专利名称：输送设备、清洁设备和液晶显示装置的制造方法
技术领域：
本发明涉及用在液晶显示装置等的制造过程中的输送设备和清洁 设备以及液晶显示装置的制造方法。
背景技术：
用在液晶显示装置等的制造过程中的公知的输送和清洁设备以及 利用上述输送和清洁设备的液晶显示装置的公知的制造方法都是已有 的。
日本专利Laid-open公开文本No. 2005 — 99595披露了一种用于清 洁暴露和排列在显示装置单元末端中的端子的清洁设备。该清洁设备包 括放置要供送到清洁过程的基底的供送台；执行第一清洁过程的第一 基底保持台；执行第二清洁过程的第二基底保持台；该基底在输送到后 续过程之前被暂时放置在上面的中间台；以及三个基底保持头，用于当 该基底在相邻台之间输送时保持该基底。
这四个台以相等的间隔排列。这三个基底保持头的相对位置以与 各个台之间的间隔相等的间隔而固定。这三个基底保持头在这四个台的 排列方向上移动且不改变间隔。
在该清洁设备中，基底单独放置于供送台、第一基底保持台和第 二基底保持台上。这种情况下，在第一基底保持台上执行第一清洁过程， 在第二基底保持台上执行与第一清洁过程不同的第二清洁过程。
接下来，放置于供送台、第一和第二基底保持台上的三个基底由
这三个基底保持头保持。这三个基底与相应的三个基底保持台一起移 动，然后分别放置于第一和第二基底保持台以及中间台上。
放置于中间台上的基底被输送至执行后续过程的制造设备，已经 经历在先过程的新的基底被输送至供送台。
然而，在上述专利文献的清洁设备中，由于所有基底在基底输送 过程中被同时输送，因此在该基底输送过程中不执行基底清洁过程。因 此，基底输送和清洁过程需要在不同的时间执行，从而引起增加操作时 间的问题。
发明内容
本发明意在解决上述问题，因此本发明的目的是提供一种输送设 备、清洁设备以及可缩短制造时间的液晶显示装置的制造方法。
根据本发明的第一方面的输送设备，包括台部和输送部。该台 部包括供送台，其上放置要供送的工件；第一工作台，在该第一工作 台该工件经历一个工作过程；第二工作台，在该第二工作台该工件经历 与第一工作台相同的工作过程；以及卸载台，其上放置要卸载的工件， 供送台、第一工作台、第二工作台和卸载台顺序排列。该输送部包括 供送臂，将该工件从供送台供送到第一或第二工作台；卸载臂，其位于 供送臂的卸载台一侧，并将该工件从第一或第二工作台卸载到卸载台； 第一驱动单元，在这四个台子的排列方向上移动供送臂和卸载臂；以及 第二驱动单元，其改变排列方向上的供送臂和卸载臂之间的距离。
根据本发明的第二方面的清洁设备，包括台部，输送部和清洁部。 该台部包括:供送台，其上放置要供送的工件；第一工作台，在该第一 工作台该工件经历一个清洁过程；第二工作台，在第二工作台该工件经 历与第一工作台相同的清洁过程；以及卸载台，其上放置要卸载的工件，
供送台、第一工作台、第二工作台和卸载台顺序排列。该输送部包括 供送臂，将该工件从供送台供送到第一或第二工作台；卸载臂，其位于 供送臂的卸载台一侧，并将该工件从第一或第二工作台卸载到卸载台； 第一驱动单元，在这四个台子的排列方向上移动供送臂和卸载臂；以及 第二驱动单元，其改变排列方向上的供送臂和卸载臂之间的距离。该清 洁部包括清洁该工件的清洁头；以及在该排列方向上移动该清洁头的
清洁部驱动机构。
根据本发明的第三方面的制造液晶显示装置的方法，包括密封 每对基底，其上形成端子并暴露该端子；通过清洁部驱动机构移动清洁 头，清洁放置于一对工作台之一上的基底上的端子；通过用于卸载的卸 载臂，输送已经清洁并放置于所述成对工作台之一上的基底，以及通过 用于供送的供送臂，将接下来要清洁的基底输送到所述成对工作台中的 另一个；以及将驱动器IC连接到所述端子，其中同时执行一部分清洁 和一部分输送。
根据本发明，能够在其中一个工作台执行工件的工作过程例如清 洁过程，同时将另一个工件输送至另一个工作台。因此，制造时间可以 縮短。
图1是根据一个实施例的清洁设备的平面图。 图2是该清洁设备在图1的箭头II的方向上的侧视图。 图3是示意性地说明该清洁设备的一过程的平面图。 图4是用于示意性地说明一过程的清洁头周围的侧视图。 图5是用于示意性地说明一过程的该清洁设备的平面图。 图6是用于示意性地说明一过程的该清洁头周围的侧视图。 图7是用于示意性地说明一过程的该清洁设备的平面图。 图8是用于示意性地说明一过程的该清洁设备的平面图。 图9是用于示意性地说明一过程的该清洁设备的平面图。 图IO是用于示意性地说明一过程的该清洁设备的平面图。 图11是用于示意性地说明一过程的该清洁设备的平面图。 图12是用于示意性地说明一过程的该清洁设备的平面图。 图13是用于示意性地说明一过程的该清洁设备的平面图。 图14是用于示意性地说明一过程的该清洁设备的平面图。
具体实施例方式
下面参照附图描述本发明的各个实施例。注意在整个附图中，相 同或相似的参考标号表示相同或相似的部件和元件，相同或相似的部件 和元件的描述将被省略或简化。
下面参照附图对本发明的实施例作出描述。
图1是根据本发明的实施例的清洁设备的平面图。图2是该清洁 设备在图1的箭头II的方向上的侧视图。在以下描述中，图1和图2 所示的坐标中的X、 Y、 Z定义为X、 Y、 Z方向。X方向对应于权利要求
中所述台的排列方向。
如图1和图2所示，清洁设备1包括台部2、输送部3和清洁部4。 台部2和输送部3对应于权利要求中所述的输送设备。
台部2包括供送台11、第一工作台12、第二工作台13以及卸载 台14。供送台11、第一工作台12、第二工作台13以及卸载(discharge) 台14在X方向上排列。
供送台11是经历在先过程并供送的工件101n (n=l， 2，……) 在被供送至第一工作台12或第二工作台13之前被暂时放置的台子。
第一工作台12和第二工作台13是工件IOU被放置并经历相同的 清洁过程的台子。第一工作台12和第二工作台13在X方向上以预定的 距离设置。第一工作台12和第二工作台13分别包括致动器16和17， 并被设置成在Y方向上独立地移动。致动器16和17中的每一个包括活 塞和气缸。这使得工作台12 (13)之一定位于清洁位置Y3，而另一个 工作台13 (12)定位于输送位置Y4，以便输送部3可以输送工件101n。
卸载台14是已经经历清洁过程的工件IOU在被卸载至后续过程 之前暂时放置的台子。
这里，如图1所示，供送台11的X坐标是供送位置X"第一工作 台12的X坐标是第一工作位置X 2;第二工作台13的X坐标是第二工 作位置X"卸载台14的X坐标是卸载位置X4。
因此，供送台11和第一工作台12之间的距离是X2—X,，第二工 作台13和卸载台14之间的距离是X4 — X3。台11至14被定位成使得 X2 —X,二X4 — X3。因此，X3—Xi = X4 —X2。下面，X2 —X！ (=X4 —X3) 称为D,， X3—X, (=X4 —X2)称为D2。
输送部3输送放置于台部2的四个台子11至14上的工件101n。 输送部3包括第一驱动单元21、第二驱动单元22、供送臂23以 及卸载臂24。
第一驱动单元21包括设置成在X方向上延伸的滚珠丝杠26;位 于滚珠丝杠26端部处的驱动电机27;以及一对导轨28a和28b。滚珠 丝杠26和驱动电机27固定于工作台(未示出)。在第一驱动单元21中， 数字控制所述驱动电机27以转动滚珠丝杠26。第一驱动单元21由此 使得第二驱动单元22、供送臂23和卸载臂24由导轨28a和28b引导， 并在X方向上移动。
第二驱动单元22包括活塞29、气缸30以及导向元件31。在第二 驱动单元22中，空气被提供给气缸或从气缸排出，从而延伸或回退活 塞29。第二驱动单元22改变卸载臂24相对于供送臂23的相对位置， 同时通过导向元件31引导卸载臂24。因此，第二驱动单元22在X方 向上改变供送臂23和卸载臂24之间的距离。卸载臂24相对于供送臂 23的位置由位置传感器(未示出)检测。
这里，构造成当第二驱动单元22的气缸30的活塞29以最大延 伸量充分延伸时，供送臂23和卸载臂24之间的距离是D2。构造成当 第二驱动单元22的气缸30的活塞29以最大回退量充分回退时，供送 臂23和卸载臂24之间的距离是D1Q因此第二驱动单元22在活塞29的 最大延伸量与最大回退量处的长度之差是D2—D,。
供送臂23用于将放置于供送台11上的工件IOL供送至第一工作 台12或第二工作台13。卸载臂24用于将放置于第一工作台12和第二 工作台13上的工件101 卸载至卸载台14。
供送臂23和卸载臂24包括吸取机构(未示出)，用于将工件101n 吸至底部表面上。如图2所示，供送臂23和卸载臂24中的每一个包括 可在Z方向上回退的致动器32。供送臂23和卸载臂24可在Z方向上 在输送位置Z,和放置位置Z2之间被致动器32移动，其中在输送位置Z,. 供送臂23和卸载臂24定位以输送工件101n，在放置位置Z2,供送臂23 和卸载臂24定位以将工件101 放置于工作台12或13上(或者从而吸 取放置于工作台12和13上的工件101n)。
清洁部4包括清洁头41、清洁布供送单元42、清洁单元驱动机构 43以及固定棒47。
清洁头41将清洁布102放置在工件IOL的一个电极的端子101a 上，以清洁工件101。的端子101a。清洁头41包括一对清洁爪44a和44b。 这对清洁爪44a和44b构造成在Z方向上相互移近或移远，相互移近以 允许清洁布102覆盖端子101a。清洁爪44a具有清洁供送管(未示出)， 清洁液通过该管被压送至覆盖工件IOL的端子101a的清洁布102。清 洁头41构造成被驱动机构(未示出)在Y方向上移动。该驱动机构使 清洁头41在与工件IOL分离的准备位置Yi和将工件IOL定位于清洁爪 44a和44b之间的清洁位置Y2之间移动。
清洁布供送单元42包括供送辊45和旋转支撑的取回辊46。清洁 布供送单元42将清洁布102从缠绕着清洁布102的供送辊45供送至清 洁头41，并在清洁布102经过清洁头41之后取回清洁布102。
清洁部驱动机构43包括驱动电机48、滚珠丝杠49和一对导轨50a 和50b。如图2所示，清洁部驱动机构中，数字控制所述驱动电机48 以转动滚珠丝杠49。由此清洁部驱动机构43分别沿着导轨50a和50b 将清洁头41和清洁布供送单元42从第一清洁起始位置Xs移至第二清洁 终止位置X8。这里，第一清洁起始位置Xs是第一工作台12上的工件101n 的清洁过程起始的位置。第二清洁终止位置X8是第二工作台13上的工 件101n的清洁过程终止的位置。在第一清洁起始位置Xs和第二清洁终 止位置Xs之间，存在有第一清洁终止位置Xe和第二清洁起始位置X7， 其中第一清洁终止位置X6是第一工作台12上的工件10L的清洁过程终 止的位置，第二清洁起始位置X7是第二工作台13上的工件IOL的清洁 过程起始的位置。
固定棒47防止清洁布102挤压面向+Y方向的工件IOL的端面。 这可以防止清洁布102在一Y方向上移位工件101n。固定棒47被固定， 这样即使当清洁头41在Y方向上移动时，固定棒47也不会移动。这里， 当清洁头41定位在准备位置YJ寸，固定棒47被固定于其处的Y方向上 的位置超过一Y方向上的清洁爪44a和44b的尖端。另一方面，固定棒 47被固定于其处的Y方向上的位置超过+ Y方向上的清洁爪44a和44b
的尖端。固定棒47被固定，从而在Z方向上的同一位置的平面中沿着 一Y方向位置超过了清洁布102。固定棒47固定的Z方向上的位置基本 位于清洁爪44a和44b的中间，固定棒27固定在与Z方向上的工件101n 基本相同的位置。
接下来，参照图3至图14，对液晶显示装置的制造过程给予描述， 着重于输送过程和清洁过程。图3、 5、和7至14是清洁设备的平面图， 用于示意性地说明该过程。图4和图6是清洁头及其周围的侧视图，用 于示意性地说明此过程。参考标号27a表示将电源和信号传送到驱动电 机27的电线。
首先，在显示单元的组装过程中，电极形成在对应于显示单元内 表面的两个玻璃基底的表面中，然后两个玻璃基底相互连接并由注入其 间的液晶密封，以便电极端子暴露出来，从而组装显示单元(以下称作 工件)。
接下来，执行清洁过程和在清洁过程中输送工件的输送过程。下 面详细描述清洁和输送过程。
首先，如图3和图4所示，下列描述从工件IOI,、 1012、 1013分 别放置于台子ll、 12、 13上的状态开始。放置于第一工作台12上的工 件1012的端子101a已经被清洁。另一方面，放置于第二工作台13上 的工件1013的端子101a还没有被清洁。供送臂23定位于供送位置X,。 卸载臂24通过处于最大延伸量的活塞29被设置成最靠近供送臂23， 并且定位于第一工作位置X 2。工作台12和13在Y方向上定位于输送 位置Y 4。清洁头41通过清洁部驱动机构43定位于X方向上的第二清 洁起始位置X7，并且定位于Y方向上的准备位置Y,。在沿着Z方向与 工件1013的位置相对应的区域中，清洁布102沿着Y方向位于清洁爪 44a和44b的尖端与固定棒47之间。
接下来，如图5和图_6所示，位于第二清洁起始位置X7的清洁头 41被驱动机构从准备位置Y,移至清洁位置Y2，同时清洁爪44a和44b 闭合。第二工作台13从输送位置Y,移至清洁位置Y3。如图6所示，第 二工作台13上的工件1013的端子101a由此插在闭合的清洁爪44a和 44b之间。因此清洁布102在一Y方向上被清洁爪44a和44b挤压。清 洁布102在+ Y方向上被工件1013挤压，以便覆盖工件1013的端子101a。 此外，为了防止工件1013被清洁布102在一端挤压并在一Y方向上被移 位，在Z方向上的位置与工件1013相同的一部分清洁布102被固定棒 47挤压。然后位于供送位置X,的供送臂23吸取供送台11上的工件101,。 卸载臂24定位于与第一工作台12对应的第一工作位置X2，并吸取第一 工作台12上的工件1012。在吸取工件IOI,和1012的过程中，在吸取之 前和吸取之后，臂23和24在Z方向上的输送位置Z^卩放置位置L之 间往复运动。在以下描述中，有关臂23和24在Z方向上的运动的描述 被省略。
接下来，如图7所示，供送臂23和卸载臂24被第一驱动单元21 移动，同时卸载臂24通过第二驱动单元22的活塞29的回退从而离开 供送臂23。第一输送过程由此开始，其中工件IOL从供送台11输送到 第一工作台12，而工件1012从第一工作台12输送到卸载台14。当供送 臂23和卸载臂24处于上述第一输送过程的操作时，清洁头41执行清 洁所述工件1013的端子101a的第二清洁过程，并通过清洁部驱动机构 43从第二清洁起始位置X7移至第二清洁终止位置X8。
接下来，如图8所示，当供送臂23和卸载臂24被第一驱动单元 21移动且供送臂23到达第一工作台12时，供送臂23将工件1013释放， 以将其放置到第一工作台12上。第二驱动单元22的活塞29达到最大 回退量，且供送臂23和卸载臂24之间的距离变成最长距离D2。卸载臂 24到达卸载台14被定位于其处的卸载位置X4并且释放工件1012，从而 将工件1012放置于卸载台14上。第一输送过程由此完成。在第一输送 过程期间，清洁头41被清洁部驱动机构43移至第二清洁终止位置X8， 并结束第二清洁过程。
接下来，如图9所示，第二工作台13被移至输送位置Y4，清洁头 41被移至准备位置Yt。如上所述，工作台12、 13和清洁头41相互移 近或移远，从而清洁工件101n，但是有关Y方向上的移动的描述在下面 省略。
接下来，如图10所示，不保持任何工件的供送臂23和卸载臂24 被第一驱动单元21移动。供送臂23由此向供送台11被定位于其处的
供送位置X,移动。卸载臂24向卸载台13被定位于其处的第二工作位置 L移动。在供送臂23和卸载臂24的移动过程中，第二驱动单元22的 活塞29不延伸或回退，而且供送臂23和卸载臂24之间的距离D2保持 恒定。清洁头41被清洁部驱动机构43从第二清洁终止位置X8向第一清 洁起始位置X5沿着端子101a移动。在这个过程中，已经经历在先过程 的下一个工件1014供送至供送台11。
接下来，如图11所示，当通过第一驱动单元21到达供送位置X, 时，供送臂23吸取并保持着放置于供送台11上的工件1014。当通过第 一驱动单元21到达第二工作位置X3之后，卸载臂24吸取并保持着放置 于第二工作台13上的工件1013。清洁头41通过清洁部驱动机构43达 到第一清洁起始位置X5。
接下来，如图12所示，供送臂23和卸载臂24被第一驱动单元21 移动，同时卸载臂24被第二驱动单元22的活塞29的延伸而移动，以 便靠近供送臂23。第二输送过程开始，其间工件1014从供送台11输送 至第二工作台13，同时工件1013从第二工作台13输送至卸载台14。当 供送臂23和卸载臂24执行上述第二输送过程时，清洁头41开始清洁 放置于第一工作台12上的工件101,的端子101a的第一清洁过程，并被 清洁部驱动机构43从第一清洁起始位置X5向第一清洁终止位置Xe沿着 端子101a移动。
接下来，如图13所示，供送臂23和卸载臂24被第一驱动单元21 移动。当到达第二工作台13时，供送臂23释放所吸取并保持的工件 1014，以将其放置于第二工作台13上。第二驱动单元22的活塞29达 到最大延伸量，使供送臂23和卸载臂24相互最为靠近至距离D,。因此， 当到达卸载台15被定位于其处的卸载位置X4时，卸载臂24释放所吸取 的工件1013以将其放置于卸载台14上。第一输送过程由此完成。在第 一输送过程中，清洁头41被清洁部驱动机构43移至第一清洁终止位置
Xe并完成第一清洁过程。
接下来，如图14所示，供送臂23和卸载臂24被第一驱动单元21 移动。供送臂23由此向供送台11被定位于其处的供送位置X,移动。卸 载臂24向第一工作台12被定位于其处的第一工作位置X2移动。在供送
臂23和卸载臂24的移动过程中，第二驱动单元22的活塞29不延伸或 回退，而且供送臂23和卸载臂24之间的距离D,保持恒定。清洁头41 被清洁部驱动机构43从第一清洁终止位置X6向第二清洁起始位置L移 动。在这个过程中，已经经历在先过程的下一个工件1015供送至供送台 11。
重复基于图3至图14描述的清洁和输送过程。
接下来，已经经历清洁过程的工件(显示单元)101 被设置以电连 接于驱动器IC (未示出)的端子101a，从而制造液晶显示装置。
如上所述，根据本发明实施例的清洁设备1包括两个工作台12和 13。这使得可以清洁放置于工作台12 (13)之一上的工件101n、同时 输送放置于另一个工作台13 (12)上的工件101n。因此输送和清洁过 程可同时执行，而且制造时间可以縮短。
此外，在输送部3中，驱动电机27被固定。因此能够避免电线的 损坏，例如用于向驱动电机27提供电源的电源线27a。尽管特别移动 驱动电机连同粗线例如电源线给驱动电机增加了负担，但是输送部3也 可解决这种负担。
此外，供送臂23和卸载臂24之间的距离由包括气缸30和活塞29 的第二驱动单元22控制。因此第二驱动单元22可包括用于向气缸30 提供空气的细管和用于检测活塞29的回退的位置传感器的细线。因此， 与包括需要电源线等等的驱动电机的情况相比，第二驱动单元22可被 简化且更加便宜。
以上通过实施例详细描述了本发明，但是本发明不限于本说明书 所述的实施例。本发明的范围由权利要求和与权利要求的范围等价的范 围确定。以下描述给出了上述实施例的某些部件作了改变的修改。
例如，在上述实施例中，本发明的输送设备应用于用于清洁过程 的台部和输送部。然而，上述输送设备(台部和输送部)可用于另一个 过程，例如将驱动器IC附着于工件端子的过程。
权利要求
1.一种输送设备，包括台部，所述台部包括供送台，其上放置要供送的工件；第一工作台，在该第一工作台上，工件经历一工作过程；第二工作台，在第二工作台上，工件经历与第一工作台相同的工作过程；以及卸载台，其上放置要卸载的工件，供送台、第一工作台、第二工作台和卸载台顺序排列；和输送部，输送部包括供送臂，将工件从供送台供送到第一或第二工作台；卸载臂，其位于供送臂的卸载台一侧上，并将工件从第一或第二工作台卸载到卸载台；第一驱动单元，在这四个台的排列方向上移动供送臂和卸载臂；以及第二驱动单元，其改变排列方向上的供送臂和卸载臂之间的距离。
2、 根据权利要求1的输送设备，其特征在于，第二驱动单元包括 活塞和延伸并回退所述活塞的缸，供送台和第一工作台之间的距离以及第二工作台和卸载台之间的 距离是D,，供送台和第二工作台之间的距离以及第一工作台和卸载台之间的 距离是02，以及第二驱动单元在活塞的最大延伸量和最大回退量处的长度之间的 距离是D2—D^
3、 根据权利要求1的输送设备，其特征在于，第一驱动单元在所 述排列方向上移动第二驱动单元。
4、 根据权利要求1的输送设备，其特征在于，第一驱动单元包括 在所述排列方向上延伸的滚珠丝杠；以及固定以转动滚珠丝杠的驱动电 机。
5、 根据权利要求2的输送设备，其特征在于，第一驱动单元在所 述排列方向上移动第二驱动单元。
6、 根据权利要求5的输送设备，其特征在于，第一驱动单元包括:在所述排列方向上延伸的滚珠丝杠；以及固定以转动滚珠丝杠的驱动电 机。
7、 一种清洁设备，包括台部，所述台部包括供送台，其上放置要供送的工件；第一工 作台，在第一工作台上工件经历清洁过程；第二工作台，在第二工作台 上工件经历与第一工作台相同的清洁过程；以及卸载台，其上放置要卸 载的工件，供送台、第一工作台、第二工作台和卸载台顺序排列；输送部，输送部包括供送臂，将工件从供送台供送到第一或第 二工作台；卸载臂，其位于供送臂的卸载台一侧上，并将工件从第一或 第二工作台卸载到卸载台；第一驱动单元，在这四个台的排列方向上移 动供送臂和卸载臂；以及第二驱动单元，其改变排列方向上的供送臂和 卸载臂之间的距离；和清洁部，所述清洁部包括清洁工件的清洁头；以及在排列方向 上移动清洁头的清洁部驱动机构。
8、 根据权利要求7的清洁设备，其特征在于，清洁部驱动机构从 工件一端到另一端执行清洁运动以清洁工件，并执行第一工作台和第二 工作台之间的台间运动。
9、 根据权利要求8的清洁设备，其特征在于，清洁运动和台间运 动沿着所述排列方向。
10、 根据权利要求9的清洁设备，其特征在于，清洁部驱动机构 包括执行清洁运动和台间运动的驱动电机。
11、 根据权利要求7的清洁设备，其特征在于，第二驱动单元包 括活塞和延伸并回退所述活塞的缸，供送台和第一工作台之间的距离以及第二工作台和卸载台之间的 距离是D,，供送台和第二工作台之间的距离以及第一工作台和卸载台之间的 距离是02，以及 第二驱动单元在活塞的最大延伸量和最大回退量处的长度之间的距离是D2—D,。
12、 根据权利要求7的清洁设备，其特征在于，第一驱动单元在 所述排列方向上移动第二驱动单元。
13、 根据权利要求7的清洁设备，其特征在于，第一驱动单元包 括在该排列方向上延伸的滚珠丝杠；以及固定以转动滚珠丝杠的驱动 电机。
14、 根据权利要求11的清洁设备，其特征在于，第一驱动单元在 该排列方向上移动第二驱动单元。
15、 根据权利要求14的清洁设备，其特征在于，第一驱动单元包 括在该排列方向上延伸的滚珠丝杠；以及固定以转动滚珠丝杠的驱动 电机。
16、 一种制造液晶显示装置的方法，包括密封每对基底，其中端子形成在其上，并暴露所述端子；通过清洁部驱动机构移动清洁头，清洁放置于一对工作台之一上 的基底上的端子；通过用于卸载的卸载臂，输送已经清洁并放置于所述成对工作台 之一上的基底，以及通过用于供送的供送臂，将接下来要清洁的基底输 送到所述成对工作台中的另一个；以及将驱动器IC连接到所述端子，其中同时执行一部分清洁和一部分输送。
全文摘要
本发明涉及一种输送设备、一种清洁设备和一种制造液晶显示装置的方法，其中输送设备包括台部，该台部具有供送台，其上放置要供送的工件；第一工作台，在该第一工作台上该工件经历一个工作过程；第二工作台，在该第二工作台上该工件经历与第一工作台相同的工作过程；以及卸载台，其上放置要卸载的工件；输送部，该输送部具有供送臂，将该工件从供送台供送到工作台；卸载臂，其位于供送臂的卸载台一侧，并将该工件从工作台卸载到卸载台；第一驱动单元，在这四个台子的排列方向上移动这两个臂；以及第二驱动单元，其改变排列方向上的两个臂之间的距离。
文档编号B08B13/00GK101367472SQ20081014280
公开日2009年2月18日 申请日期2008年5月23日 优先权日2007年5月23日
发明者中川惠美子, 武者整 申请人:株式会社东芝