运动支架610下部安装有线形导轨，沿Y轴方向前后移动，驱动由第一动力组件400完成，运动支架610与固定支架300间需安装监控摄像头对支架位置进行监测。第十驱动件620为气缸，第十驱动件620的数量为二，分布在第一动力组件400左右两侧。还有，固定支架300上设有缓冲件612与调整轴613，运动支架610上设有碰块611，缓冲件612与碰块611碰撞配合以缓冲运动支架610的移动，调整轴613与碰块611碰撞配合以限制运动支架610移动范围。
[0052]进一步地，所述第一动力组件400包括安装在所述固定支架300上且能输出直线运动的第一动力件410，所述第一动力件410具有一输出直线运动的输出端411，所述第一动力组件400还包括铰接在所述第一动力件410的所述输出端411与所述运动支架610之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器420。具体地，压力传感器420与第一动力件410的输出端411之间设置有一肘接件，该结构能适应外推组件600引起平台110的转动。
[0053]进一步地，贴膜机还包括排气组件。由于贴膜机要在10级的净化环境下工作，因此设备运动过程中产生的杂质需进行排放。关键部分安装有排气管，最后所有的排气管汇总统一排放。贴膜机用到大量的气缸，气缸的废气采用气管进行收集统一排放到净化房外部。
[0054]进一步地，贴膜机还包括除静电组件。由于贴膜机要在10级的净化环境下工作，因此静电的存在会引起设备或工件及环境净化度的恶化，同时掩膜版属于精密的光电产品，静电会造成产品的破坏。因此贴膜机需安装除静电装置，安装在贴膜机的顶部。
[0055]进一步地，贴膜机还包括控制柜700。整台设备的操作在触摸屏中进行，控制由PLC完成，如马达及气缸的运动。采用中英文操作界面。根据产品的不同(如尺寸变化)，能够设定不同的工作程序供选择。软件能够实现系统参数(运动系统参数等)及不同工作程序参数(压力、时间、掩膜版的定位位置等)的调整。选择好工作程序后，设备工作时每步工序系统自动提示，在操作人员的干预下完成一个工序后，系统自动提示下一个工序要完成的工作。
[0056]平台110采用ALH类铝合金材料，表面发黑处理。蒙版夹具120采用ALH铝合金材料，表面发黑处理。固定支架300采用GB3094-82冷拔无缝方管材料，表面发黑处理，由螺栓组装而成的一个整体结构，所有零部件均安装在相应部位。竖直臂132与水平臂133根据需要可采用ALH铝合金或模具钢材料，表面发黑处理。安装座210采用钢架结构与ALH铝合金材料制作而成。
[0057]以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种贴膜机，用于将蒙版贴付在掩膜版上，其特征在于:所述贴膜机包括固定支架及安装于所述固定支架上的夹具组件，所述夹具组件包括平台、安装在所述平台上且用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构，所述掩膜版定位机构包括框架、沿X轴方向滑动安装在所述框架上的两个竖直臂及沿Z轴方向滑动安装在所述框架上的两个水平臂，两个所述竖直臂相面对设置且两个所述水平臂相面对设置，两个所述竖直臂与两个所述水平臂共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向与所述Z轴方向相互垂直；所述贴膜机还包括安装在所述固定支架上且用于与所述掩膜版的背离所述蒙版的一侧相抵的压边组件及用于推顶所述平台以使所述夹具组件与所述压边组件相抵的第一动力组件，所述压边组件包括两个平行分布且可调间距的压杆，两个所述压杆分别相抵在所述掩膜版的相对两边上。
2.如权利要求1所述的贴膜机，其特征在于:所述蒙版夹具包括基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述蒙版夹具的所述基板上开设有定位孔，所述夹具组件还包括安装在所述平台上且能沿Y轴方向输出直线运动的第一驱动件及由所述第一驱动件驱动的定位销，所述定位销穿设在所述定位孔中，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。
3.如权利要求2所述的贴膜机，其特征在于:所述蒙版夹具包括基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述蒙版夹具的所述基板上开设有盲孔，所述盲孔中设置有夹紧法兰且该夹紧法兰上开设有型孔，所述夹具组件还包括绕Y轴输出旋转运动且具有一输出端的第二驱动件、由所述第二驱动件驱动转动的卡接件及用于驱动所述第二驱动件沿Y轴方向移动的第三驱动件，所述卡接件包括卡接头及垂直设置在该卡接头上的转动轴，所述卡接件的横截面形状与所述型孔的横截面形状相同，该卡接件的所述转动轴与所述第二驱动件的所述输出端相连接，该卡接件的所述卡接头穿过所述夹紧法兰的所述型孔并伸入所述基板的所述盲孔后绕Y轴转动以使所述蒙版夹具固紧在所述平台上。
4.如权利要求1所述的贴膜机，其特征在于:所述掩膜版定位机构包括安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述竖直臂沿X轴方向移动的第五驱动组件及安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述水平臂沿Y轴方向移动的第六驱动组件，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。
5.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于:所述压边组件包括安装座、绕Y轴转动安装在所述安装座上的旋转板及安装在所述安装座上且用于驱动所述旋转板绕Y轴转动的第七驱动组件，所述旋转板具有两个沿该旋转板的长度方向开设的直通槽，且该二个直通槽的长度方向重合，所述压边组件还包括设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且能沿所述旋转板的长度方向输出直线运动的两个第八驱动组件及两个由所述第八驱动组件一一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽中的第一连接件，所述压杆设置在每一所述第一连接件上。
6.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于:所述压边组件沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架上，所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件沿Z轴方向移动的第九驱动组件。
7.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于:所述第一动力组件包括安装在所述固定支架上且能输出直线运动的第一动力件，所述第一动力件具有一输出直线运动的输出端，所述第一动力组件还包括设置在所述第一动力件的所述输出端与所述平台之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器。
8.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于:所述贴膜机还包括安装在所述框架上且用于将所述夹具组件推向所述压边组件上的第二动力件。
9.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于:所述贴膜机还包括用于使所述夹具组件向远离所述第一动力组件的一侧向下倾斜的外推组件，所述外推组件包括运动支架，所述运动支架具有第一侧及与所述第一侧相对的第二侧，所述运动支架的所述第一侧绕X轴枢接在所述平台上且所述第二侧沿Y轴方向滑动安装在所述固定支架上，所述外推组件还包括绕X轴枢接在所述运动支架的所述第二侧上且能输出直线运动的第十驱动件，所述第十驱动件具有一输出直线运动的输出端，所述第十驱动件的所述输出端绕X轴枢接在所述平台上。
10.如权利要求9所述的贴膜机，其特征在于:所述第一动力组件包括安装在所述固定支架上且能输出直线运动的第一动力件，所述第一动力件具有一输出直线运动的输出端，所述第一动力组件还包括铰接在所述第一动力件的所述输出端与所述运动支架之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器。
【专利摘要】本发明属于贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜机，旨在解决现有贴膜机中掩膜版定位机构与掩膜版夹具难以适应不同尺寸规格的掩膜版的技术问题。将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置，第一动力组件将安装有蒙版与掩膜版的夹具组件推向压边组件保证相对两边上的压制效果，两个压杆间距可调，适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构与掩膜版夹具的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构与掩膜版夹具的成本。
【IPC分类】B32B37-10
【公开号】CN104553235
【申请号】CN201510014250
【发明人】张建国, 夏静远
【申请人】深圳清溢光电股份有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2015年1月12日