一种用于清洗炉管设备保温片的治具的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种用于清洗炉管设备保温片的治具，包括支撑座、支撑杆，所述支撑座设有两个，所述支撑杆设有三个，分别为第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆的两端分别对应固定在所述两个支撑座的两侧竖向中间位置，所述第三支撑杆的两端固定在所述两个支撑座的竖向底部，在所述三个支撑杆上相对应的位置上分别开设有一个或多个齿状卡槽。在清洗炉管设备保温片时，可将多片炉管设备保温片置于支撑杆的齿状卡槽中同时进行清洗，提高清洗效率，节约酸液，延长酸液使用时间，缩短机台维护时间，从而提高产能效率。
【专利说明】一种用于清洗炉管设备保温片的治具
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种保温片的清洗设备，具体的涉及一种用于清洗炉管设备保温片的治具。
【背景技术】
[0002]在设备制造商的设计中，12英寸炉管设备的晶舟下面，是由多片保温片填充的。其目的有两个，一个是保持反应腔体内炉管口区域的温度，第二个是在晶舟的底部，有重物压拽，降低晶舟的重心，防止晶舟的位置发生漂移。在设备的每次定期维护中，晶舟和炉管设备保温片都需要清洗，以此来保持和提高设备的微粒洁净度。因炉管设备保温片在反应腔体内的位置处于反应气体的入口处，故炉管设备保温片清洗状况的好坏会直接影响到设备的微粒洁净度的好坏。现有技术中，在清洗炉管设备保温片时，清洗动作是由专门的清洗机台来完成，但局限于清洗设备的清洗篮的大小，无法将多达20片的炉管设备保温片一次摆放下。目前，清洗炉管设备保温片的方式是把炉管设备保温片一字排开地摆放在清洗篮里，然后浸泡在酸液里，因要保证清洗的效果，炉管设备保温片彼此之间没有任何重叠或者挤压；采取这样的方法，一次只能清洗8片，20片炉管设备保温片需要3次才能洗完；同时，清洗机里的酸液更换的频率是15，即清洗15次石英后需要换酸，而炉管设备保温片清洗一次耗时5小时。这样，需要花费15小时用于炉管设备保温片的清洗，这种方式既浪费酸液又耗时，浪费资源又延迟复机时间。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种能使多片炉管设备保温片一起清洗，提高清洗效率和节约资源的用于清洗炉管设备保温片的治具。
[0004]本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种用于清洗炉管设备保温片的治具，包括支撑座、支撑杆，所述支撑座设有两个，所述支撑杆设有三个，分别为第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆的两端分别对应固定在所述两个支撑座的两侧竖向中间位置，所述第三支撑杆的两端固定在所述两个支撑座的竖向底部，在所述三个支撑杆上相对应的位置上分别开设有一个或多个齿状卡槽。
[0005]本发明的有益效果是:在清洗炉管设备保温片时，可将多片炉管设备保温片置于支撑杆的齿状卡槽中同时进行清洗，提高清洗效率，节约酸液，延长酸液使用时间，缩短机台维护时间，从而提高产能效率。
[0006]在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
[0007]进一步，一种用于清洗炉管设备保温片的治具还包括转换棒，所述转换棒上开设有与所述三个支撑杆中齿状卡槽相匹配的卡槽，所述转换棒的两端分别位于所述两个支撑座的竖向中上部。
[0008]采用上述进一步方案的有益效果是:当清洗大尺寸炉管设备保温片时将转换棒卸下，当清洗小尺寸炉管设备保温片时将转换棒装上，可以适用于清洗两种不同尺寸的炉管设备保温片。
[0009]进一步，所述一个支撑座的中上部设有一个转换孔，所述另一个支撑座的中上部对应设有一个转换凹槽，所述转换孔为通孔，所述另一支撑座上的转换孔为凹槽，所述转换凹槽具有一定深度，其深度小于其所在支撑座的厚度，所述转换棒的一端卡在所述转换凹槽中，所述转换棒的另一端穿过所述转换孔，并通过插销固定在所述转换孔中。
[0010]采用上述进一步方案的有益效果是:采用插销固定转换棒的方式，便于转换棒在的支撑座上能自由的切换，操作简单，迅捷。
[0011]进一步，所述第一支撑杆、第二支撑杆均为圆柱状支撑杆，所述第三支撑杆为方形支撑杆。
[0012]采用上述进一步方案的有益效果是:支撑座底部的的第三支撑杆为方形，其较低的一端与地面接触，提闻治具的稳定性。
[0013]进一步，所述第三支撑杆的一端固定在其中一个支撑座上离地面的高度大于所述第三支撑杆另一端固定在另一支撑座上离地面的高度，且所述第一支撑杆、第二支撑杆、转换棒均分别与所述第三支撑杆平行。
[0014]采用上述进一步方案的有益效果是:第三支撑杆的一端固定在其中一个支撑座上离地面的高度大于所述第三支撑杆另一端固定在另一支撑座上离地面的高度，这样治具中的支撑杆和转换棒一端高一端低，使竖在治具里的每个炉管设备保温片有一定的倾角，从而避免炉管设备保温片相互靠拢的现象。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本发明一种用于清洗炉管设备保温片的治具的结构示意图；
[0016]图2为本发明一种用于清洗炉管设备保温片的治具卸下转换棒的结构示意图。
[0017]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0018]1.1、第一支撑座，1.2、第二支撑座，1.3、转换孔，1.4、转换凹槽，1.5、插销，2.1、第
一支撑杆，2.2、第二支撑杆,2.3、第三支撑杆,3、齿状卡槽,4、转换棒,4.1、卡槽。
【具体实施方式】
[0019]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0020]如图1所示，一种用于清洗炉管设备保温片的治具，包括支撑座、支撑杆，所述支撑座设有两个，分别为第一支撑座1.1，第二支撑座1.2，所述支撑杆设有三个，分别为第一支撑杆2.1、第二支撑杆2.2、第三支撑杆2.3，所述第一支撑，2.1、第二支撑杆2.2均为圆柱状支撑杆，所述第三支撑杆2.3为方形支撑杆，所述第一支撑杆2.1与所述第二支撑杆2.2的两端分别对应固定在所述第一支撑座1.1、第二支撑座1.2的两侧竖向中间位置，所述第三支撑杆2.3的两端分别固定在所述第一支撑座1.1、第二支撑杆2.2的底部，所述第三支撑杆2.3的一端固定在第二支撑座1.2上离地面的高度大于所述第三支撑杆2.3另一端固定在第一支撑座1.1上离地面的高度，在所述第一支撑杆2.1、第二支撑杆2.2、第三支撑杆2.3上相对应的位置上分别开设有一个或多个齿状卡槽3。所述一种用于清洗炉管设备保温片的治具还包括转换棒4，所述转换棒4上开设有与所述三个支撑杆中齿状卡槽相匹配的卡槽4.1，所述转换棒4的两端分别位于所述第一支撑座1.1、第二支撑座1.2的竖向中上部，所述第一支撑座1.1、第二支撑座1.2的中上部分别对应设有转换孔1.3、转换凹槽
1.4，所述第一支撑座1.1上的转换孔1.3为通孔，所述第二支撑座1.2上的转换凹槽1.4具有一定深度，其深度小于第二支撑座1.2的厚度，所述转换棒4的一端卡在转换凹槽1.4中，所述转换棒4的另一端穿过所述转换孔1.3，并通过插销1.5固定在所述为转换孔1.3中。所述第一支撑杆2.1、第二支撑杆2.2、转换棒4均分别与所述第三支撑杆2.3平行。
[0021]在使用本发明一种用于清洗炉管设备保温片的治具清洗大尺寸的炉管设备保温片时，不需要使用转换棒4，如图2所示，图2为一种用于清洗炉管设备保温片的治具卸下转换棒的结构示意图，炉管设备保温片卡在第一支撑杆2.1、第二支撑杆2.2、第三支撑杆
2.3中的齿状卡槽3中，然后将多片炉管设备保温片可以一起竖着浸泡在酸液里进行清洗；当清洗小尺寸的炉管设备保温片时，插入转换棒4，当炉管设备保温片为小尺寸时，第一支撑杆2.1、第二支撑杆2.2、第三支撑杆2.3相互距离过大，不能卡住小尺寸的炉管设备保温片，此时安装上转换棒4，由于转换棒4的两端分别位于所述第一支撑座1.1、第二支撑座1.2的竖向中上部，转换棒4离第一支撑杆2.1的距离小于两端分别位于第一支撑座1.1、第二支撑座2.2 一侧竖向中间位置的第二支撑杆2.2离第一支撑杆2.1的距离，于是炉管设备保温片就卡在第一支撑杆2.1、第三支撑杆2.3和转换棒4的齿状卡槽3中，然后将多片炉管设备保温片可以一起竖着浸泡在酸液里进行清洗。
[0022]所述第三支撑杆2.3的一端固定在第二支撑座1.2上离地面的高度大于所述第三支撑杆2.3另一端固定在第一支撑座1.1上离地面的高度，所述第一支撑杆2.1、第二支撑杆2.2、转换棒4均分别与所述第三支撑杆2.3平行，这样，大尺寸炉管设备保温片卡在所述第一支撑杆2.1、第二支撑杆2.2、第三支撑杆2.3相对应的齿状卡槽3中，或小尺寸管设备保温片卡在所述第一支撑杆2.1、第三支撑杆2.3相对应的齿状卡槽3中和转换棒4相对应的卡槽4.1中，炉管设备保温片在治具中有一定的倾角，避免出现两片炉管设备保温片之间相互靠拢的情况。
[0023]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于清洗炉管设备保温片的治具，其特征在于:包括支撑座、支撑杆，所述支撑座设有两个，所述支撑杆设有三个，分别为第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆的两端分别对应固定在所述两个支撑座的两侧竖向中间位置，所述第三支撑杆的两端固定在所述两个支撑座的竖向底部，在所述三个支撑杆上相对应的位置上分别开设有一个或多个齿状卡槽。
2.根据权利要求1所述的一种用于清洗炉管设备保温片的治具，其特征在于:还包括转换棒，所述转换棒上开设有与所述三个支撑杆中齿状卡槽相匹配的卡槽，所述转换棒的两端分别位于所述两个支撑座的竖向中上部。
3.根据权利要求2所述的一种用于清洗炉管设备保温片的治具，其特征在于:所述一个支撑座的中上部设有一个转换孔，所述另一个支撑座的中上部对应设有一个转换凹槽，所述转换凹槽具有一定深度，其深度小于其所在支撑座的厚度，所述转换棒的一端卡在所述转换凹槽中，所述转换棒的另一端穿过所述转换孔，并通过插销固定在所述转换孔中。
4.根据权利要求1或2所述的一种用于清洗炉管设备保温片的治具，其特征在于:所述第一支撑杆、第二支撑杆均为圆柱状支撑杆，所述第三支撑杆为方形支撑杆。
5.根据权利要求1或2所述的一种用于清洗炉管设备保温片的治具，其特征在于:所述第三支撑杆的一端固定在其中一个支撑座上离地面的高度大于所述第三支撑杆另一端固定在另一支撑座上离地面的高度，且所述第一支撑杆、第二支撑杆、转换棒均分别与所述第三支撑杆平行。
【文档编号】B08B13/00GK103464414SQ201310416215
【公开日】2013年12月25日 申请日期:2013年9月12日 优先权日:2013年9月12日
【发明者】周成志 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司