专利名称：扩散炉保温帽的制作方法
技术领域：
扩散炉保温帽
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造工艺，尤其涉及一种用于防止扩散炉热量散失 的扩散炉保温帽。
背景技术：
在半导体制造工艺中，衬底扩散是为了芯片达到后工序需要的参数而进行 掺杂。目前，衬底扩散炉的炉口一般只有石英炉帽及铁门的隔离，没有其它的 保温物件，炉口处温度很高，说明热散失的非常严重。事实上，扩散炉炉管一
般有2米长，但是炉管恒温部分仅仅1.3米左右，有大约三分之一炉管因为炉口 的热散失而导致温度不均匀， 一方面浪费了能量，另一方面还影响了衬底扩散 条件，影响产品质量。
此外，目前的炉口结构由于不能够防静电，炉口处的静电将会吸附空气中 的细尘，容易对炉管内的产品造成沾污，降低产品品质。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种扩散炉保温帽，以达到提高扩散炉炉口的保 温性能、提高炉口区域对沾污屏蔽能力的目的。
为达到上述目的，本实用新型提出以下的技术方案:
一种扩散炉保温帽，包括
一支架，所述支架上设置有一形状与扩散炉管配合、可套合于扩散炉口的 保温盖，所述保温盖含有一中空腔，所述保温盖的外层由金属制成，所述中空 腔内填充保温材料。
其中，所述金属为不锈钢。
其中，所述金属为钛合金。
其中，所述保温材料为石棉。
优选地，所述保温盖正面为设有一孔。 优选地，所述保温盖正面为还设有一插门。
从以上技术方案可以看出，本实用新型的保温盖为中空结构，外层由金属 制成，里面填充石棉等保温材料，可大大减少扩散炉口热量流失，保持扩散炉 内温度均匀，节约了能源，降低了成本。此外，本实用新型还有效地防止静电 带来的沾污，提高了炉口区域对沾污的屏蔽能力，提高了产品质量。
图1为本实用新型的结构图； 图2为本实用新型的剖视图。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本实用新型的技术方案进行详细描述。
本实用新型的主要目的是为了解决扩散炉炉口热散失的问题，本实用新型 提供一种扩散炉保护帽，如图l、图2所示，主要包括支架1和保温盖2。
两个支架1，两个支架1成"八"字型于保温盖2下支撑保护盖，其高度根 据操作台面的高度来设计。
保温盖2的形状根据扩散炉炉管的形状来设计， 一般为圆柱形，保温盖2 可套合于扩散炉口，被放置于石英炉帽和铁门之间，且沿炉管方向上一般比石 英炉帽覆盖炉管更长一些。
为了达到保温并且防静电的效果，本实用新型的保温盖2被设计成一中空 结构，保温盖2含有一中空腔2.1，保温盖2的外层由可导电的金属制成，中空 腔2.1内填充保温材料。由于保温盖2含有保温材料，可以有效地放置炉口的 热散失，而外层的金属可迅速将静电带走，放置静电吸附空气中的细尘造成污 染。
由于炉口的温度很高，外层材料容易被氧化，脆皮脱落，导致环境沾污， 因此本实用新型一般采用耐高温的不锈钢材料制成保温盖2的外层。当然其它
的耐高温耐氧化的金属比如钛合金，也可以作为保温盖2外层的材料。
保温盖2的中空腔2.1内含有保温材料， 一般可以填充石棉。石棉材料的保 温层有利于在使用时保温帽可以紧贴炉帽，使之间缝隙小，提高保温性能。
进一步，在本实用新型的优选实施例中，保温盖2正面为设有一孔2.2，在 正面开孔留下插测温热偶点，保温盖2正面还设有一插门3可以移动，拉恒温 与做片两不误，插门3对应于孔2.2的位置设有一缺口。由于扩散炉里面的温 度即使波动1摄氏度，也会对产品质量产生影响，因而需要对炉内温度进行探 测，温度传感器从开孔进入，用于测量扩散炉管内的温度，以对温度进行控制。 本实用新型放置于石英炉帽与铁门之间时，可最大限度减少热量流失，提 高衬底扩散炉口的保温性能，保持扩散炉内温度均匀，节约了能源，降低了成 本。此外，本实用新型还有效地防止静电带来的沾污，提高了炉口区域对沾污 的屏蔽能力，提高了产品质量。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和 详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是， 对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以 做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型 专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种扩散炉保温帽，其特征在于，包括一支架，所述支架上设置有一形状与扩散炉管配合、可套合于扩散炉口的保温盖，所述保温盖含有一中空腔，所述保温盖的外层由金属制成，所述中空腔内填充保温材料。
2、 根据权利要求1所述的一种扩散炉保温帽，其特征在于，所述金属为不 锈钢。
3、 根据权利要求1所述的一种扩散炉保温帽，其特征在于，所述金属为钛合全口 。
4、 根据权利要求1所述的一种扩散炉保温帽，其特征在于，所述保温材料 为石棉。
5、 根据权利要求1 4中任一项所述的一种扩散炉保温帽，其特征在于，所 述保温盖正面为设有一孔。
6、 根据权利要求5所述的一种扩散炉保温帽，其特征在于，所述保温盖正 面为还设有一插门。
专利摘要本实用新型公开了一种扩散炉保温帽，包括一支架，所述支架上设置有一形状与扩散炉管配合、可套合于扩散炉口的保温盖，所述保温盖含有一中空腔，所述保温盖的外层由金属制成，所述中空腔内填充保温材料。其中，所述金属可以是不锈钢材料，也可以是钛合金材料；所述保温材料一般为石棉材料。本实用新型设计简单实用，可大大减少扩散炉口热量流失，保持扩散炉内温度均匀，并节约了能源，降低了成本。此外，本实用新型还有效地防止静电带来的沾污，提高了炉口区域对沾污的屏蔽能力，提高了产品质量。
文档编号C30B31/00GK201198500SQ200820093119
公开日2009年2月25日 申请日期2008年3月31日 优先权日2008年3月31日
发明者于祝鹏, 叶宗桂 申请人:深圳深爱半导体有限公司