专利名称：一种精密提升装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种提升装置，尤其涉及一种精密仪器安装的提升装置。
背景技术：
对于剪式升降台来说，本身最小高度一般较小，但是在实际工作中往往需 要提升较大的高度，所以外形尺寸一般比较大，这样一来就会降低提升精度。 同时提升时会有较大的振动，不能用于提升高精密设备。并且整个升降台不能 灵活移动和旋转，在整个提升过程中，没有高度限位机构，完全依赖目测，很 难达到精确对准。不管升降方式采用手动、气动、液压、油压还是电动，整个 升降台的重量都较重，搬运不方便。
中国专利CN2761570Y公布了一种气动剪式升降台，包括底架、台面板和 举升撑臂，台面板由举升撑臂撑于底架上，在底架上装有气动千金顶，该气动 千斤顶的活塞杆与举升撑臂相连接。该气动剪式升降台主要应用于摩托车修理， 但是该装置不能用于精确对准，因而不能适用于精密仪器的安装，并且它的灵 敏度有限。
在光刻机整机集成过程中，大多数部件都需要精密提升工装，将部件精密 提升到安装位置，实现机械接口的连接。调焦调平部件就是一个精密测量部件， 在安装过程中，不能有大的震动，在它周围有许多已经安装好的精密部件，但 调焦调平部件本身较大，给的安装空间有限，所以要求工装能灵活自由移动和 旋转，当到达定位点后能快速固定，无需机械连接，而目前的提升装置都不能 满足这样的要求。
实用新型内容
一种精密提升装置，它体积小，质量小，提升高度和负载都比较大，并且 可以灵活的移动和旋转，稳定性也较好，适用于精密仪器的安装，并且该装置中还有高度限位机构，能保证提升过程中的安全性。
本实用新型提供了一种精密提升装置，包括承载板，提升机构，上面板， 下面板，驱动装置，其中提升机构由两个以上的提升单元并联组成，所述的提 升单元由两个X型街架通过铰链连接，驱动装置装配在所述的铰链连接处。 其中，装置还包括一个固定装置，固定在下面板上， 一个滚动装置，固定在下 面板上， 一个高度限位机构，固定在承载板的一端。
其中该高度限位机构包括弹簧、螺母、螺杆，其中弹簧和螺母套在螺杆 上，螺母在弹簧的上部，高度限位机构的螺杆的顶部安装有橡胶端盖，橡胶端 盖的顶面高于待安装部件的上部安装面，高度限位机构的螺杆顶端安装有一个 接近开关。
其中固定装置为真空吸附机构或者螺栓连接固定装置，真空吸附机构包括 气管、弹簧、滑杆、吸附垫、气管，其中，吸附垫安装在滑杆的一端，弹簧套 在滑杆上，滑杆固定在下面板上，第一气管和第二气管与滑杆的另一端相连。
其中驱动装置可以是手轮或者电动驱动装置。
其中滚动装置可以是钢珠滚轮机构或者万向脚轮装置。
与现有的技术相比，本实用新型有以下的优点
1， 体积小，质量小，但是负载大，提升高度大，并且可以灵活移动和旋 转；
2, 利用真空吸附的方式固定整个精密提升装置，稳定性好，在提升过程
中，提升平稳，提升高度值分辨率高，所需力矩小； 3， 本装置中还有高度限位机构，能保证提升操作过程的安全性； 4， 应用范围广，可以实现对多个部件的整体安装，通用性强，尤其适用 于精密仪器的安装。
图l是精密提升装置正视示意图2是精密提升装置仰视示意图3是精密提升装置真空吸附机构示意图4是钢珠滚轮机构示意图具体实施方式
以下结合附图，对一种精密提升装置作进一步说明
如图1所示，本发明包括定位块2，承载板4，提升机构6，钢珠滚轮机构 16,手4仑19，真空吸附机构，高度限位机构。
定位块2利用螺钉3固定在承载板4的两端，承载板4利用螺钉5安装在 提升机构6的上面板601上，高度限位机构固定在承载板4的一端。
其中提升机构6由两个以上的提升单元并联组成，所述的提升单元由两个X 型衔架通过铰链连接，驱动装置装配在所述的铰链连接处。
其中高度限位机构包括弹簧23，垫片24,螺母25,螺杆26和橡胶端盖 27。橡胶端盖27固定在螺杆的顶端，其中螺母25，垫片24,弹簧23,螺母21 顺次连接将螺杆26固定在连接板22上，连接板22通过螺钉20固定在提升机 构6的上面板601的一端。其使用方法为通过调整螺母21和螺母25，使橡胶 端盖27的顶面高于待安装部件的上部安装面在提升过程中，通过观察螺母21 和螺杆26就可以判断待安装部件是否提升到位。
手轮19固定在提升机构6的双头螺柱603的中间，钢珠滚轮16和真空吸 附机构安装在提升机构6的下面板602上，钢珠滚轮如图4所示。
其中手轮19用于手动调节提升机构，实现提升机构高度的调节，手轮也可 以用电动驱动装置来替换，来实现提升装置的自动升降。
真空吸附机构如图3所示，包括管接头7、第一气管8、螺母9、垫片10、 弹簧ll、滑杆12、吸附垫13、滑套14、管接头15、气管17、管接头18、第二 气管28。滑套14固定安装在提升机构6的下面板602上。吸附垫13安装在滑 杆12的一端。利用弹簧ll、垫片10、螺母9将滑杆12固定在滑套14中，滑 杆12可以在滑套14中灵活滑动。调节弹簧ll的压缩量，保证吸附垫13与吸 附面有约2毫米的间隙，以保证精密提升装置移动和旋转时，吸附垫13与吸附 面之间不会有摩擦。管接头7、管接头15安装在滑杆12上，气管8连接管接头 7和管接头15，气管17连接管接头15和管接头18、气管28连接管接头15和 管接头18,管接头18接真空气源。
当管接头18接通真空气源，管路内形成真空后，吸附垫13会自动吸附到吸附面上，在大气压的作用下，吸附垫13会牢牢的吸附在吸附面上，使得整个
提升装置相当的稳固；当管接头18与真空气源断开，管路内气压与环境大气压
相同时，吸附垫13在弹簧11的作用下，会自动上升，脱离吸附面，在滚轮装
置的共同作用下，能够自由灵活的转动和移动。
其中滚动装置可以是钢珠滚动机构或者万向脚轮装置等类似装置。 其中提升机构可以是剪式提升机构或者千斤顶或者液压缸或者气压缸。 图2为该装置的仰视图，其中吸附机构共有四个，钢珠滚轮机构也有四个，
分别固定在下面板602的四个角上。
该精密提升装置中，还可以在高度限位机构上安装接近开关，精确控制提
升高度，使提升装置提升到正确的位置。
下面结合在光刻机整机集成过程中，安装调平调焦部件，对该精密提升装
置的使用方法作具体介绍
首先，先将调焦调平部件1放在定位块上；
其次，移动整个精密提升装置到安装位置后，将管接头18与真空气源接通， 由于吸附塾离吸附面距离约2毫米，真空产生的吸力会大于弹簧的弹力，滑杆 12自动下滑，吸附垫与吸附面接触后，由于吸附垫内外存在气压差，4个吸附 垫非常牢固的吸附在吸附面上，由于滑杆12与滑套14之间只有一个小的间隙， 所以整个精密提升装置的位置被固定了 。
第三，转动手轮19，实现精密提升机构6的高度改变，从而实现调焦调平 部件安装高度位置的改变。
最后，调整螺母21和螺母25，使橡胶端盖27的顶面高于调焦调平部件1 的上部安装面，在提升时，通过观察螺母21和螺杆26可以判断调焦调平部件1 是否提升到位。
权利要求1、一种精密提升装置，包括承载板(4)，提升机构(6)，上面板(601)，下面板(602)，驱动装置(19)，其特征在于，所述的提升机构(6)由两个以上的提升单元并联组成，所述的提升单元由两个X型桁架通过铰链连接，所述的驱动装置(19)装配在所述的铰链连接处。
2、 如权利要求1所述的一种精密提升装置，其特征在于，该装置还包括 一个固定装置，固定在下面板(602)上。
3、 如权利要求1所述的一种精密提升装置，其特征在于，该装置还包括 一个滚动装置，固定在下面板(602)上。
4、 权利要求1所述的一种精密提升装置，其特征在于，该装置还包括一 个高度限位机构，固定在承载板(4 )的 一端。
5、 如权利要求4所述的一种精密提升装置，其特征在于，所述的高度限 位机构包括弹簧(23)、螺母(25)、螺杆(26)，其中弹簧(23)和 螺母(25)套在螺杆(26)上，螺母(25)在弹簧(23)的上部。
6、 如权利要求4所述的一种精密提升装置，其特征在于，所述高度限位 机构的螺杆(26)的顶部安装有橡胶端盖(27)。
7、 如权利要求4所述的一种精密提升装置，其特征在于，所述的高度限 位机构中，橡胶端盖(27)的顶面高于待安装部件的上部安装面。
8、 如权利要求1所述的一种精密提升装置，其特征在于，所述的高度限 位机构的螺杆(26)顶端安装有一个接近开关。
9、 如权利要求2所述的一种精密提升装置，其特征在于，所述的固定装 置为真空吸附机构或者螺栓连接固定装置。
10、 如权利要求9所述的一种精密提升装置，其特征在于，所述的真空吸 附机构包括气管(8)、弹簧(11)、滑杆(12)、吸附垫(13)、气管(28)，其中，吸附垫(13)安装在滑杆(12)的一端，弹簧(ll)套 在滑杆(12)上，滑杆(12)固定在下面才反(602)上，第一气管(8) 和第二气管(28)与滑杆(12)的另一端相连。
11、 如权利要求1所述地一种精密提升装置，其特征在于，所述的驱动装置(19)可以是手轮或者电动驱动装置。 12、 如权利要求3所述的一种精密提升装置，其特征在于所述的滚动装置 可以是钢珠滚轮机构(16)或者万向脚轮装置。
专利摘要本实用新型为一种精密提升装置，包括承载板(4)，提升机构(6)，上面板(601)，下面板(602)，驱动装置(19)，其中提升机构(6)由两个以上的提升单元并联组成，所述的提升单元由两个X型桁架通过铰链连接，所述的驱动装置(19)装配在所述的铰链连接处。该装置体积小，灵活性好，并且也更加稳定，移动方便，适用于精密仪器的安装提升。
文档编号B66F7/28GK201148322SQ20072007616
公开日2008年11月12日 申请日期2007年11月14日 优先权日2007年11月14日
发明者严天宏, 肖可云, 袁志扬 申请人:上海微电子装备有限公司