用于自动化物料传输系统的输送车的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于自动化物料传输系统的输送车，其包括车身、车身内的控制单元、车身顶部的车轮和车身底部的剪叉式升降装置，剪叉式升降装置包括固定于车身的基座、基座下方并与基座相连的至少一组剪叉杆组以及剪叉杆组下方并与剪叉杆组相连的底架，基座和底架设有导轨，并且基座和底架上的导轨分别至少与一根剪叉杆滑动连接，剪叉杆组由固定在基座上的液压缸推动，液压缸与电机相连，而电机与控制单元信号连接，底架向下设有硅片盒取放部件。本发明可以提高输送车的载重能力，提高取放硅片盒的准确性、搬送的稳定性和安全性。
【专利说明】用于自动化物料传输系统的输送车
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体集成电路物料输送设备【技术领域】，尤其涉及一种硅片盒自动搬 送系统中输送车。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的发展,300mm娃片已经逐步取代200mm娃片成为主流,每盒装载 硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送， 不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率 以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统(Automated Material Handling Systems,简称AMHS)作为连接各个制造模块之间输送娃片的纽带的重要性也日益凸显出 来。
[0003]现有技术中，用于300mm硅片制造的一种主流AMHS是采用悬吊式搬送系统，其包 括多个用于存放半导体硅片的硅片存储设备(STOCKER)和一个或多个空中升降机输送车 (Overhead Hoist Transport,简称0HT),用于在娃片制造区域的各工位之间传送娃片。存 放在STOCKER中的娃片被装入盒式容器,例如前端开口片盒(Front Opening Unified Pod, 简称F0UP)，随后它们被传递到在悬垂轨道上行进的OHT输送车。输送车一般是通过非接触 供电方式供电，其工作原理就是在轨道的一侧铺设特殊的线缆，输送车通过切割这个线缆 产生的磁力线获得供电。
[0004]其中，所有的这些传输都是基于悬垂在天花板上的轨道来实现，而随着硅片尺寸 的变大，300mm硅片盒正向450mm的尺寸发展，硅片盒FOUP的重量在增加，因此对OHT输送 车的承载能力及稳定性提出了新的要求。现有的悬吊式输送车大多采用安装在车底的升降 机构来取放硅片盒，其中升降机构较多采用橡胶绳索连接取放机构。这就要求输送车在取 放硅片盒的时候要静止，否则会造成取放机构的晃动而无法对准硅片盒或机台的堆叠部； 此外，随着硅片盒重量的增加，橡胶绳索的承载能力有限，且较易老化、破损，都给搬送系统 的稳定性和安全性带来隐患。
[0005]综上所述，需要提出一种新的输送车来提高输送车的承载能力，并提高其搬送硅 片盒的稳定性和安全性。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的用于自动化物料传输 系统的输送车。
[0007]为实现上述目的，本发明提供一种用于自动化物料传输系统的输送车，该输送车 悬吊于系统的轨道，其包括车身、车身内的控制单元、车身顶部的车轮和车身底部的剪叉式 升降装置，该剪叉式升降装置包括固定于车身的基座、基座下方并与基座相连的至少一组 剪叉杆组以及剪叉杆组下方并与剪叉杆组相连的底架，该基座和底架设有导轨，并且基座 和底架上的导轨分别至少与一根剪叉杆滑动连接，该剪叉杆组由固定在基座上的液压缸推动，该液压缸与电机相连，而电机与控制单元信号连接，该底架向下设有硅片盒取放部件。
[0008]进一步地，该剪叉式升降装置包括至少两组剪叉杆组相互铰接而成，该基座和底 架分别被两根剪叉杆相连，且与该基座或底架相连的剪叉杆中，一根固定在基座或底架上， 另一根与基座或底架的导轨相连。
[0009]进一步地，该液压缸与设于基座导轨上的剪叉杆相连。
[0010]进一步地，该剪叉杆组包括并列的两列。
[0011]进一步地，该两列剪叉杆组中的一对同位置剪叉杆组，在各自的剪叉杆交叉处通 过一连接杆相连，该液压缸与该连接杆相连。
[0012]进一步地，该对同位置剪叉杆组是顶部与基座相连的剪叉杆组。
[0013]进一步地，该剪叉杆组为含铝金属或硬质塑料。
[0014]进一步地，该液压缸与剪叉杆设在基座导轨上的那一端相连。
[0015]进一步地，该底架是输送车车身可分离的一部分。
[0016]进一步地，该取放部件是挂钩或抓手。
[0017]本发明采用以上技术方案，提供一种新的用于自动化物料传输系统的输送车，通 过在输送车车身底部安装剪叉式升降装置，可以提高输送车及其升降装置的载重能力，也 可以有效避免升降装置的晃动，从而提高取放硅片盒的准确性、搬送的稳定性和安全性。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实 施例进行详细描述，其中:
[0019]图1是本发明第一实施例输送车打开剪叉式升降装置的示意图；
[0020]图2是本发明第一实施例输送车收拢剪叉式升降装置的示意图。
【具体实施方式】
[0021]第一实施例
[0022]请参阅图1，本实施例用于自动化物料传输系统的输送车I悬吊于系统的轨道9之 上，其包括车身11、车身11内的控制单元(未图示)、车身11顶部的车轮12和车身11底部 的剪叉式升降装置13。
[0023]其中，剪叉式升降装置13包括固定于车身11的基座131、基座131下方并与基座 131相连的剪叉杆组以及剪叉杆组下方并与剪叉杆组相连的底架133，基座131设有第一导 轨134，底架133设有第二导轨135。根据输送车取放硅片盒的升降范围的要求，本实施例的 剪叉杆组由三组剪叉杆相互铰接而成，包括第一剪叉杆组1321、第二剪叉杆组1322和第三 剪叉杆组1323。第一剪叉杆组1321由相互交叉的第一剪叉杆a和第二剪叉杆b组成，第二 剪叉杆组1322由相互交叉的第三剪叉杆c和第四剪叉杆d组成，第三剪叉杆组1323由相 互交叉的第五剪叉杆e和第六剪叉杆f组成。第一剪叉杆a的顶端固定在基座131之上， 第二剪叉杆b的顶端与第一导轨134滑动连接，第五剪叉杆e的底端与第二导轨135滑动 连接，第六剪叉杆f的底端固定在底架133之上。液压缸136两端分别连接于基座131和 第二剪叉杆b，液压缸136还与电机(未图示)相连，而电机与控制单元信号连接，以此来推 动剪叉杆组，实现剪叉式升降装置13的升降。底架133向下还设有硅片盒8的抓取件14。在其他实施例中，液压缸还可连接在第四剪叉杆d之上。
[0024]请继续参阅图2，图2示出了本实施例剪叉式升降装置13收拢后的状态。本实施 例中，底架133是封闭式，且是车身11的可分离的一部分，即当剪叉式升降装置13收拢时， 底架133与车身11的上半部相抵接，形成完整的一个输送车外壳。这样的好处包括:避免 剪叉式升降装置裸露在外部；避免输送车内的污物掉落；增加了输送车的美观性。
[0025]本实施例中，剪叉式升降装置设置纵向的三组剪叉杆组，来提高输送车取放硅片 盒的升降范围，但实际使用中可根据硅片盒的实际高度收放剪叉杆组；同时，剪叉式升降装 置采用铝材质，在保证其结构强度的同时，尽可能减轻了输送车重量。在其他实施例中，剪 叉式升降装置还可采用硬质塑料等具有一定强度且质量较轻的材料。
[0026]第二实施例
[0027]本实施例中，车身、基座和底架的设置与第一实施例相同，而剪叉式升降装置包括 了一组剪叉杆组，该组剪叉杆组包括两根相互交叉的剪叉杆，其与基座和底架的连接方式 与第一实施例相同。本实施例减少了剪叉杆组的数量，缩小了升降装置的升降范围，以适用 于不同的场合，也减轻了输送车的重量。
[0028]本实施例的液压缸两端分别与基座以及剪叉杆设在基座导轨上的那一端相连，SP 液压缸在运作过程中，始终处于水平，通过水平方向推动导轨上剪叉杆的一端，实现剪叉杆 组的伸缩。
[0029]第三实施例
[0030]本实施例中，车身、基座和底架的设置与第二实施例相同，而剪叉式升降装置包括 了并列的两列剪叉杆组，每列剪叉杆组包括两组纵向相互铰接的剪叉杆组，每列顶部和底 部的剪叉杆组与基座和底架的连接方式与第一实施例相同。两组中上面一组剪叉杆组的交 叉处与另一列同位置的剪叉杆组交叉处，通过一连接杆相连，可以参考图1中第一剪叉杆a 与第二剪叉杆b的交叉点，液压缸与该连接杆相连，通过推动连接杆，实现剪叉式升降装置 的升降。
【权利要求】
1.一种用于自动化物料传输系统的输送车，该输送车悬吊于系统的轨道，其特征在于: 该输送车包括车身、车身内的控制单元、车身顶部的车轮和车身底部的剪叉式升降装置，该 剪叉式升降装置包括固定于车身的基座、基座下方并与基座相连的至少一组剪叉杆组以及 剪叉杆组下方并与剪叉杆组相连的底架，该基座和底架设有导轨，并且基座和底架上的导 轨分别至少与一根剪叉杆滑动连接，该剪叉杆组由固定在基座上的液压缸推动，该液压缸 与电机相连，而电机与控制单元信号连接，该底架向下设有硅片盒取放部件。
2.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的输送车，其特征在于:该剪叉式 升降装置包括至少两组剪叉杆组相互铰接而成，该基座和底架分别被两根剪叉杆相连，且 与该基座或底架相连的剪叉杆中，一根固定在基座或底架上，另一根与基座或底架的导轨 相连。
3.根据权利要求2所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该液压缸 与设于基座导轨上的剪叉杆相连。
4.根据权利要求2所述的用于自动化物料传输系统的输送车，其特征在于:该剪叉杆 组包括并列的两列。
5.根据权利要求4所述的用于自动化物料传输系统的输送车，其特征在于:该两列剪 叉杆组中的一对同位置剪叉杆组，在各自的剪叉杆交叉处通过一连接杆相连，该液压缸与 该连接杆相连。
6.根据权利要求5所述的用于自动化物料传输系统的输送车,其特征在于:该对同位 置剪叉杆组是顶部的并与基座相连的剪叉杆组。
7.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的输送车，其特征在于:该液压缸 与剪叉杆设在基座导轨上的那一端相连。
8.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的输送车，其特征在于:该底架是 输送车车身可分离的一部分。
9.根据权利要求1至8任一项所述的用于自动化物料传输系统的输送车，其特征在于: 该剪叉杆组为含铝金属或硬质塑料。
10.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的输送车，其特征在于:该取放部 件是挂钩或抓手。
【文档编号】B66F7/08GK103601097SQ201310552161
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年11月8日 优先权日:2013年11月8日
【发明者】周颖 申请人:上海集成电路研发中心有限公司