框架131上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂132同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂133，竖直臂132与水平臂133可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置，第一动力组件400将安装有蒙版与掩膜版的夹具组件100推向压边组件200保证相对两边上的压制效果，两个压杆252间距可调，适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构130与掩膜版夹具的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构130与掩膜版夹具的成本。
[0028]在本实施例中，平台110呈方形板状，作为支撑件，用于安装其他零部件。所述框架131具有一缺口且所述平台110沿Y轴方向滑动安装在该缺口内。框架131呈中空方框状，平台110可在框架131的内侧沿Y轴滑动。该结构紧凑，在厚度方向上占用空间较小。掩膜版与蒙版均大致呈板状，中部均开设有孔。掩膜版与蒙版在贴合的过程，通常先对掩膜版与蒙版的其中一对边进行贴合，然后再对掩膜版与蒙版的另外一对边进行贴合。
[0029]进一步地，请同时参阅图4至图6，所述蒙版夹具120包括基板121及安装在所述基板121上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件122，所述蒙版夹具120的所述基板121上开设有定位孔1211，所述夹具组件100还包括安装在所述平台110上且能沿Y轴方向输出直线运动的第一驱动件141及由所述第一驱动件141驱动的定位销142，所述定位销142穿设在所述定位孔1211中，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。具体地，第一驱动件141设置在平台110背离基板121的一侧上，第一驱动件141的输出端411穿过平台110而定位销142穿设在定位孔1211中。基板121上开设有沿蒙版的其中一条对角线分布的四个定位孔1211，与四个第一驱动件141、定位销142配合，实现蒙版夹具120定位在平台110预定位置上，该结构定位准确。第一驱动件141为直线气缸。
[0030]进一步地，所述蒙版夹具120包括基板121及安装在所述基板121上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件122，所述蒙版夹具120的所述基板121上开设有盲孔1212，所述盲孔1212中设置有夹紧法兰143且该夹紧法兰143上开设有型孔1431，所述夹具组件100还包括绕Y轴输出旋转运动且具有一输出端的第二驱动件145、由所述第二驱动件145驱动转动的卡接件146及用于驱动所述第二驱动件145沿Y轴方向移动的第三驱动件147，所述卡接件146包括卡接头及垂直设置在该卡接头上的转动轴1462，所述卡接件146的横截面形状与所述型孔1431的横截面形状相同，所述卡接件146的所述转动轴1462与所述第二驱动件145的所述输出端相连接，该卡接件146的所述卡接头穿过所述夹紧法兰143的所述型孔1431并伸入所述基板121的所述盲孔1212后绕Y轴转动以使所述蒙版夹具120固紧在所述平台110上。具体地，第二驱动件145与第三驱动件147均设置在平台110背离基板121的一侧上，第三驱动件147的输出端穿过平台110并伸入基板121的盲孔1212。卡接件146呈T字型，卡接件146的卡接头与夹紧法兰143的型孔1431呈一字型。卡接件146的卡接头穿过夹紧法兰143的型孔1431并伸入基板121的盲孔1212后绕Y轴转动并沿Y轴方向内缩，可使蒙版夹具120进一步固紧在平台110上。第二驱动件145与第三驱动件147的输出端之间铰接有连接件148，让第三驱动件147可安装在平台110上，第三驱动件147的输出端远离伸出蒙版夹具120时，第二驱动件145的输出端会伸入蒙版夹具120，该结构紧凑。基板121上开设有沿蒙版的另外一条对角线分布的四个盲孔1212，与四个夹紧法兰143、第二驱动件145、第三驱动件147配合，将蒙版夹具120固紧在平台110上，该结构连接牢固。第二驱动件145为旋转气缸。第三驱动件147为直线气缸。
[0031]进一步地，所述夹紧组件122包括安装在所述基板121上的第四驱动件1221，所述第四驱动件1221具有沿X轴方向输出相反或者相对直线运动的两个输出端1221a，所述夹紧组件122还包括分别由所述第四驱动件1221的两个所述输出端1221a—一对应驱动沿X轴方向移动的两个拨杆1222、一一对应由所述拨杆1222顶抵沿X轴方向移动且沿X轴方向延伸的两个导杆1223及设置在每一所述导杆1223的自由端上的卡爪1224，所述第四驱动件1221的两个所述输出端1221a分别驱动两个所述拨杆1222顶抵对应的所述导杆1223以使两个所述卡爪1224张开，所述夹紧组件122还包括设置在每一所述导杆1223上且用于在两个所述卡爪1224张开后使该卡爪1224复位以夹紧所述蒙版的弹性件1225。具体地，第四驱动件1221均设置在平台110背离基板121的一侧上，第四驱动件1221的输出端1221a穿过平台110与基板121。第四驱动件1221为气动手指，第四驱动件1221设置在基板121上侧边的中间位置。拨杆1222沿Z轴方向延伸，第四驱动件1221的两个输出端1221a带动两拨杆1222相互远离。导杆1223嵌装在蒙版夹具120的凹槽1213中，并且由凹槽1213中的支撑座1226支撑，让导杆1223在凹槽1213中移动。弹性件1225为弹簧，套设在导杆1223外，其两端分别顶抵在固接在导杆1223上的弹簧座及固接在凹槽1213的其中一个支撑座1226上，让导杆1223在拨杆1222相抵以远离第四驱动件1221后复位，从而让两个导杆1223的自由端上的卡爪1224向第四驱动件1221靠近，以夹紧蒙版。还有，基板121上可以设置多组导杆1223以适应不同型号尺寸的蒙版。在本实施例中，基板121设置有两组导杆1223，可使第8代两种尺寸的掩膜版共用一套蒙版夹具120。
[0032]进一步地，所述夹紧组件122包括安装在所述基板121上的第四驱动件1221，所述第四驱动件1221具有沿Y轴方向输出相反或者相对直线运动的两个输出端1221a，所述夹紧组件122还包括分别由所述第四驱动件1221的两个所述输出端1221a—一对应驱动沿Y轴方向移动的两个拨杆1222、一一对应由所述拨杆1222顶抵沿Y轴方向移动且沿Y轴方向延伸的两个导杆1223及设置在每一所述导杆1223的自由端上的卡爪1224，所述第四驱动件1221的两个所述输出端1221a分别驱动两个所述拨杆1222顶抵对应的所述导杆1223以使两个所述卡爪1224张开，所述夹紧组件122还包括设置在每一所述导杆1223上且用于在两个所述卡爪1224张开后使该卡爪1224复位以夹紧所述蒙版的弹性件1225。该方案与前一个方案类似，不再赘述。
[0033]根据曝光机的需要，蒙版夹具120分为左下定位及右下定位的方式。左下定位时，夹具左边及下边的卡爪1224固定，右边及上边的卡爪1224活动。右下定位时，右边及下边的卡爪1224固定，夹具左边及上边的卡爪1224活动。活动卡爪1224由平台110上安装的手指气缸驱动，实现蒙版夹具120内的拔杆合隆及分离，使活动卡爪1224移动并压紧蒙版。
[0034]进一步地，所述掩膜版定位机构130包括安装在所述框架131的背离所述蒙版夹具120的一侧上且用于驱动所述竖直臂132沿X轴方向移动的第五驱动组件134及安装在所述框架131的背离所述蒙版夹具120的一侧上且用于驱动所述水平臂133沿Y轴方向移动的第六驱动组件135，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。具体地，第五驱动组件134包括安装在框架131上且能输出旋转运动的第五驱动件1341、由所述第五驱动件1341驱动转动的丝杆1342及在框架131上沿X轴方向滑动且与丝杆1342螺纹配合的滑块1343。第五驱动件1341为伺服马达。第六驱动组件135与第五驱动组件134类似，不再赘述。根据需要，第六驱动组件135与第五驱动组件134可加装监控摄像头作为反馈系统。掩膜版安装到位后可通过气缸自动或手动完成掩膜版的压紧保护，避免掩膜版掉落。
[0035]进一步地，二个所述第五驱动组件134分别分布在所述框架131的上下两侧且该二个第五驱动组件134共同驱动一个所述竖直臂132，二个所述第六驱动组件135分别分布在所述框架131的左右两侧且该二个第六驱动组件135共同驱动一个所述水平臂133。该结构能让竖直臂132与水平臂133得到精确位置控制，从而适应不同尺寸的掩膜版的安装。
[0036]进一步地，每一所述竖直臂132上均设置有用于与所述掩膜版的一侧相抵的第一定位件1321，两个所述竖直臂132上的所述第一定位件1321相向设置；每一