专利名称：一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法
技术领域：
本发明属于材料制备方法技术领域，涉及镀膜技术领域，具体地说，是指ー种真空镀膜用玻璃衬底的清洗方法。
背景技术：
真空镀膜膜层质量涉及结构、理化及功能等诸多方面。而在玻璃等透明基片上用真空溅射方法大面积沉积的膜层，针孔和结合力是ー个令人关注的问题，也是比较普遍存在的膜层质量问题。在エ业生产中，镀膜用玻璃原片一般是由浮法生产的普通平板玻璃，在其生产、搬运、贮放的过程中，总可能会积聚大气中的尘埃、碳粒、油脂、微生物及某些杂质 离子等污垢物，这些污垢会影响到镀膜玻璃的质量，严重时会导致次品。因此，要消除和减少针孔、提高膜层结合力，最关键的一歩就是在镀膜前对玻璃基片进行高质量的化学清洗。目前对镀膜玻璃的清洗大多使用在线喷淋清洗，使用的清洗剂大多都含有强酸强碱或低沸点溶剂如氟利昂、三氯こ烷、四氯化碳、异丙醇等。众所周知，强酸强碱的腐蚀性很强，会和玻璃中的主要成分硅酸钠发生反应，从而对其表面造成损伤，严重影响镀膜的质量；此外，传统的清洗方法其清洗流程一般为有机溶剂清洗剂(超声波)-水基清洗剂(超声波)-市水漂洗-纯水漂洗-IPA (异丙醇)脱水-IPA慢拉干燥，清洗流程较长，且需要大型清洗设备和大量的清洗液，耗电耗时，对环境污染严重。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本发明提供ー种真空镀膜用玻璃衬底的清洗方法，可有效去除附着在玻璃上的残留玻璃粉末、油污、灰尘及指印等污染物，确保玻璃表面的清洁度和光洁度，该方法操作简单，可有效节约空间、节约成本、节约能源、节约时间。所述的清洗方法具体通过如下步骤实现第一歩，先将玻璃衬底放入双氧水中超声清洗1-3分钟；所述的双氧水的质量百分比浓度为3 30%，优选为10%。第二步，将玻璃衬底放入超纯水中超声5-10分钟；第三步，将玻璃衬底放入丙酮中超声5-10分钟；第四步，将玻璃衬底放入こ醇中超声5-10分钟；第五步，用氩气将玻璃衬底吹干；第六步，用干净的丝绸擦拭玻璃衬底表面；第七步，将玻璃衬底放在洁净烘箱中烘烤5-10分钟；所述的烘烤温度为400C _120°C，优选为 60°C。第八步，将玻璃衬底放入等离子体清洗器清洗3-5分钟；在清洗干净的玻璃衬底表面进行镀膜。本发明的优点在于I、本发明提供的清洗方法使用了丙酮，可溶解玻璃上的油、脂等有机污染物，使用的こ醇可以有效去除玻璃表面残留的丙酮。2、本清洗方法中使用了辉光放电等离子体清洗器，辉光等离子清洗是利用低气压辉光放电中形成的等离子体中带电粒子的能量，在其撞击基片表面时清除表面的粉尘和污溃，并高度激活基片表面的原子活性，这样可以提高膜层的结合力。3、用干净柔软的丝绸蘸取少量无水こ醇擦拭玻璃表面，这样可进ー步清除超声方法未清洗干净的污物。4、本清洗方法中未使用强酸强 碱，可以保证玻璃的表面不受破坏。5、本清洗方法操作简单，流程较短，不需要大的清洗装置和大量的清洗液，可有效节约空间、节约成本、节约能源、节约时间。
图I是未清洗的K9玻璃衬底表面示意图；图2是未清洗的石英玻璃衬底表面示意图；图3是采用本发明方法清洗后的K9玻璃衬底示意图；图4是采用本本发明方法清洗后的石英玻璃衬底示意图；图5是只采用去离子水清洗的K9玻璃衬底镀膜后的效果示意图；图6是只采用去离子水清洗的石英玻璃衬底镀膜后的效果示意图；图7是采用本发明清洗方法清洗的K9玻璃衬底镀膜后的效果示意图；图8是采用本发明清洗方法清洗的石英玻璃衬底镀膜后的效果示意图；图9是本发明的清洗方法流程图。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。本发明提供一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，如图9所示，采用如下步骤第一歩，先将玻璃衬底放入双氧水中超声清洗I 3分钟；所述的双氧水的质量百分比浓度为3 30%，优选为10%。第二步，将玻璃衬底放入超纯水中超声5 10分钟；第三步，将玻璃衬底放入丙酮中超声5 10分钟；第四步，将玻璃衬底放入こ醇中超声5 10分钟；第五步，用氩气将玻璃衬底吹干；第六步，用干净的丝绸擦拭玻璃衬底表面；第七步，将玻璃衬底放在洁净烘箱中烘烤5 10分钟；所述的烘烤温度为400C _120°C，优选为 60°C。第八步，将玻璃衬底放入等离子体清洗器清洗3 5分钟；在清洗干净的玻璃衬底表面进行镀膜。实施例I应用本发明提供的清洗方法，对K9玻璃衬底进行清洗，具体步骤如下a.先将K9玻璃衬底放入质量分数为10%的双氧水中超声清洗I分钟；b.将K9玻璃衬底放入去超纯水中超声5分钟；
c.将K9玻璃衬底放入丙酮中超声5分钟；d.将K9玻璃衬底放入こ醇中超声5分钟；e.用！！气将K9玻璃衬底吹干；f.用干净的丝绸沿顺时针方向轻轻擦拭K9玻璃衬底表面；g.将K9玻璃衬底放在洁净烘箱中烘烤5分钟，烘箱温度设定为60°C ；h.将K9玻璃衬底放入等离子体清洗器，用氩气清洗3分钟。在清洗干净的K9玻璃衬底表面镀上ー层厚度为3微米的铝膜。实施例2 应用本发明提供的清洗方法，对石英玻璃衬底进行清洗，具体步骤如下a.先将石英玻璃衬底放入质量分数为10%的双氧水中超声清洗3分钟；b.将石英玻璃衬底放入去超纯水中超声10分钟；c.将石英玻璃衬底放入丙酮中超声10分钟；d.将石英玻璃衬底放入こ醇中超声10分钟；e.用氩气将石英玻璃衬底吹干；f.用干净的丝绸沿顺时针方向轻轻擦拭石英玻璃衬底表面；g.将石英玻璃衬底放在洁净烘箱中烘烤10分钟，烘箱温度设定为60度；h.将石英玻璃衬底放入等离子体清洗器，用氩气清洗5分钟；在清洗干净的石英玻璃衬底表面镀上ー层厚度为3微米的铝膜。经上述实施例I和实施例2的方法清洗的玻璃，其表面的污染物完全被清洗棹，见图1、2、3及图4。采用本发明清洗方法清洗的玻璃，见图5、6、7及图8，在其表面镀膜后膜层变得致密均匀，用薄膜漏光检测仪检测薄膜表面，没有发现针孔存在；而在只用去离子水清洗过的玻璃表面镀膜后，薄膜表面粗糙且有不少凸起的点，用薄膜漏光检测仪检测薄膜表面，发现其上有很多大小不同的漏光点。用3M610胶带剥离法测试薄膜与玻璃的结合カ发现用本清洗方法清洗过的玻璃表面的薄膜经过十次剥离试验后，没有发现脱膜现象；而只用去离子水清洗过的玻璃表面的薄膜，只经过一次胶带剥离试验就出现了脱膜现象。实施例3采用与实施例I相同的清洗方法，对K9玻璃衬底进行清洗，只是改变步骤a中双氧水的浓度为质量分数为3%，设置步骤g中烘箱温度为40°C。实施例4采用与实施例2相同的清洗方法，对石英玻璃衬底进行清洗，只是改变步骤a中双氧水的浓度为质量分数为30%，设置步骤g中烘箱温度为120°C。通过实施例3和实施例4清洗的方法后得到的玻璃衬底，在玻璃衬底上进行膜层制备，与现有技术相比，试验表明，膜层与玻璃衬底的结合力明显提高。
权利要求
1.一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，其特征在于，所述的清洗方法具体通过如下步骤实现 第一步，先将玻璃衬底放入双氧水中超声清洗I 3分钟； 第二步，将玻璃衬底放入超纯水中超声5 10分钟； 第三步，将玻璃衬底放入丙酮中超声5 10分钟； 第四步，将玻璃衬底放入乙醇中超声5 10分钟； 第五步，用氩气将玻璃衬底吹干； 第六步，用干净的丝绸擦拭玻璃衬底表面； 第七步，将玻璃衬底放在洁净烘箱中烘烤5 10分钟； 第八步，将玻璃衬底放入等离子体清洗器清洗3 5分钟；在清洗干净的玻璃衬底表面进行镀膜。
2.根据权利要求I所述的一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，其特征在于所述的双氧水的质量百分比浓度为3%-30%。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，其特征在于所述的双氧水的质量百分比浓度为10%。
4.根据权利要求I所述的一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，其特征在于烘箱温度为40 0C -120。。。
5.根据权利要求4所述的一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，其特征在于烘箱温度为60。。。
6.根据权利要求I所述的一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，其特征在于所述的玻璃衬底为K9玻璃衬底或石英玻璃衬底。
全文摘要
本发明公开了一种镀膜用玻璃衬底的清洗方法，属于材料制备方法技术领域。所述的清洗方法通过双氧水超声、超纯水超声、丙酮超声、乙醇超声、吹干、擦拭、烘烤和等离子体清洗器清洗，获得清洗干净的玻璃衬底，最后可以在玻璃衬底表面进行镀膜。本发明提供的清洗方法中未使用强酸强碱，可以保证玻璃的表面不受破坏。本清洗方法操作简单，流程较短，不需要大的清洗装置和大量的清洗液，可有效节约空间、节约成本、节约能源、节约时间。
文档编号B08B3/12GK102649625SQ20121013584
公开日2012年8月29日 申请日期2012年5月3日 优先权日2012年5月3日
发明者张丽, 王三胜 申请人:北京鼎臣超导科技有限公司