专利名称：吸附嘴用反射板以及管嘴单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种使用于安装电子部件的电子部件安装装置的吸附嘴用反射板以 及管嘴单元。
背景技术：
一般，在将IC、LSI等半导体芯片或者电阻器、电容器等电子部件安装、装载于安 装基板等的电子部件安装装置中，使用一种采用将电子部件真空吸附而搬送的吸附嘴，并 具有检测被该吸附嘴吸附的电子部件的位置偏移的功能的装置。例如，以前，在专利文献1中提出了如下电子部件安装装置，即具备配置于被吸 附嘴吸附的电子部件的背后的反射板；向该反射板照射光的光源部；识别电子部件的照相 机。在该电子部件安装装置中，用照相机拍摄由反射板反射的光，通过图像处理来处理电子 部件的图像数据，由此检测电子部件的位置偏移。该电子部件安装装置中的反射板为如下在大致圆盘状的树脂板的表面进行段差 加工而形成反射面，在反射面的表面进行铝蒸镀等镜面处理作为镜面状的反射面。另外，在 该反射板的表面上，作为保护膜覆盖有由树脂制成的近红外线透过滤光器和由丙烯酸类透 光性硬化树脂形成的硬质涂层剂被膜。专利文献1 特开平11-97900号公报
发明内容
发明所要解决的问题然而，上述的现有技术中存在以下问题。S卩，在上述专利文献1中记载的反射板中，由于在近红外线透过滤光器上形成有 由丙烯酸类透光性硬化树脂形成的硬质涂层剂被膜，静电的库仑力大，从而由于带有静电 而使空气中的灰尘和尘土附着，因此发生表面玷污的不良情况。另外，由于硬质涂层剂被膜 所带的静电，吸附在吸附嘴前端的电子部件有可能发生静电破坏。进而，树脂制的硬质涂层剂被膜虽然说是硬质，但只是铅笔硬度5H程度的硬度， 耐磨损性等并不足够，因此不适合长期使用。另外，如果在硬质涂层剂被膜的表面上附着灰 尘和尘土时进行表面的清洗处理，则树脂材料的表面被药品溶解，从而有可能妨碍识别，因 此存在需要限定所使用的清洗药品同时清洗操作难的不理想情况。另外，若在平坦的近红外线透过滤光器上形成硬质涂层剂被膜，则由于在硬质涂 层剂被膜硬化时产生的拉伸应力，近红外线透过滤光器的反射面整体形状变形为研钵状， 从而存在给识别带来不利影响的问题。本发明是为了解决上述问题而做出的，其目的在于提供一种具有优异的抗静电 力、耐用性以及耐清洗药品性等的吸附嘴用反射板以及管嘴单元。解决向题的手段本发明为了解决上述问题采用了以下结构即，本发明的吸附嘴用反射板，设置在用前端吸附电子部件的吸附嘴的基端侧，其特征在于，具备具有反射面的反射板本体；保 护薄板部，在该反射板本体上通过透光性粘合剂粘贴并由硬度比树脂更大的透光性无机材 料形成。在该吸附嘴用反射板中，由于具有在反射板本体上通过透光性粘合剂粘贴并由硬 度比树脂更大的透光性无机材料形成的保护薄板部，因此，通过由静电库仑力低的透光性 无机材料形成保护薄板部，与作为保护膜采用树脂制成的硬质涂层剂被膜的情况相比大幅 度地抑制静电的携带。由此，能够抑制由所带的静电而引起的灰尘和尘土的附着，并能够防 止吸附在吸附嘴上的电子部件的静电破坏。另外，由于用硬度比树脂还大的透光性无机材料的保护薄板部来保护反射板本 体，对磨损等具有高耐久性，从而能够耐于长期使用，并能够长期保护反射板本体。进而，由于保护薄板部由耐清洗药品性比树脂高的无机材料形成，清洗药品能获 得高选择自由度，不会妨碍识别而又获得好的清洗效果，同时可以力求减轻清洗操作的负 担。另外，由于在反射板本体上用透光性粘合剂粘贴有保护薄板部，不会像将硬质涂层剂被 膜直接涂敷的情况那样变形应力施加到反射板本体上从而导致反射面歪斜的现象，而能够 保持反射面整体形状的高平坦度，能够保持良好的识别。另外，本发明的吸附嘴用反射板，其特征在于，所述保护薄板部是玻璃板。S卩，在该吸附嘴用反射板中，由于保护薄板部是玻璃板，既便宜又能获得高硬度。进而，本发明的吸附嘴用反射板中，所述玻璃板最好由白板玻璃形成。S卩，在该吸附嘴用反射板中，由于玻璃板由白板玻璃形成，通过用纯度高的材料形 成来获得高透明度并获得高硬度。另外，本发明的吸附嘴用反射板，其特征在于，所述保护薄板部的外周边部被进行 倒角加工。S卩，在该吸附嘴用反射板中，由于保护薄板部的外周边部被进行倒角加工，可以防 止由玻璃板等透光性无机材料形成的保护薄板部的外周边部与其他部分接触而发生破损 的情况，并由于没有锐利的角部，操作人员能够很安全地进行装卸操作等。另外，由于保护 薄板部的外周边部因倒角加工而变成锥形，在用管嘴更换器更换管嘴的时候等，存放于储 料器等时，能够顺畅地进入装载槽或者装载孔。从而，能够以正确的位置和姿势存放于储料 器等中，从而储料器上的异物不易进入。如此，防止吸附嘴用反射板的破损和适当的存放变 为可能。本发明的管嘴单元，其特征在于，具备用前端吸附电子部件的吸附嘴；和上述本 发明的吸附嘴用反射板。S卩，由于在该管嘴单元中，具备用前端吸附电子部件的吸附嘴；和上述本发明的 吸附嘴用反射板，因此，能作为具有优异的抗静电力、耐用性以及耐清洗药品性等的管嘴单 元使用于电子部件安装装置中。发明效果若根据本发明，则产生以下效果。S卩，若根据本发明的吸附嘴用反射板以及管嘴单元，则由于具备在反射板本体上 通过透光性粘合剂粘贴并由硬度比树脂更大的透光性无机材料形成的保护薄板部，因此能 获得优异的抗静电力、耐用性以及耐清洗药品性，从而作为电子部件安装装置具有高可靠
4性，能够长期保持进行良好的识别。
图1是表示本发明的吸附嘴用反射板以及管嘴单元的一实施方案中透镜单元的 主视图。图2是表示本实施方案中吸附嘴用反射板的放大剖面图。图3是表示本实施方案中安装有管嘴单元的电子部件安装装置的各部分的配置 的结构图。附图标记1吸附嘴用反射板；2吸附嘴；3反射板本体；3a反射面；4透光性粘合剂；5保护薄 板部；6管嘴单元；7光源部；9照相机；10图像处理部；E电子部件
具体实施例方式以下参照附图1至图3，对本发明的吸附嘴用反射板以及管嘴单元的一个实施方 案进行说明。此外，在以下说明中使用的各附图中，为了将各部件表示为可识别的大小，适 当变更了比例尺。如图1以及图2所示，本实施方案的吸附嘴用反射板1是设置在用前端吸附电子 部件E的吸附嘴2的基端侧的反射板，具备具有反射面3a的反射板本体3 ；在该反射板本 体3上通过透光性粘合剂4粘贴并由硬度比树脂更大的透光性无机材料形成的保护薄板部 5。另外，本实施方案的管嘴单元6具备用前端吸附电子部件的吸附嘴2和上述吸附 嘴用反射板1。进而，如图3所示，安装有该管嘴单元6的电子部件安装装置是将IC、LSI等半导 体芯片、电阻器或片状电容器等片状电子部件E安装于安装基板等的装置。该电子部件安装装置具备向吸附嘴用反射板1照射光的光源部7 ；通过透镜等光 学部8拍摄电子部件E的CCD等照相机9 ；连接于该照相机9并对由照相机9拍摄的电子 部件E的图像数据进行图像处理来检测电子部件E的位置偏移的图像处理部10。上述吸附嘴2是开口有将电子部件E吸附在前端的吸附孔2a的、大致圆筒状或者 大致角筒状等，由金属或者陶瓷等形成。上述反射板本体3具备以大致椭圆形由近红外线透过性树脂形成并在表面加工 有多个剖面形状为锯齿状的段差的透近红外线滤光板11 ；在该透近红外线滤光板11的段 差状的表面上蒸镀铝来形成镜面反射面3a的铝蒸镀膜12。上述透近红外线滤光板11是具有如下特性的滤光器对于例如波长在750nm以下 的光，透射率急剧下降。另外，形成在透近红外线滤光板11表面的、多个剖面形状为锯齿状的段差构成具 有如下角度的反射面3a 将从例如斜下方入射的入射光向吸附嘴2的前端侧进行全反射。S卩，透近红外线滤光板11表面的锯齿状段差，相对于吸附嘴2的中心轴对称地配 置倾斜面的方向，并以将来自吸附嘴用反射板1的斜下方的入射光向光学部8以及照相机 9反射的方式形成。
上述保护薄板部5是玻璃板，最好由白板玻璃形成。就该白板玻璃而言，例如努氏硬度(Hk1J为542、折射率(NeU = 546))为
1.525。此外，在本实施方案中，由硼硅酸盐玻璃形成的厚度为0. 3mm的玻璃板用作保护薄 板部5。该硼硅酸盐玻璃的努氏硬度(Hk1J为590、折射率(NeU = 546))为1. 526。此外，作为形成保护薄板部5的透光性无机材料，可采用透光性陶瓷材料、人工金 刚石(AlN等)、水晶、蓝宝石等。上述透光性粘合剂4的折射率例如为1.56，光透射率在近红外线区域大约为 98%。另外，保护薄板部5的外周边部被进行倒角加工。此外，也可以设定为如下在保护薄板部5的表面上可以通过多层透过膜(省略图 示)进行透射率提高处理，由此将表面的反射率例如从4%控制成0. 5%，从而使较多的入 射光通过。吸附嘴用反射板1在中央形成有插入孔la，在该插入孔Ia中插入并固定有吸附嘴
2。S卩，吸附嘴用反射板1配置在电子部件E的背后，该电子部件E吸附在吸附嘴2的前端。上述光源部7例如具备发射波长为850nm红外线的红外LED的第一光源部7A ； 发射波长为690nm红色光的红色LED的第二光源部7B。这些第一光源部7A以及第二光源 部7B分别设置在吸附嘴用反射板1的斜下方，并设定为从斜下方向吸附嘴用反射板1照射 照明光线。电子部件安装装置具备可安装管嘴单元6并可在水平以及垂直方向上移动的移 动装载头13 ；设置在该移动装载头13的下端部并可装卸管嘴单元6的管嘴支撑部14。该 管嘴支撑部14可以以轴为中心旋转并可以上下移动。吸附嘴2以安装有吸附嘴用反射板1的管嘴单元6的状态，将基端部插入并固定 在管嘴支撑部14的前端部而被使用。该管嘴支撑部14具有圆筒形状，内部真空孔14a与 吸附嘴2的吸附孔2a连通，而且在基端部安装于电子部件安装装置时，与电子部件安装装 置的真空吸引源(省略图示)连接。即，在吸附嘴2的吸附孔2a中，通过与真空吸引源连 接的管嘴支撑部14的真空孔14进行吸引、吸附。在该电子部件安装装置中，首先将波长为850nm的照射光从第一光源部7A向吸附 有电子部件E的管嘴单元6照射。然后，将照射光被吸附嘴用反射板1反射的波长为850nm 的反射光由照相机9接受并进行拍摄，并在图像处理部10作为图像数据存储。此时，由于 透近红外线滤光板11是在波长超过750nm时具有高透射率的滤光器，因此可以透过波长为 850nm的照射光并被反射面3a反射。另外，由于吸附嘴用反射板1反射的反射光被电子部 件E遮挡，所以在照相机9接收的反射光所得的图像数据中，电子部件E的部分成为暗部。另外，将波长为690nm的照射光从第二光源部7B向吸附有电子部件E的管嘴单元 6照射。此时，由于透近红外线滤光板11是在波长在750nm以下时其透射率急剧下降的滤 光器，因此不透过波长为690nm的照射光。从而，照射光不被吸附嘴用反射板1反射，而被 电子部件E反射的反射光由照相机9接受，从而电子部件E作为明部在图像处理部10存储 为图像数据。图像处理部10从如此获得的图像数据检测电子部件E的位置偏移。S卩，由于用来 自第一光源部7A的照射光和来自第二光源部7B的照射光获得的图像数据，对比度互相大不相同，因此将两者的图像数据适当替换或者进行差分处理等而进行图像处理，由此能够 明确地识别电子部件E的位置。在本实施方案的吸附嘴用反射板1中，由于具有在反射板本体3上通过透光性粘 合剂4粘贴并由硬度比树脂更大的透光性无机材料形成的保护薄板部5，因此，通过由静电 库仑力低的透光性无机材料形成保护薄板部5，与作为保护膜采用树脂制成的硬质涂层剂 被膜的情况相比大幅度地抑制静电的携带。由此，能够抑制由所带的静电而引起的灰尘和 尘土的附着，并能够防止吸附在吸附嘴2上的电子部件E的静电破坏。例如，在采用玻璃板的保护薄板部5时，与采用丙烯酸树脂的硬质涂层剂被膜时 相比，所产生的静电变为十分之一左右。另外，由于用硬度比树脂还大的透光性无机材料的保护薄板部5来保护反射板本 体3，对磨损等具有高耐久性，从而能够耐于长期使用，并能够长期保护反射板本体3。进 而，由于保护薄板部5由耐药品性比树脂高的无机材料形成，清洗药品能获得高选择自由 度，从而不会妨碍识别而获得高清洗效果，同时可以力求减轻清洗操作的负担。另外，由于在反射板本体3上用透光性粘合剂粘贴有保护薄板部5，不会像将硬质 涂层剂被膜直接涂敷情况那样变形应力施加到反射板本体3上从而导致反射面3a歪斜，而 能够保持反射面整体形状的高平坦度，并能够保持良好的识别。进而，由于保护薄板部5是玻璃板，既便宜又能获得高硬度。尤其是，由于将玻璃板由白板玻璃形成，通过用纯度高的材料形成来获得高透明 度并获得高硬度。另外，由于保护薄板部5的外周边部被进行倒角加工，可以防止由玻璃板等透光 性无机材料形成的保护薄板部5的外周边部与其他部分接触而发生破损的情况，并由于没 有锐利的角部，操作人员能够很安全地进行装卸操作等。另外，由于保护薄板部5的外周边 部因倒角加工而变成锥形，在用管嘴更换器更换管嘴的时候等，存放于储料器等时，能够顺 畅地进入装载槽或者装载孔。从而，能够以正确的位置和姿势存放于储料器等中，从而储料 器上的异物不易进入。如此，防止吸附嘴用反射板1的破损和适当的存放变为可能。从而，能够将具备上述吸附嘴用反射板1的管嘴单元6作为具有优异的抗静电力、 耐用性以及耐清洗药品性等的管嘴单元使用于电子部件安装装置中。另外，本发明并不限于上述实施方案，在不脱离本发明宗旨的范围内可以进行各 种变形。例如，虽然在上述本实施方案中，采用使用两种波长的光源部，并采用具有透近红 外线滤光部的吸附嘴用反射板，但可以对采用单色光源部的电子部件安装装置采用本发明 的吸附嘴用反射板。另外，此时，在吸附嘴用反射板的反射板本体上不设置透近红外线滤光 功能也可。
权利要求
一种吸附嘴用反射板，设置在用前端吸附电子部件的吸附嘴的基端侧，其特征在于，具备具有反射面的反射板本体；保护薄板部，在该反射板本体上通过透光性粘合剂粘贴并由硬度比树脂更大的透光性无机材料形成。
2.如权利要求1所述的吸附嘴用反射板，其特征在于， 所述保护薄板部是玻璃板。
3.如权利要求2所述的吸附嘴用反射板，其特征在于， 所述玻璃板是由白板玻璃形成。
4.如权利要求1至3中任一项所述的吸附嘴用反射板，其特征在于， 所述保护薄板部的外周边部被进行倒角加工。
5.一种管嘴单元，其特征在于，具备 用前端吸附电子部件的吸附嘴；权利要求1至4中任一项中记载的吸附嘴用反射板。
全文摘要
本发明目的在于提供一种具有优异的抗静电力、耐用性以及耐清洗药品性等的吸附嘴用反射板以及管嘴单元。所述吸附嘴用反射板设置在用前端吸附电子部件(E)的吸附嘴(2)的基端侧，具备具有反射面的反射板本体(3)；保护薄板部(5)，在该反射板本体(3)上通过透光性粘合剂(4)粘贴并由硬度比树脂更大的透光性无机材料形成。由此，能够抑制所带的静电引起的灰尘和尘土的附着，并能够防止吸附在吸附嘴(2)上的电子部件(E)的静电破坏。
文档编号H05K13/04GK101888771SQ20091014911
公开日2010年11月17日 申请日期2009年6月16日 优先权日2009年5月12日
发明者山口芳行 申请人:南赛拉贸易(上海)有限公司