一种硅片清洗装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本申请属于太阳能电池技术领域，特别是涉及一种硅片清洗装置。
【背景技术】
[0002]现有技术中，硅片的清洗通常需要先将硅片放置于清洗花篮，然后再将多个清洗花篮装载于清洗筐中，最后将整个清洗筐进行单槽清洗。然而，传统的清洗方法中，每个清洗筐中仅仅可以放置8个清洗花篮，每个清洗花篮的长边与清洗筐的长边方向垂直。这种清洗方法，每一筐只能同时对200片娃片进行清洗，效率低。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗装置，以克服现有技术中的不足。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:
[0005]本申请实施例公开一种硅片清洗装置，包括清洗筐、以及阵列放置于所述清洗筐内的9个清洗花篮，所述清洗花篮的长边与所述清洗筐的长边平行，所述清洗花篮的短边与所述清洗筐的短边平行。
[0006]优选的，在上述的硅片清洗装置中，所述清洗框包括矩形的底部边框、相对设置的第一侧边框、以及相对设置的第二侧边框，所述第一侧边框固定于所述底部边框的边缘且位于竖直方向，所述第二侧边框连接于所述第一侧边框之间，所述相对设置的第二侧边框之间的间距大于所述底部边框短边的长度。
[0007]优选的，在上述的硅片清洗装置中，所述清洗花篮的材质为PFA聚偏氟乙烯。
[0008]优选的，在上述的硅片清洗装置中，所述每个清洗花篮中装载有25片硅片。
[0009]与现有技术相比，本实用新型的优点在于:
[0010](I)、改善前单槽清洗批量由8盒/筐200片转变改善后单槽清洗批量9盒/筐225片，单项改善产量提升12.5%。
[0011](2)、改善了清洗花篮工装的用量从而节省物料的成本。
[0012](3)、保证了单框清洗运行的稳定性。
【附图说明】
[0013]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1所示为本实用新型具体实施例中硅片清洗装置的结构示意图；
[0015]图2所示为本实用新型具体实施例中硅片清洗装置的侧视图。
【具体实施方式】
[0016]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0017]参图1所示，硅片清洗装置，包括清洗筐1、以及阵列放置于清洗筐内的9个清洗花篮2，清洗花篮2的长边与清洗筐I的长边平行，清洗花篮2的短边与清洗筐I的短边平行。
[0018]在该技术方案中，将现有的8篮改9篮超洗，提高了晶片产能的状态下，污染物洗法同改善前一样的清洗效果，此种改善大幅度提高了产量从而推之大大降低成本，这样的改善便于推广。
[0019]参图2所示，清洗框I包括矩形的底部边框11、相对设置的第一侧边框12、以及相对设置的第二侧边框13，第一侧边框12固定于底部边框11的边缘且位于竖直方向，第二侧边框13连接于所述第一侧边框12之间，相对设置的第二侧边框13之间的间距大于所述底部边框11短边的长度。
[0020]进一步地，第二侧边框连接于第一侧边框的侧边上方位置。
[0021]在该技术方案中，本案将传统的清洗框的在顶部位置加宽，因此增大了清洗框的容积。
[0022]进一步地，清洗花篮2的材质为PFA聚偏氟乙稀。
[0023]在该技术方案中，本花篮即在100度以下NaoH溶液.Hci溶液.HF等溶液中对硅片进行清洗.转换不变形，不污染硅片。
[0024]进一步地，每个清洗花篮2中装载有25片硅片。
[0025]综上所述，本实用新型的优点在于:
[0026](I)、改善前单槽清洗批量由8盒/筐200片转变改善后单槽清洗批量9盒/筐225片，单项改善产量提升12.5%。
[0027](2)、改善了清洗花篮工装的用量从而节省物料的成本。
[0028](3)、保证了单框清洗运行的稳定性。
[0029]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0030]以上所述仅是本申请的【具体实施方式】，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
【主权项】
1.一种硅片清洗装置，其特征在于，包括清洗筐、以及阵列放置于所述清洗筐内的9个清洗花篮，所述清洗花篮的长边与所述清洗筐的长边平行，所述清洗花篮的短边与所述清洗筐的短边平行。2.根据权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于:所述清洗框包括矩形的底部边框、相对设置的第一侧边框、以及相对设置的第二侧边框，所述第一侧边框固定于所述底部边框的边缘且位于竖直方向，所述第二侧边框连接于所述第一侧边框之间，所述相对设置的第二侧边框之间的间距大于所述底部边框短边的长度。3.根据权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于:所述清洗花篮的材质为PFA聚偏氟乙稀。4.根据权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于:所述每个清洗花篮中装载有25片娃片。
【专利摘要】本申请公开了一种硅片清洗装置，包括清洗筐、以及阵列放置于所述清洗筐内的9个清洗花篮，所述清洗花篮的长边与所述清洗筐的长边平行，所述清洗花篮的短边与所述清洗筐的短边平行。本实用新型的优点在于：(1)、改善前单槽清洗批量由8盒/筐200片转变改善后单槽清洗批量9盒/筐225片，单项改善产量提升12.5％。(2)、改善了清洗花篮工装的用量从而节省物料的成本。(3)、保证了单框清洗运行的稳定性。
【IPC分类】H01L21/67, H01L31/18
【公开号】CN204834576
【申请号】CN201520571251
【发明人】陶建阳
【申请人】江苏奥能光电科技有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年7月31日