专利名称：借助保持装置生产用合成石英玻璃制成的中空筒的方法和实施所述方法的保持装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用合成石英玻璃保持装置生产中空筒的方法，其特征在于，通过含有硅的化合物的火焰水解作用和在旋转支架上分层沉积SiO2颗粒生产带有中心内部孔的细长多孔烟灰体，所述烟灰体被脱水，搀杂或者玻璃化并且在这个工艺中通过保持装置沿垂直取向保持在处理炉中，该保持装置包括细长保持主体，该细长保持主体伸入到该烟灰体的内部孔中并且用具有比石英玻璃更高的软化温度的材料制成。
此外，本发明涉及一种用于实施所述方法的保持装置，特别是用于脱水，搀杂或者玻璃化一种细长的多孔烟灰体，该烟灰体具有在垂直取向中的中心内部孔，所述装置包括细长保持主体，该保持主体伸入到该烟灰体的内部孔中并且由具有比石英玻璃高的软化温度的材料制成。
合成石英玻璃中空筒或者管在光学或者化学工业中的大量器件中用作中间产品，特别是用于制作光学纤维的预制坯。
当管状烟灰体是根据OVD(外部蒸汽沉积)方法生产的时，细的SiO2颗粒通过火焰水解含有硅的开始化合物例如SiC14而形成，并且在支架上分成沉积，所述支架围绕它的纵轴旋转。这样的方法例如在DE19649935A1中描述。
氧化铝通常用作支架的材料，因为这种材料机械稳定并且化学性能稳定。然而，含有石英，石墨或者碳化硅的支架也被推荐。在例如通过脱水，搀杂，玻璃化或者使所述内部孔塌陷进行进一步的加工坯料之前，通常移走该支架。
因为所述生产工艺，所述烟灰体具有高含量的氢氧基团(OH团)。这些表明了在光纤的标准工作波长范围内的高吸收率，因此必须被移走。根据DE19649935A1，沿垂直取向保持该多孔坯料从一个嵌入的保持装置悬置在脱水炉中并且使所述坯料暴露在高温的含氯的气氛中，该多孔坯料受到了脱水处理。所述氢氧基团在这个工艺中用氯代替。然后，这样处理的所述烟灰体被插入到可排放的玻璃化炉中并且在其中进行玻璃化，从而形成透明的石英玻璃中空筒。
DE2906070A1描述了一种用于保持SiO2烟灰的中空筒在塌陷和纤维牵伸期间垂直取向的替换装置。具有大约50毫米长度并且用石英玻璃制成的管件被插入到该中空筒的孔中，所述管件的外径大致对应于该内部孔的内径，该管件在用作插入到所述孔中的端部设有隆起加厚的部分。为了将所述石英玻璃管锚定，所述隆起加厚部分在所述内部孔中被扭转90度，导致如卡口式连接的连接装置。
用于在玻璃化期间保持管状烟灰体的另一个装置在US5076824A中描述。在这个装置中设有一个保持底座，所述待烧结的中空圆柱状烟灰体在所述底座上沿垂直取向保持竖立。该保持底座连接到向上通过该烟灰体的孔延伸的杆。保持底座和杆设有一层热解生产的石墨或者热解生产的氮化硼。为了玻璃化，从上面到环形炉提供所述烟灰体，该烟灰体在所述保持底座上站立并且从其下端开始玻璃化，并且该烟灰体在其中被区域软化和玻璃化。
在EP701975A2中描述了用于生产中空筒的方法和上述类型的用于该方法的装置。该装置包括保持杆，该保持杆从上面通过烟灰体的内部孔延伸，并且该保持杆通过其下端连接到保持底座，在该保持底座上该烟灰体用其下表面端部站立。该保持杆包括加强的石墨炭纤维(CFC)并且在该烟灰体的内部孔的区域中被透气的覆盖层管或者纯石墨包围。该覆盖层管用作在所述烟灰体塌陷时的垫片，使得可以独立于该保持杆的外径，通过改变所述覆盖层管的厚度生产具有不同内径的中空筒。
在玻璃化所述烟灰体期间，所述烟灰体塌陷到石墨覆盖层管上。在这个过程中，在所述石墨中存在的污染物特别是金属杂质，可以释放并且输送到所述烟灰体的石英玻璃中。一般在玻璃化之前进行的在含有卤族元素的气氛中对该烟灰体进行的脱水处理起到很大的作用，因为杂质可以从该覆盖层管输送到所述烟灰体中，这样通过氟或者氯的出现以及形成挥发性卤素化合物而改进所述烟灰体。
因此，在已知方法中因为石墨覆盖层管中的污染物的含量，可能限制了用于该中空筒的待获得的纯净度。
在玻璃化之后，在已知方法中去除了该覆盖层管，石英玻璃管的内部孔是通过铣制，磨制，细磨或者蚀刻而进行处理。该方法耗时并且导致损失材料。
因此本发明的目的是提供一种方法，其中在脱水，搀杂或者玻璃化工艺中保持该中空筒的纯净度，并且同时确保了所述待生产的中空筒的高的尺寸稳定性，使得所述内部孔能够没有大量损失时间和材料地被再加工。
此外，本发明的目的是提供一种用于实施该方法的装置。
对于该方法来说，从上述方法开始，根据本发明获得了这个目的，因为在该保持体和该烟灰体之间设置了合成石英玻璃的不透气的覆盖层。
所述烟灰体的处理包括至少一个热处理工艺。这是脱水处理，将搀杂物引入到所述烟灰体中的搀杂步骤，和/或者烧结该烟灰体以获得石英玻璃筒的玻璃化步骤。在已知方法的创造性改进中，该烟灰体在所述加热工艺中被在相应的处理炉中的保持装置保持，伸入到该烟灰体的内部孔中的该保持主体在这里至少被石英玻璃覆盖层围绕。本发明的基本方面在于，含有相对于该烟灰体的“外来物质”的该保持主体在加热工艺期间至少部分地与该烟灰体隔离，即被含有该烟灰体的“专门材料”的，即含有合成石英玻璃的覆盖层遮蔽。
为此，该保持主体用合成石英玻璃的气密的覆盖层围绕。该石英玻璃覆盖层构造成环绕该保持主体的管或者该保持主体的不透气覆盖层。至少将该烟灰体的内部孔与该保持主体隔离，从而防止因为直接接触该保持主体或者通过经由气相(特别是挥发性氯化金属)的传输导致的污染物被输送到该烟灰体中。
将所述烟灰体完全引入到在处理炉内部形成的加热区域中，并且在其中同时加热该烟灰体的整个长度，或者该烟灰体被供应给该加热区域，从一个端部开始，并且在其中进行区域加热。
本发明的该烟灰体的保持装置用在所述随后的加热工艺中的每个或者某些中。该烟灰体的脱水处理一般在含有卤族元素，特别是含有氟或者氯的气氛中在脱水炉中进行。在随后的用于将搀杂物引入到该烟灰体中的搀杂工艺中，该烟灰体通过保持装置保持在搀杂炉中。如果搀杂物(例如氟)加入到脱水气氛中，还可以在搀杂的同时对该烟灰体进行脱水。此外，在用于烧结所述烟灰体的玻璃化工艺中，所述烟灰体可以通过所述保持装置保持在玻璃化炉中。用于脱水，搀杂和/或者玻璃化的相同的炉的使用没有被省去。该保持主体包括一种在石英玻璃的玻璃化温度时尺寸稳定的材料。此外，高的抗断裂强度和高的抗热冲击强度增强了操作可靠性。该保持主体包括杆或者管。所述杆或者管构造为一个部件或者含有多个部分或者部件。该保持主体还可以包括覆盖层管，该覆盖层管围绕所述杆或者管。特别是例如石墨或者CFC的结晶材料是合适的材料。
在完成玻璃化工艺之后，保持主体和石英玻璃覆盖层被从获得的石英玻璃管上，例如通过拉出或者通过钻取出而除去。可以实施玻璃化工艺使得该烟灰体的内部孔塌陷到所述石英玻璃覆盖层上。在这个特别优选的情况中，该石英玻璃覆盖层熔化在该初始烟灰体的内壁上，从而形成所述内部区域和在完工适应玻璃管中的内壁。因此，这个管具有稳定尺寸的内部孔，该内部孔几乎不需要任何后处理。通过下述事实支持上述的情况所述内壁是用石英玻璃覆盖层形成，该覆盖层因为含有密的不透气石英玻璃而在该玻璃化工艺期间对接合有来自保持主体的污染物不敏感或者对可能的搀杂工艺不敏感。
所述方法的一种变形已经证明是特别有用，其中该石英玻璃覆盖层形成为至少部分围绕该保持主体的石英玻璃覆盖层管。
在具有石英玻璃覆盖层管的形状的石英玻璃覆盖层中，该密度要求能够以特别简单的方式满足；此外，石英玻璃管能够容易地生产和处理。该石英玻璃管沿该烟灰体的内部孔延伸。最好，其长度至少为该内部孔的长度；然而如果例如临时或者必须保持该烟灰体则还可以比该内部孔短。
此外，本发明的方法的变形使得容易生产具有大的壁厚的石英玻璃的中空筒，以便进行精确调整，因为该石英玻璃中空筒的整个壁厚包括石英玻璃的所使用的覆盖层管的部分壁厚和玻璃化后的烟灰体的壁厚。该烟灰体在这里能够沉积在具有较大的外径的支架上，该支架对于沉积效率有利。
特别在这方面，也证明了该石英玻璃管的壁厚在1毫米-25毫米内是有利的。
低于所述下限的壁厚对于在使用覆盖层管期间稳定的处理和尺寸是有利的，而在具有大于25毫米壁厚的石英玻璃覆盖层管中，不利地注意到该大的重量并且该大的重量特别不利于该保持装置的工作稳定性。
最好，该石英玻璃覆盖层管围绕保持主体形成了具有不大于5毫米的平均间隙的环行间隙。
该保持主体在玻璃化后被去除。所述去除较简单并且是完全的，该环形间隙在石英玻璃的覆盖层管和保持主体之间。然而，一方面增加的环形间隙伴有下述危险该石英玻璃覆盖层管以及因此的烟灰体从垂直方向倾斜，另一个方面富含有污染物的气相的体积在该环形间隙中被增大。因此选择该环形间隙的宽度使得仅仅为所需的宽度，但是尽可能小。该指出的间隙宽度是长度和半径上的平均值。
在玻璃化期间，该烟灰体的内部孔能够塌陷在所述石英玻璃的覆盖层管上。在这个情况中，该方法的变形是优选的，其中该烟灰体包围该石英玻璃覆盖层管，使得形成了一个大于2毫米的平均间隙宽度的环形间隙。
大的间隙宽度利于该覆盖层管插入到该烟灰体的孔中。另一方面，该烟灰体在内部孔塌陷期间最小的未受控制的变形是期望的，因为要生产尺寸稳定的石英玻璃管。因此，所述环形间隙的宽度选择为使得所述环形间隙仅仅为必须的宽度，但是要尽可能的小。在该间隙宽度上的数据也指在长度和半径上的平均值。
在特别有利的变形中，该SiO2颗粒沉积在分层的石英玻璃覆盖层管上。
石英玻璃的覆盖层管在这里用作沉积工艺中的支架。因此，该烟灰体直接形成到石英玻璃的覆盖层管上，使得在石英玻璃覆盖层管和烟灰体之间没有间隙，并且从开始的地方就存在一定的连接。在这个变形中，该石英玻璃覆盖层管不必插入到该烟灰体的内部孔中。
已经证明在石英玻璃覆盖层沿该烟灰体的内部孔的大致长度延伸时是有利的。
该烟灰体的上部和下部端部通常在烟灰体的进一步的处理过程中被丢弃。因此在该烟灰体的整个内部孔上延伸的该石英玻璃覆盖层不是必须的。然而，在该内部孔的长度上延伸的石英玻璃覆盖层更加有效地防止污染物通过气相进入该烟灰体。内部孔的长度在这里理解为整个长度的80％-100％的长度部分。
已经证明在这方面当所述烟灰体用其下表面端部站立到与所述保持主体相连的支架底座上时是有利的，该石英玻璃覆盖层从这里沿该保持主体延伸。
所述支架底座限定了该保持主体的开始并且用于固定所述石英玻璃覆盖层。所述覆盖层沿该保持主体延伸，最好延伸该保持主体的长度，该长度是指该保持主体的整个长度的80％-100％的长度部分。该石英玻璃覆盖层将所述烟灰体与污染物隔离。
本发明的方法主要用于在处理炉中玻璃化(烧结)所述烟灰体。
该烟灰体在这个工艺中完全引入到在玻璃化炉内部形成的加热区域中或同时在它的整个长度上进行加热。或者，这是有利的变形，该烟灰体供应给该加热区域，从一端开始，并且在其中区域加热。该烟灰体的区域加热使得气体化合物容易逸出，由于该烟灰体的孔隙度该气体化合物能够迁移到加热区域的前面并且沿纵向轴的方向和内部孔的方向离开该烟灰体。
最好相同地，该烟灰体在该处理炉中设置搀杂物。该搀杂物最好经由该气相引入到该烟灰体中，该不透气的合成石英玻璃覆盖层防止来自所述保持主体的气相污染物的滞留。
对于该保持装置来说，上述的从上述类型的装置开始的目标由本发明而获得，不透气的合成石英玻璃覆盖层设置在该保持主体和该烟灰体之间。
在已知的保持装置的创造性改进中，石英玻璃覆盖层设置在该保持主体和烟灰体之间，该保持主体伸入到该烟灰体的内部孔中。本发明的必要方面在于含有相对于该烟灰体的材料的“外来物质”的保持主体至少部分与该烟灰体隔离，特别是用含有该烟灰体即合成石英玻璃的“专门材料”进行隔离。
该石英玻璃覆盖层构造为环绕该保持主体的中空筒，或者为该保持主体的不透气覆盖层。至少，将该烟灰体的内部孔与该保持主体隔离，从而防止通过直接接触该保持主体或者经由气相而输送(特别是通过挥发的金属卤化物)将污染物输入到该烟灰体中。
该保持主体包括一种在石英玻璃的玻璃化温度下尺寸稳定的材料。此外高的抗断裂的强度和高的抗热温度冲击的强度增强了工作稳定性。该保持主体包括杆或者管。所述杆或者管构造为一个部件或者包括多个部分或者部件。该保持主体还可以包括环绕杆或者管的覆盖层管。特别的诸如石墨或者CFC的结晶材料是合适的材料。
本发明的特别优选的变形的特征在于，该石英玻璃覆盖层管是该烟灰体的一部分。
该烟灰体在这里通过SiO2颗粒在该石英玻璃的覆盖层管上分层沉积而产生。该覆盖层管用作该沉积工艺的支架。在该沉积工艺之后，在该烟灰体和石英玻璃覆盖层管之间建立了一个坚固的连接。
本发明的保持装置的另一个有利的结构由从属权利要求中可以看到。因为该在从属权利要求中指出的保持装置的结构复制了本发明的方法从属权利要求提到的程序，因此用附加描述描述相应的方法权利要求的上述论述。
本发明下面将参照实施例和附图进行详细描述。唯一的附图为
图1是示出了本发明的保持装置的实施例的简示图。
根据图1的保持装置整体设有附图标记9。它包括CFC支承杆1，该支承杆1被石墨管1b和石墨保持底座3围绕。
该保持底座3用来在处理空间中容纳整个结构；在这个实施例中，搀杂和玻璃化炉具有环形加热元件10。该保持底座3设有水平取向的接收表面，在该接收表面上沿垂直取向密封SiO2管状烟灰体(烟灰管5)。保持底座3和支承杆1通过螺纹紧紧连接。
该支撑杆1通过该烟灰体5的整个内部孔7延伸。超过该烟灰体5的上部端部12突出的支撑杆1的部分用于握持的目的。因为其高的抗拉强度，30毫米的所述CFC支撑杆1的较小的直径是足够的。
该支撑杆1和围绕它的石墨管1b被合成石英玻璃的覆盖层管2围绕。具有0.5毫米的平均间隙宽度的间隙4设置在该石英玻璃覆盖层管2和石墨管1b之间，具有0.8毫米的平均间隙的间隙6设置在该石英玻璃覆盖层管2和烟灰管5之间。
石英玻璃覆盖层管2包括高纯度合成的透明的高密度的石英玻璃。该覆盖层管2具有42.5毫米的外直径，1.5毫米的厚度，并且它的长度略微短于该支撑杆1和石墨管1b的长度。该石英玻璃覆盖层管2防止了支撑杆1和烟灰管5之间直接接触，并且减小了该烟灰管被从所述支撑杆扩散出来的气体杂质污染的危险。
该烟灰管5具有43毫米的内部直径和100公斤的重量。通过该保持装置9输送该烟灰管5并且在处理炉中保持该烟灰管。
使用图1所示的保持装置9生产一种合成石英玻璃的中空筒的方法将在下面详细描述。
SiO2烟灰颗粒是在沉积燃烧器的燃烧火焰中火焰水解SiC14而形成的，将所述颗粒分层沉积到AL2O3的支撑杆上，所述AL2O3的支撑杆围绕其纵轴旋转，从而形成了多孔SiO2的烟灰体。在完成了该沉积方法之后，移走所述支撑杆。用获得的烟灰管5生产一种透明的石英玻璃管，通过示例的下面将描述的方法，该石英玻璃管具有大约所述石英玻璃密度的25％的密度。
该烟灰管5受到了脱水处理以便除去因为所述生产工艺导致的氢氧基团。为此，所述烟灰管5引入到脱水炉中并且在其中被保持装置保持垂直取向。该烟灰管5首先在大约900℃下在含有氯的气氛中被处理。该处理延续大约8个小时。
然后，这样被预处理的烟灰管5被保持装置9引入到具有垂直取向的纵轴的玻璃化炉中。该玻璃化炉能够被排放并且装有石墨的环形加热元件10。以10毫米/分钟的供给速度，从该石墨管5的下端开始该石墨管5被连续地从上面供应到该加热元件10，并且该石墨管在这里被区域加热。该加热元件10的温度预设为1600℃，从而在该烟灰体5的表面上获得了大约1580℃的最大温度。在这个工艺中在所述烟灰管5中熔融的前面从外面移入到内部并且同时从上端移入到下端。在该玻璃化炉内的内部压力在连续排放玻璃化期间保持在0.1mbar。在玻璃化期间，该烟灰管5区域地收缩到石英玻璃的覆盖层管2，从而建立了与所述管的紧紧的熔融连接。在玻璃化期间溢出的气体经由该烟灰管5的仍然打开的孔或者经由在该石英玻璃覆盖层管2和烟灰管5之间的间隙而排出，使得避免形成气泡。在玻璃化期间，已经被拧入到该烟灰体5中的保持螺母13放置在该石墨管1b的上部端部上以便如EP701975A2所述那样，对悬置的烟灰体进行随后的玻璃化。
所获得的石英玻璃管的壁包括两个区域。外部区域由玻璃化烟灰管5的石英玻璃形成，内部区域由该覆盖层管2的石英玻璃形成。该内部表面大致为平面的并且是清洁的，使得不需要机械后处理。该烧结的(玻璃化的)中空筒随后延长以便具有46毫米的外径和17毫米的内径。所获得的石英玻璃管示出了高纯度和低氢氧基团浓度，从而允许在中心附近区域使用用于光学纤维的预制件，例如用作基体管以便通过MCVD方法进行内部沉积。当然，该石英玻璃管还适于在纤维牵伸时覆盖芯杆。
在上述方法的改进中，搀杂工艺插在脱水处理和玻璃化该烟灰体之间，该烟灰管在这个工艺中搀杂氟。为此，该烟灰管被插入到一种搀杂和玻璃化炉中并且在其中通过创造性的保持装置保持该烟灰管处于垂直取向。在清扫和排放该搀杂和玻璃化炉之后，称为C2F6的氟化物被进入到该炉的空间中，该烟灰管在其中被加热到大约900℃的温度。该处理延续大约8个小时。
在上述的火焰水解和沉积工艺的进一步的改进中，具有43毫米的外径和30毫米的内径的合成石英玻璃的支撑管用作SiO2沉积的基体，而代替AL2O3支架。在沉积工艺中，在该石英玻璃支撑管和在其上形成的烟灰体之间建立稳定的连接。在完成沉积工艺之后，该石英玻璃支撑管和烟灰管的复合受到脱水处理并且该烟灰管随后被玻璃化。该复合在这里通过保持装置握持，该保持装置包括CFC支撑杆，该支撑杆被石墨管封闭并且与石墨保持底座相连，如图1所示。
该支撑杆和石墨管在这个实施例中还被合成石英玻璃覆盖层管围绕，该覆盖层管与上述的方法的变形相反，不是构造为独立的器件而是例如由石英玻璃的前支撑管形成。
权利要求
1.一种使用石英玻璃保持装置生产中空筒的方法，其中具有中心内部孔的细长多孔烟灰体通过火焰水解含有硅的化合物并且分层沉积SiO2颗粒到旋转支架上而被生产，所述烟灰体被脱水，搀杂或者玻璃化并且在这个工艺中通过保持装置在处理炉中保持垂直取向，该保持装置包括伸入到烟灰体的内部孔中并且用具有比石英玻璃高的软化温度的材料制成的细长保持主体，其特征在于，一种不透气的合成石英玻璃的覆盖层(2)设置在该保持主体(1，1b)和该烟灰体(5)之间。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在玻璃化期间该烟灰体(5)塌陷到该石英玻璃覆盖层(2)上。
3.根据权利要求1或者2所述的方法，其特征在于，该石英玻璃覆盖层构造为石英玻璃覆盖层管(2)，该覆盖层管(2)至少部分围绕该保持主体(1，1b)。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，该石英玻璃的覆盖层管(2)具有1毫米-25毫米的壁厚。
5.根据权利要求3或者4所述的方法，其特征在于，石英玻璃覆盖层管(2)围绕该保持主体(1；1b)，形成了具有不大于5毫米的平均间隙的环形间隙(4)。
6.根据权利要求3-5中任一项所述的方法，其特征在于，该烟灰体(5)围绕石英玻璃的覆盖层管(2)，形成了具有不大于2毫米的平均间隙宽度的环形间隙(6)。
7.根据权利要求3-6中任一项所述的方法，其特征在于，该SiO2颗粒分层沉积在石英玻璃的覆盖层管(2)上。
8.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，该石英玻璃覆盖层(2)沿该烟灰体(5)的内部孔的长度延伸。
9.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，该烟灰体(5)在处理炉中被玻璃化。
10.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，该烟灰体(5)在该处理炉中设有搀杂物。
11.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，该烟灰体(5)用其下表面站立在支撑底座(3)上，该支撑底座(3)与该保持主体(1；1b)相连，从该支撑底座该石英玻璃覆盖层(2)沿该保持主体延伸。
12.一种实施所述方法的保持装置，特别是用于在垂直取向中脱水，搀杂或者玻璃化具有中间内部孔的细长多孔烟灰体，该保持装置包括伸入到该烟灰体的内部孔中的细长保持主体，该保持主体用一种具有比石英玻璃高的软化温度的材料制成，其特征在于，不透气的石英玻璃覆盖层(2)设置在该保持主体(1；1b)和该烟灰体(5)之间。
13.根据权利要求12所述的保持装置，其特征在于，该石英玻璃覆盖层构造为至少部分围绕该保持主体的石英玻璃覆盖层管(2)。
14.根据权利要求13所述的保持装置，其特征在于，该石英玻璃覆盖层管(2)具有1毫米-25毫米的壁厚。
15.根据权利要求13或者14所述的保持装置，其特征在于，该石英玻璃覆盖层管(2)围绕该保持主体(1；1b)，形成具有不大于5毫米的平均间隙的环形间隙(4)。
16.根据权利要求13-15中任一项所述的保持装置，其特征在于，该石英玻璃覆盖层管(2)围绕该保持主体(1；1b)，形成具有不大于2毫米的平均间隙的环形间隙(4)。
17.根据权利要求13-16中任一项所述的保持装置，其特征在于，该石英玻璃的覆盖层管(2)是该烟灰体(5)的一部分。
18.根据权利要求12-17中任一项所述的方法，其特征在于，该石英玻璃覆盖层(2)沿该烟灰体(5)的内部孔的长度延伸。
19.根据权利要求12-18中任一项所述的保持装置，其特征在于，为了容纳该烟灰体(5)，该保持主体连接到支撑底座(3)上，该石英玻璃覆盖层(2)从该支撑底座(3)沿该保持主体(1；1b)延伸。
全文摘要
在已知的生产一种用合成适应玻璃制成的中空筒的方法中，一种含有硅的化合物被火焰水解并且将二氧化硅颗粒分成沉积到旋转支架上，导致生产出具有中间的内部孔的细长多孔烟灰体(5)。所述烟灰体被脱水，搀杂或者玻璃化，在该工艺中将所述烟灰体通过保持装置(9)保持在处理炉内的垂直方向，该保持装置(9)包括细长保持主体(1)，该保持主体(1)伸入到该烟灰体的内部孔中波那个切用具有臂石英玻璃高的软化温度的材料制成。本发明的目的是建立一种在现有已知方法基础上的方法，通过该方法在所述加热工艺中保持该中空筒的纯度，同时只需很少的时间和用于后处理内部孔的材料。所述目的是通过在该保持主体和烟灰体之间提供一种用合成石英玻璃支撑的不透气覆盖物而实现。适合于实施所述创造性的方法的该保持装置的特征在于，所述用合成石英玻璃构成的不透气覆盖物设置在该保持主体和烟灰体之间。
文档编号C03B37/014GK1745043SQ200480003053
公开日2006年3月8日 申请日期2004年1月20日 优先权日2003年1月28日
发明者K·罗泽利布, D·屈夫纳, R·索瓦, J·普拉施尼克, S·施穆茨勒, M·舒伯特 申请人:赫罗伊斯·坦尼沃有限责任公司