及包围着所述振动部的外周并保持着所述保持部的外框部,

所述第一密封构件由at切型的石英晶体片构成,

所述第一密封构件上设有贯穿孔,该贯穿孔设在所述压电振动片的外框部的内周缘部的+z’方向侧,

在与所述压电振动片接合的接合面的相反侧的主面上,所述贯穿孔具有从周边部朝着中心部的通孔倾斜的倾斜面,

所述倾斜面上存在,

从所述通孔朝着所述贯穿孔的周边部向-z’方向侧及+x方向侧延伸的第一结晶面;

从所述通孔朝着所述贯穿孔的周边部向-z’方向侧及+x方向侧延伸,并在所述第一结晶面的+z’方向侧及+x方向侧与该第一结晶面接触的第二结晶面;及

在所述第二结晶面的+x方向侧与该第二结晶面接触,并与所述第一密封构件的主面接触的第三结晶面,

在所述三个结晶面与所述第一密封构件的主面之间形成有补偿面,所述补偿面阻碍所述第一结晶面与所述第二结晶面之间的棱线及所述第二结晶面与所述第三结晶面之间的棱线到达第一密封构件的主面。

2.如权利要求1所述的压电振动器件,其特征在于:

所述补偿面在所述倾斜面内只与所述三个结晶面接触,不与其它的结晶面接触。

3.如权利要求1或2所述的压电振动器件,其特征在于:

所述补偿面与第一密封构件的主面之间的交界线的两端的两点间距离在所述贯穿孔的最大直径的5%以上且30%以下。

4.一种压电振动器件,设置有压电振动片、覆盖所述压电振动片的一个主面侧的第一密封构件、及覆盖所述压电振动片的另一个主面侧的第二密封构件,所述第一密封构件与所述压电振动片相接合;所述第二密封构件与所述压电振动片相接合,从而形成将包含第一激励电极和第二激励电极的所述压电振动片的振动部气密密封的内部空间,其特征在于:

所述压电振动片具有振动部、保持所述振动部的保持部、及包围着所述振动部的外周并保持着所述保持部的外框部,

所述第一密封构件由at切型的石英晶体片构成,

所述第一密封构件上设有贯穿孔,该贯穿孔设在所述压电振动片的外框部的内周缘部的+z’方向侧,

在与所述压电振动片接合的接合面的相反侧的主面上,所述贯穿孔具有从周边部朝着中心部的通孔倾斜的倾斜面,

所述倾斜面内存在的结晶面之间的任何棱线均不在所述贯穿孔的外周上相交。


技术总结
AT切石英晶体片上形成的贯穿孔具有从周边部朝着中心部的通孔(71)倾斜的倾斜面(72),倾斜面(72)上存在:从通孔(71)朝着贯穿孔的周边部向-Z’方向侧及+X方向侧延伸的第一结晶面(S1);从通孔(71)朝着贯穿孔的周边部向-Z’方向侧及+X方向侧延伸,并在第一结晶面(S1)的+Z’方向侧及+X方向侧与该第一结晶面接触的第二结晶面(S2);及在第二结晶面(S2)的+X方向侧与该第二结晶面接触并与AT切石英晶体片的主面接触的第三结晶面(S3),三个结晶面(S1~S3)与AT切石英晶体片的主面之间形成有补偿面(Sc),该补偿面阻碍第一棱线(L1)及第二棱线(L2)到达AT切石英晶体片的主面。

技术研发人员:藤原宏树
受保护的技术使用者:株式会社大真空
技术研发日:2019.03.04
技术公布日:2020.09.29
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