度1.4mm、槽部的宽度0.05mm(50 μπι)的方式进行线锯加工。另外，线锯加工后， 进行去应力热处理。其次，准备氧化钛粒子作为反射粒子。作为氧化钛粒子，准备平均粒径 为0. 2 μ m、粒度分布的峰为0. 22 μ m的粒子。另外，氧化钛粒子准备金红石型的粒子。
[0072] 其次，作为第二金属氧化物，准备氧化铝（Al2O3)粒子、氧化锆（ZrO 2)粒子、氧化钽 (Ta2O5)粒子、氧化娃（SiO2)粒子。另外，第二金属氧化物粒子均准备平均粒径0.3 μπι的粒 子。将氧化钛粒子和第二金属氧化物粒子混合。将混合粉通过超声波振动机，充分粉碎凝 集体。
[0073] 再次，准备表1所示的环氧树脂，添加混合粉并用三根辊混合机进行20~50小时 的混合工序。以得到的树脂混合物的粘度为0.5~2. 5Pa*s的范围内的方式进行调整。此 外，在树脂混合物中，在设环氧树脂为100质量份时，将反射粒子（氧化钛粒子和第二金属 氧化物粒子的合计）的质量统一为1. 5质量份。
[0074] 再其次，使用离心机，将树脂混合物充填于闪烁器模块素域的槽部。充填工序在真 空中（4kPa以下）、转速500~3000rpm的范围进行。另外，根据需要，进行加热工序，使环 氧树脂固化。之后，用金刚石磨粒研磨闪烁器模块素域的背面侧（未形成槽部的面侧），制 作实施例及比较例的闪烁器阵列。需要说明的是，第二金属氧化物的材质、添加量、环氧树 脂的材质如表1所示。
[0075] [表 1]
[0076] LlN 丄Λ 、" 丄ja
[0077] (实施例6~15)
[0078] 作为闪烁器模块素域，准备由硫氧化钆烧结体（Gd2O2S :Pra、a = 0. 01)构成的板 材（长40mmX宽20mmX厚度I. 5mm)。其次，以闪烁器模块各自的尺寸为长1.0 mmX宽 LOmmX厚度I. 4mm、槽部的宽度0.05mm(50 μ m)的方式进行线锯加工。另外，线锯加工后， 进行去应力热处理。其次，准备氧化钛粒子作为反射粒子。作为氧化钛粒子，准备平均粒径 0. 2 μm、粒度分布的峰为0. 22 μm的粒子。另外，氧化钛粒子设为金红石型的粒子。
[0079] 作为第二金属氧化物，准备氧化铝（Al2O3)、氧化锆（ZrO2)、氧化钽（Ta 2O5)、氧化硅 (SiO2)。其次，对氧化钛粒子实施表面处理工序，设置第二金属氧化物的表面被膜。此外， 表面处理工序通过氯法进行。另外，带表面被膜的氧化钛粒子中的氧化钛粒子和表面被膜 (第二金属氧化物）的质量比如表2所示。
[0080] 另外，以与表2所示的条件吻合的方式准备第二金属氧化物粒子，并添加带表面 被膜的氧化钛粒子和第二金属氧化物粒子。需要说明的是，作为第二金属氧化物粒子，准备 平均粒径0.3 μπι的粒子。另外，将带表面被膜的氧化钛粒子（添加了第二金属氧化物粒子 的情况下，为带表面被膜的氧化钛粒子和第二金属氧化物粒子的混合物）通过超声波振动 机充分粉碎凝集体。
[0081] 其次，准备表2所示的环氧树脂，添加混合粉并用三根辊混合机进行20~50小时 的混合工序。以得到的树脂混合物的粘度为0.5~2. 5Pa*s的范围内的方式进行调整。需 要说明的是，在设环氧树脂为100质量份时，反射粒子（带表面被膜的氧化钛粒子和第二金 属氧化物粒子的合计）的量统一成2质量份。
[0082] 接着，使用离心机将树脂混合物充填于闪烁器模块素域的槽部。充填工序在真空 中（4kPa以下）、转速500~3000rpm的范围内进行。另外，根据需要进行加热工序，使环氧 树脂固化。之后，用金刚石磨粒研磨闪烁器模块素域的背面侧（未形成槽部的面侧），制作 实施例及比较例的闪烁器阵列。需要说明的是，第二金属氧化物的材质、添加量、环氧树脂 的材质如表2所示。
[0083][表 2] CN 105190775 A 说明书 11/13 页
[0085] 对实施例1~15及比较例1~3涉及的闪烁器阵列测定反射层部的反射率、针 对X射线的耐久性及结合强度。作为反射层部的反射率，求波长510nm和波长670nm的光 反射率（％)。另外，作为针对X射线的耐久性的测定，求进行IOkGy(K)千赫）的X射线照 射的前后的光输出的降低率。具体而言，通过（X射线照射后的光输出/X射线照射前的光 输出）X 100(%)求出。另外，作为X射线照射条件的IOkGy在于X射线CT装置中使用10 年左右时相当于对闪烁器阵列照射的X射线照射量。使用胶接检验仪来进行结合强度的测 定，并通过以美国MIL STD-883为基准的模具切力试验（室温时）进行。表3表示测定结 果。
[0086] [表 3]
[0087] CN 105190775 A 況 明十ι 12/13 页
[0088] 如表3可知，实施例涉及的闪烁器阵列的反射率优异。因此，能够制成光输出优异 的闪烁器阵列。另外，可知对于X射线的耐久性也优异。还有，使用带表面被膜的氧化钛粒 子和第二金属氧化物粒子的双方的特性优异。
[0089] 如以上那样，实施方式涉及的闪烁器阵列的光输出优异，而且，对X射线的耐久性 优异。因此，能够制成长期可靠性优异的闪烁器阵列。所以，在使用实施方式的闪烁器阵列 的X射线检测器及X射线检查装置中，可知提高了长期可靠性。
[0090] (实施例16~19)
[0091] 以将实施例1的环氧树脂变为有机硅树脂的实施例作为实施例16,以将实施例2 的环氧树脂变为有机硅树脂的实施例作为实施例17,以将实施例1的环氧树脂变为聚酰亚 胺树脂的实施例作为实施例18,以将实施例2的环氧树脂变为聚酰亚胺树脂的实施例作为 实施例19。对于实施例16~19涉及的闪烁器阵列进行与实施例1同样的测定。表4表示 其结果。
[0092] [表 4]
[0094]自表4可知，即使在变更了树脂的情况下，也能够得到优异的效果。
[0095] 以上，示例了本发明的几个实施方式，但这些实施方式是作为例子提示的，不有意 限定发明的范围。这些新的实施方式以其它各种方式实施是可能的，在不脱离发明的宗旨 的范围内可以进行各种省略、置换、变更等。这些实施方式及其变形例包含于发明的范围及 宗旨，并且包含于与权利要求书中记载的发明和其等同的范围内。另外，上述的各实施方式 可以相互组合来实施。
【主权项】
1. 闪烁器阵列，其具备多个的闪烁器模块、和以将所述多个的闪烁器模块一体化的方 式设于所述多个的闪烁器模块之间的反射层部，其特征在于， 所述反射层部具有树脂部， 所述树脂部以合计100质量份的方式含有由氧化钛构成的70~84质量份的第一金属 氧化物、和由所述氧化钛以外的金属氧化物构成的16~30质量份的第二金属氧化物。2. 根据权利要求1所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述第二金属氧化物含有选自氧化铝、氧化锆、氧化钽、及氧化硅构成的组中的至少1 种以上。3. 根据权利要求1所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述树脂部含有所述氧化钛的粒子。4. 根据权利要求3所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述氧化钛的粒子的平均粒径为2ym以下。5. 根据权利要求1所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述树脂部含有具有所述第二金属氧化物的表面被膜的所述氧化钛的粒子。6. 根据权利要求1所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述树脂部含有具有所述第二金属氧化物的表面被膜的所述氧化钛的粒子、和所述第 二金属氧化物的粒子。7. 根据权利要求6所述的闪烁器阵列，其特征在于， 在将所述第二金属氧化物的表面被膜的量和第二金属氧化物的粒子的量之和设为100 质量份时，所述第二金属氧化物的表面被膜的质量份A相对于所述第二金属氧化物的粒子 的质量份B之比（A/B)为0. 10以上。8. 根据权利要求5所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述第二金属氧化物的表面被膜的厚度为所述氧化钛的粒子的直径的1/10以下。9. 根据权利要求1所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述树脂部含有环氧树脂或有机硅树脂。10. 根据权利要求1所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述树脂部含有二液型环氧树脂。11. 根据权利要求1所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述树脂部含有芳香族型环氧树脂或脂肪族型环氧树脂。12. 根据权利要求1所述的闪烁器阵列，其特征在于， 在将所述树脂部中所含的树脂的质量设为100质量份时，所述第一金属氧化物及所述 第二金属氧化物的合计含量为〇. 2~4质量份。13. 根据权利要求1所述的闪烁器阵列，其特征在于， 所述闪烁器模块具有硫氧化钆烧结体或铝石榴石烧结体。 14. X射线检测器，其特征在于，具备权利要求1所述的闪烁器阵列。 15. X射线检查装置，其特征在于，具备权利要求14所述的X射线检测器。
【专利摘要】本发明提供光输出高且对X射线的耐久性优异的闪烁器阵列。其具备多个的闪烁器模块、和以将多个的闪烁器模块一体化的方式设于多个的闪烁器模块之间的反射层部。反射层部具有树脂部。树脂部以合计100质量份的方式含有由氧化钛构成的70～84质量份的第一金属氧化物、和由氧化钛以外的金属氧化物构成的16～30质量份的第二金属氧化物。
【IPC分类】G01T1/20, G21K4/00
【公开号】CN105190775
【申请号】CN201480019536
【发明人】森本一光, 齐藤昭久, 足达祥卓, 丰岛正规, 小柳津英二, 六反田贵史
【申请人】株式会社东芝, 东芝高新材料公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2014年3月31日
【公告号】WO2014162717A1