硅片的脱胶预清洗工艺的制作方法

文档序号:1494792阅读:316来源:国知局
专利名称:硅片的脱胶预清洗工艺的制作方法
技术领域
本发明涉及到用于太阳能发电的硅片,尤其涉及到硅片的脱胶预清洗工艺。
背景技术
众所周知,利用太阳能进行发电是当今世界开发清洁能源的方向,硅片是吸收、传 递太阳能的核心材料。 硅片由硅棒切割而成,参见图1、图2所示,其切割过程为将硅棒3用AB胶粘在 磨砂玻璃2上,磨砂玻璃2和线切割模板1同样用AB胶粘接,然后,用专用切割设备将硅棒 切割成O. 18毫米左右的硅片。切割而成的硅片需要进行脱胶预清洗和后续清洗,最后对硅 片表面制绒。脱胶是否彻底直接影响到后续清洗与制绒质量。目前,业内普遍采用的预清 洗脱胶工艺,其步骤为先热水喷淋,然后,用热水或有机酸去脱除AB胶胶粘剂。这种脱胶 方法的缺点是由于热水喷淋具有一定的压力,容易使硅片产生碎片,影响到硅片质量;而 且,喷淋之后干燥得很快,影响到后续清洗,不易将硅片表面杂质清洗掉;此外,喷淋水和有 机酸需要排放,而排放必须达标,这样就增加了治污成本。

发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种可防止硅片破裂、使得硅片表面不易干 燥、并能降低加工成本的硅片的脱胶预清洗工艺。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为硅片的脱胶预清洗工艺,其步骤 为将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中,加热至70 90°C,并配以每升硅棒切割液约 5 8瓦功率密度的超声波,经过3 5分钟清洗,脱去硅片上的AB胶。
所述硅棒切割液的主要成份为聚乙二醇和二乙二醇。 本发明的有益效果是采用硅棒切割液配以一定功率密度的超声波使硅片脱胶, 既可确保不会产生碎片,保证了硅片的表面质量,又彻底脱除硅片上的AB胶;并且,硅片表 面不易干燥,从而不会影响到后续的清洗和制绒。除此之外,硅棒切割液可以回收,使得本 发明所述的脱胶工艺,不但环保,而且还大大降低了处理成本。


图1是背景技术中硅棒胶接结构示意图。
图2是图1的侧视结构示意图。 图1至图2中1、线切割模板,2、磨砂玻璃,3、硅棒。
具体实施方式

实施例一 将硅棒切割成的硅片之后,硅片上粘有用于胶接的AB胶,将粘有AB胶的硅片放在 硅棒切割液中,加热至7(TC,配以每升硅棒切割液8瓦功率密度的超声波,经过5分种的清洗,胶去硅片上的AB胶。
实施例二 将硅棒切割成硅片之后,硅片上粘有用于胶接的AB胶,将粘有AB胶的硅片放在硅 棒切割液中,加热至8(TC,配以每升硅棒切割液6. 5瓦功率密度的超声波,经过4分种的清 洗,胶去硅片上的AB胶。
实施例三 将硅棒切割成硅片之后,硅片上粘有用于胶接的AB胶,将粘有AB胶的硅片放在硅 棒切割液中,加热至90°C ,配以每升硅棒切割液5瓦功率密度的超声波,经过3分种的清洗, 胶去硅片上的AB胶。
权利要求
硅片的脱胶预清洗工艺,其步骤为将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中,加热至70~90℃,并配以每升硅棒切割液5~8瓦功率密度的超声波,经过3~5分钟清洗,脱去硅片上的AB胶。
2. 根据权利要求1所述的硅片的脱胶预清洗工艺,其特征在于所述硅棒切割液的主 要成份为聚乙二醇和二乙二醇。
全文摘要
本发明公开了一种可防止硅片破裂、使得硅片表面不易干燥,极大程度地减少污水的排放,并能降低加工成本的硅片脱胶预清洗工艺。其步骤为将粘有AB胶的硅片放在硅棒切割液中,加热至70~90℃,并配以每升硅棒切割液5~8瓦功率密度的超声波,经过3~5分钟时间清洗,脱去硅片上的AB胶。本发明采用硅棒切割液配以一定功率密度的超声波使硅片脱胶,这样既可确保不会产生碎片,保证了硅片的表面质量,又彻底脱除硅片上的AB胶,并且硅片表面不易干燥,从而有利于后续的清洗和制绒。此外,硅棒切割液可以回收,使得本发明所述的脱胶工艺,不但环保,而且还大大降低了处理成本。
文档编号B08B3/12GK101693240SQ200910184978
公开日2010年4月14日 申请日期2009年10月26日 优先权日2009年10月26日
发明者陈宏 申请人:张家港市超声电气有限公司;
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1