专利名称：镀膜玻璃生产抽真空的方法
技术领域：
本发明属于镀膜玻璃生产技术领域，主要提出一种镀膜玻璃生产抽真空的方法。
镀膜玻璃生产工艺要求镀膜室的真空度达到1.2×10-3Pa左右开始生产，才能保证生产的产品质量。现在镀膜玻璃生产抽真空的方法是采用真空泵抽真空。采用这种方法在镀膜室短时通大气后抽到1.2×10-3Pa时需要16～20小时；在更换镀膜室护板和辊子后，因上面吸附的水汽、油汽较多，抽到要求的真空度(1.2×10-3Pa)时，需要36～48小时。
本发明的目的即是提出一种镀膜玻璃生产抽真空的方法，使用该方法可节约抽真空所需时间并减少相应的抽真空能耗。
本发明提出的镀膜玻璃生产抽真空的方法为在真空泵将镀膜室真空度抽到0.12Pa时，通入氩气使镀膜室压力为0.26Pa并保持，将钛靶送电使之溅射，保持电流为30A，每次2～4分钟， 每半小时一次，直至达到要求的真空度(1.2×10-3Pa)。
本发明提出在真空泵抽真空时，通入氩气，并将钛靶送电使之溅射的抽真空方法。钛靶溅射既用荷能粒子(通常为气体正离子)轰击靶体，从而引起靶体表面原子从母体逸出现象，因钛原子具有很强的吸附性，真空室顶部的钛靶原子被溅射出来，向底部运动的过程中，吸附原本在真空室内做自由运动的气体分子一同向底部运动(真空泵抽气口在底部)，有效地提高了抽气速度。钛原子溅射到镀膜室护板和辊子上后，因其具有一定的能量，迫使护板和辊子上吸附的水汽、油气逸出(否则为缓慢放气)，缩短了抽真空时间。本发明使用的氩气纯度为99.99％。氩气的加入是为了保证真空室的压力满足钛靶的溅射要求。
采用本发明方法，镀膜室真空度在短时通大气后抽真空到满足生产要求，可节约时间10小时左右，在更换镀膜室护板和辊子后抽真空到满足生产要求，可节约时间30小时左右。增加了相应的生产时间，减少了相应的抽真空能耗。
实施例在真空泵将镀膜室真空度抽到0.12Pa时，(真空泵继续工作)通入氩气(99.99％)使镀膜室压力为0.26Pa并保持，将钛靶送电使之溅射，保持电流为30A，每次3分钟，每半小时一次。至真空度达到要求(1.2×10-3Pa)。
该方法中涉及到的钛靶，是镀膜玻璃生产中已有的设备，钛靶在镀膜玻璃生产中用以将氮化钛溅射到玻璃表面，形成生产工艺要求的膜层，氩气通入和控制装置是为钛靶溅射所提供，也为原有镀膜玻璃生产中已有的设备。
权利要求
1.一种镀膜玻璃生产抽真空的方法，其特征是使用真空泵将镀膜室抽真空，在抽到真空度为0.12Pa时，通入氩气使镀膜室压力为0.26Pa并保持，将钛靶送电使之溅射，保持电流为30A，每次2-4分钟，每半小时一次，至镀膜室真空度达到要求(1.2×10-3Pa)。
全文摘要
本发明属于镀膜玻璃生产技术。本发明提出的方法为:在真空泵将镀膜室真空度抽到0.12Pa时,通入氩气使镀膜室压力为0.26Pa并保持,将钛靶送电使之溅射,保持电流为30A,每次2－4分钟,每半小时一次,至镀膜室真空度达到要求(1.2×10
文档编号C03C17/00GK1357500SQ00131238
公开日2002年7月10日 申请日期2000年12月9日 优先权日2000年12月9日
发明者郭明, 陈功, 杨真理 申请人:洛阳晶润镀膜玻璃有限公司