贴膜机的制作方法_3

文档序号:8239432阅读:来源:国知局
所述水平臂133上均设置有用于与所述掩膜版的一侧相抵的第二定位件1331,两个所述水平臂133上的所述第二定位件1331相向设置。第一定位件1321或第二定位件1331与掩膜版的其中一边接触,保证掩膜版的定位精确,而且在多次使用后,只要更换第一定位件1321或第二定位件1331即可再次定位,避免整体更换的浪费。水平臂133上设置有若干第二定位件1331以有效支撑掩膜版。所有与掩膜版接触的部位需使用防静电的塑胶材料。
[0037]进一步地,所述框架131上设置有沿Y轴方向延伸的滑轨151,所述基座上设置有与所述滑轨151滑动配合的滑座152。在蒙版的贴合过程中,让掩膜版处于活动状态。具体地,四个滑轨151分布在框架131的四个内角位置上,对应基座上设置有四个滑座152滑动配合,该结构便于调整框架131与基座之间的位置关系,保证两者平行度。平台110的左右两边上安装有能输出直线运动的驱动件153,该驱动件153用于驱动框架131沿Y轴方向滑动以调整框架131与基座之间的位置关系,该驱动件153为气缸。
[0038]进一步地,请同时参阅图7至图10,所述压边组件200包括安装座210、绕Y轴转动安装在所述安装座210上的旋转板220及安装在所述安装座210上且用于驱动所述旋转板220绕Y轴转动的第七驱动组件230,所述旋转板220具有两个沿该旋转板220的长度方向开设的直通槽221,且该二个直通槽221的长度方向重合,所述压边组件200还包括设置在所述旋转板220的靠近所述安装座210的一侧上且能沿所述旋转板220的长度方向输出直线运动的两个第八驱动组件240及两个由所述第八驱动组件240 —一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽221中的第一连接件251,所述压杆252设置在每一所述第一连接件251上。
[0039]两个压杆252在蒙版与掩膜版贴合过程中与掩膜版背离蒙版的一侧相抵,实现蒙版与掩膜版的其中一对边的贴合,第七驱动组件230驱动旋转板220转动,从而带动安装在旋转板220上第八驱动组件240与压杆252转动,以实现蒙版与掩膜版的另外一对边的贴合。旋转板220呈板状,作为支撑件,用于安装两个第八驱动组件240。第八驱动组件240设置在旋转板220上靠近安装座210的一侧上,而压杆252滑动设置在旋转板220背离安装座210的一侧上,第八驱动组件240与压杆252以第一连接件251相连接。具体地,两个压杆252的长度方向与直通槽221的长度方向相垂直,第八驱动组件240分别带动对应的压杆252相互靠近或远离移动,以调整两个压杆252之间的距离,从而适应不同尺寸规格掩膜版。
[0040]进一步地,所述压边组件200还包括固定在所述旋转板220的靠近所述安装座210的一侧上且呈环形分布的若干第一滑座253及安装在所述安装座210的一侧上且与所有所述第一滑座253滑动配合的环形导轨254。具体地,安装座210上均布有六个第一滑座253,并与环形导轨254滑动配合,引导旋转板220绕Y轴旋转。
[0041]进一步地,所述第七驱动组件230包括绕Y轴枢接在所述安装座210上且能输出直线运动的第七驱动件231,所述第七驱动件231具有一输出直线运动的输出端231a,所述第七驱动件231的所述输出端231a绕Y轴枢接在所述旋转板220上。第七驱动件231为气缸,带动旋转板220绕Y轴作摆动,该结构紧凑,占用空间小。可以理解地,第七驱动组件230为输出旋转运动的机构。
[0042]进一步地,所述压边组件200还包括固定在所述安装座210上的支撑板255、固定在所述旋转板220的靠近所述安装座210 —侧上且呈环形分布的若干第一滑座253及安装在所述支撑板255 —侧的上且与所有所述第一滑座253滑动配合的环形导轨254。支撑板255呈板状,其中部开设有通孔2551,便于布置连接在旋转板220与第七驱动件231的输出端231a之间连接轴232。
[0043]进一步地,请同时参阅图10,所述支撑板255上设置有一个碰块259,所述旋转板220的靠近所述支撑板255的一侧上设置有两个与所述碰块259碰撞配合以限制所述旋转板220的转动范围的调整轴222。该结构便于调整旋转板220的转动范围。
[0044]进一步地,两个所述调整轴222呈相垂直设置。该结构可以先对掩膜版与蒙版的其中一对边进行贴合,然后转动90度,再对掩膜版与蒙版的另外一对边进行贴合,即分两次先后对掩膜版的长方向与宽方向进行压合作业。
[0045]进一步地,所述旋转板220的靠近所述支撑板255的一侧上设置有两个与所述碰块259碰撞配合以缓冲所述旋转板220的转动的缓冲件223。该结构让旋转板220运动稳定。
[0046]进一步地,所述压边组件200还包括设置在每一所述压杆252的相对两端上的第二连接件256、设置在每一所述第二连接件256上的第二滑座257及设置在所述旋转板220的靠近所述安装座210的一侧上的四个直线导轨258,所述第二滑座257 —一对应滑动设置在所述直线导轨258上。该结构让压杆252运动更平稳。
[0047]进一步地,所述第八驱动组件240包括安装在所述旋转板220上且能输出旋转运动的第八驱动件241、由所述第八驱动件241驱动转动的丝杆242及沿所述旋转板220的长度方向滑动且与所述丝杆242螺纹配合的滑块243。第八驱动件241为伺服马达。可以理解地,第八驱动组件240还可以采用其他输出直线运动的机构。
[0048]进一步地,请同时参阅图1,所述压边组件200沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架300上,所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件200沿Z轴方向移动的第九驱动组件260。具体地,两个第九驱动组件260共同驱动压边组件200沿Z轴方向移动。第九驱动组件260包括安装在固定支架300上且能输出旋转运动的第九驱动件261、由所述第九驱动件261驱动转动的丝杆262及在固定支架300上Z轴方向滑动且与丝杆262螺纹配合的滑块263。第九驱动件261为伺服电机。由于压边组件200沿Z轴方向滑动安装在固定支架300上,当压边组件200远离夹具组件100时,可在夹具组件100上安装蒙版与掩膜版。当压边组件200靠近夹具组件100时,可与夹具组件100配合进行蒙版与掩膜版贴合。该方案克服现有贴膜机采用旋转门结构在开启旋转门时占用较大空间的问题,让净化间空间能得到充分利用。
[0049]进一步地,请同时参阅图2、图3,所述第一动力组件400包括安装在所述固定支架300上且能输出直线运动的第一动力件410,所述第一动力件410具有一输出直线运动的输出端411,所述第一动力组件400还包括设置在所述第一动力件410的所述输出端411与所述平台110之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器420。具体地,固定支架300分为第一固定支架310与安装在第一固定支架310上的第二固定支架320。第一动力件410安装在第二固定支架320上。第一动力件410为油缸,氮气或压缩空气经电-气比例阀后,进入气液转换缸,液压油进入油缸驱动平台110沿Y轴方向前进或后退。油缸需要密封,并进行排气,避免液压油气污染环境。油缸的活塞杆与平台110之间加装有压力传感器420,将压力反馈以便准确调整来适应不同产品之需求。
[0050]进一步地,所述贴膜机还包括安装在所述框架131上且用于将所述夹具组件100推向所述压边组件200上的第二动力件500。第二动力件500为气缸,共四个分别分布在框架131四边上。第二动力件500用于提高动力,制作第8代的大尺寸蒙版夹具120较之前夹具尺寸偏大且重量增加。同时,设备对以往所有蒙版夹具120保持兼容。该贴膜机可满足第3.5代至第8代掩膜版贴付蒙版需求。
[0051]进一步地,所述贴膜机还包括用于使所述夹具组件100向远离所述第一动力组件400的一侧向下倾斜的外推组件600,所述外推组件600包括运动支架610,所述运动支架610具有第一侧610a及与所述第一侧610a相对的第二侧610b,所述运动支架610的所述第一侧610a绕X轴枢接在所述平台110上且所述第二侧610b沿Y轴方向滑动安装在所述固定支架300上,所述外推组件600还包括绕X轴枢接在所述运动支架610的所述第二侧610b上且能输出直线运动的第十驱动件620,所述第十驱动件620具有一输出直线运动的输出端621,所述第十驱动件620的所述输出端621绕X轴枢接在所述平台110上。外推组件600用于驱动平台110回转一角度以利于安装蒙版与掩膜版。运动支架610采用钢架结构,
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