专利名称：用于生产太阳能用硅单晶的氩气流量自动调节装置的制作方法
技术领域：
本 实用新型涉及氩气流量调节装置，具体为一种用于直拉法生产太阳能用硅单晶过程中使用的氩气流量自动调节装置。
背景技术：
在直拉法生产太阳能用硅单晶的过程中，需要采用氩气进行保护，因而氩气流量自动调节装置为必不可少的设备之一，而且它的操作好坏对硅单晶的质量和成本有较大的影响。目前普遍应用的氩气流量调节装置多由III型仪表组成，该种配置仅适用于一种压力下的流量调节，而且流量调节非常不稳定，不能满足使用工艺要求，所以均在管道上增加一手动截止阀，需要手动调节。其存在的缺点包括1、操作不便，工艺过程调节次数多；2、 不能及时观测单晶炉内部压力并实时做出相应调控；3、工艺操作的随机性大，人为因素影响较大。
实用新型内容本实用新型所解决的技术问题在于提供一种用于生产太阳能用硅单晶的氩气流量自动调节装置，使之能够实时监测单晶炉内部压力，并依据压力对氩气流量做出合理的自动调节，从而解决上述背景技术中的缺点。本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现一种用于生产太阳能用硅单晶的氩气流量自动调节装置，包括控制装置、吹氩装置本体、压力传感器、流量调节装置和单晶炉，所述吹氩装置本体与所述单晶炉相连的管道上设置所述流量调节装置，该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接，所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器，该压力传感器安装在所述单晶炉内。作为一种改进，所述控制装置为CPU，可以接收压力传感器采集的压力数据，在显示屏上显示，并对数据进行处理，做出调控信号，根据信号对所述流量调节装置进行调控。作为一种改进，所述流量调节装置为多组电磁阀、单向阀和减压阀的组合，可以对吹氩装置本体的氩气输出速度进行调节。由于采用了以上技术方案，本实用新型具有以下有益效果本实用新型结构简单，操作方便，能够实时监测单晶炉内部压力，并依据压力对氩气流量做出合理的自动调节，减少了人为因素的影响，使之更利于太阳能用硅单晶的生产。
图1为本实用新型组成结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体 图示，进一步阐述本实用新型。参见图1，一种用于生产太阳能用硅单晶的氩气流量自动调节装置，包括吹氩装置本体1、控制装置2、压力传感器3、流量调节装置4和单晶炉5，所述吹氩装置本体1与所述单晶炉5相连的管道上设置所述流量调节装置4，该流量调节装置4与所述控制装置2的信号输出端连接，所述控制装置2的信号输入端连接所述压力传感器3，该压力传感器3安装在所述单晶炉5内。本实施例中，所述控制装置2为CPU，可以接收压力传感器3采集的压力数据，在显示屏上显示，并对数据进行处理，做出调控信号，根据信号对所述流量调节装置4做出调控。本实施例中，所述流量调节装置4为多组电磁阀、单向阀和减压阀的组合，可以对吹氩装置本体1的氩气输出速度进行调节。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1. 一种用于生产太阳能用硅单晶的氩气流量自动调节装置，包括控制装置、吹氩装置本体、压力传感器、流量调节装置和单晶炉，其特征在于所述吹氩装置本体与所述单晶炉相连的管道上设置所述流量调节装置，该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接，所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器，该压力传感器安装在所述单晶炉内。
专利摘要一种用于生产太阳能用硅单晶的氩气流量自动调节装置，包括控制装置、吹氩装置本体、压力传感器、流量调节装置和单晶炉，所述吹氩装置本体与所述单晶炉相连的管道上设置所述流量调节装置，该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接，所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器，该压力传感器安装在所述单晶炉内。本实用新型结构简单，操作方便，能够实时监测单晶炉内部压力，并依据压力对氩气流量做出合理的自动调节。
文档编号C30B29/06GK201942785SQ20112001679
公开日2011年8月24日 申请日期2011年1月19日 优先权日2011年1月19日
发明者李斌, 杨峰, 林增标, 林德彰, 林海萍, 王县, 王增荣, 王飞, 赖汝萍, 郝俊涛, 钟贵琪, 黄云增, 黄少华, 黄斌, 黄鲁生 申请人:江西神硅科技有限公司