太阳能硅片承载装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种太阳能电池生产设备，具体为一种太阳能硅片承载装置。
【背景技术】
[0002]太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测，表面制绒及酸洗，扩散制结，去磷硅玻璃，等离子刻蚀及酸洗，镀减反射膜，丝网印刷，快速烧结等环节。
[0003]其中扩散制结环节的具体步骤是，太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850—900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了 N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。
[0004]生产过程中，需要将硅片放入高温炉中加工，在高温加工中需要一个耐高温的承载装置，该装置不但耐高温，还得耐腐蚀，而且能保护硅片，提高硅片成品率。传统的承载装置存在设计缺陷，容易使硅片表面制结不均匀。
【发明内容】
[0005]本实用新型为了解决硅片加工中存在的制结不均匀的问题，提供了一种太阳能硅片承载装置。
[0006]本实用新型的技术方案是，一种太阳能硅片承载装置，包括底架板，在底架板上设有硅片架，硅片架包括两侧的支架，在两侧的之间设有两个上水平架，两个下水平架，所述的两个上水平架内侧设有卡槽，两个下水平架上侧设有卡槽，在两侧的支架上设有穿管，穿管的前端为斜面状，在穿管内穿设有运输杆，在支架的外侧的底架板上设有匀流板，匀流板上设有匀流孔。
[0007]使用时，硅片安插在上水平架和下水平架之间的形成的空间内，并被送到烧结炉中，烧结过程中，匀流板可以将气流均匀送至硅片的四周，保证制结均匀。所述的硅片架绝对不能直接接触手部，因此需要用输送杆插入穿管中，端起来进行运输，斜面装的管口，可以使运输杆快速准确插入，提高劳动效率。
[0008]总之，本实用新型所述的太阳能硅片承载装置的优势在于，使用匀流板，可以使气体在炉管内分布均匀，使硅片表面结深更加均匀，对后续工艺的稳定性有突出的优势。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图
[0010]图2为硅片架的俯视图
[0011]图3为硅片架的侧视图
[0012]图4为匀流板的侧视图
[0013]图中:1_下水平架、2-底架板、3-支架、4-匀流板、5-穿管、6-上水平架、7-运输杆。
【具体实施方式】
[0014]如图1所示意，一种太阳能硅片承载装置，包括底架板2，在底架板2上设有硅片架，硅片架包括两侧的支架3，在两侧的支架3之间设有两个上水平架6，两个下水平架I，如图2所示意，所述的两个上水平架6内侧设有卡槽，两个下水平架I上侧设有卡槽，在两侧的支架3上设有穿管5，如图3所示意，穿管5的前端为斜面状，在穿管5内穿设有运输杆7，在支架3的外侧的底架板2设有匀流板4，如图4所示意，匀流板4上设有匀流孔。
【主权项】
1.一种太阳能硅片承载装置，其特征在于:包括底架板(2)，在底架板(2)上设有硅片架，硅片架包括两侧的支架(3)，在两侧的支架(3)之间设有两个上水平架(6)，两个下水平架(I )，所述的两个上水平架(6)内侧设有卡槽，两个下水平架(I)上侧设有卡槽，在两侧的支架(3)上设有穿管(5)，穿管(5)的前端为斜面状，在穿管(5)内穿设有运输杆(7)，在支架(3)的外侧的底架板(2)设有匀流板(4)，匀流板(4)上设有匀流孔。
【专利摘要】本实用新型涉及一种太阳能电池生产设备，具体为一种太阳能硅片承载装置。解决硅片加工中存在的制结不均匀的问题，包括底架板，在底架板上设有硅片架，硅片架包括两侧的支架，在两侧的之间设有两个上水平架，两个下水平架，所述的两个上水平架内侧设有卡槽，两个下水平架上侧设有卡槽，在两侧的支架上设有穿管，穿管的前端为斜面状，在穿管内穿设有运输杆，在支架的外侧的底架板上设有匀流板，匀流板上设有匀流孔。使用匀流板，可以使气体在炉管内分布均匀，使硅片表面结深更加均匀，对后续工艺的稳定性有突出的优势。
【IPC分类】H01L21-673, H01L31-18
【公开号】CN204407309
【申请号】CN201520159073
【发明人】焦惠峰
【申请人】山西晨洋光伏科技有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2015年3月20日