一种微硅麦克风及其制造方法与流程

技术总结
本发明的微硅麦克风及制造方法，用于解决微硅麦克风应力影响灵敏度以及制造工艺的技术问题。本发明的微硅麦克风包括振动膜层，所述振动膜层包括振动梁和振动膜，振动梁围绕振动膜的边缘均匀布设，振动梁的一端固定在振动膜的边缘，振动梁的另一端固定在支撑结构上。

技术研发人员：孙恺;胡维;李刚
受保护的技术使用者：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
文档号码：201611032043
技术研发日：2016.11.22
技术公布日：2017.02.15