专利名称：具有压力调节机构的砂浆供给装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体晶体加工过程中，采用多线锯切割机由晶棒或晶锭加工成晶片 过程中，将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上的装置技术领域。
背景技术：
由于多线锯切割机加工半导体晶棒或晶锭切割成晶片，具有加工效率较高，成品 率较高的特点，所以得到了广泛使用。然而，砂浆流量的不均勻性逐渐暴露出来，砂浆流量 的不均勻性影响着成品率的进一步提高。造成流量的不均勻的主要原因有砂浆泵的转轮 提升砂浆过程中有波动性和压力的变化。随着半导体晶棒或晶锭尺寸的增大，材料本身价 值的不断提高，通过提高或保证加工成品率来降低加工成本，减少经济损失，已成为一个急 待解决的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，用该装置可以将多 线切割机切割使用的砂浆供送时提高连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高 成品率和效率；本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升。也可应用于 其他的需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。本发明装置的主要技术方案是一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，包括电 机、泵，其特征在于具有机械式压力调节机构，其结构泵体的出口通过连管和罐体连通，罐 体上设有砂浆出口，罐体上具有机械式压力自动调节结构。所述的机械式压力自动调节结构可为罐体上口外沿安装紧固有弹性隔膜，弹性 隔膜的上方设有保护弹性隔膜的盖式压套，盖式压套套在罐体上，盖式压套和弹簧复位及 调整机构相连。其密封性很好，工作非常稳定、可靠。所述的机械式压力自动调节结构也可活塞式结构等，活塞杆和盖式压套绞联。所述的盖式压套具有向内凸的球冠面较佳，更有利于提高弹性隔膜的耐用性和寿 命和保证其正常工作。具有其他形状的面也可，但不及向内凸的球冠面为好。所述的盖式压套可具有轴向滑动时避开浆出口的长条孔。所述的弹簧复位及调整机构的结构可以为盖式压套上具有至少3个与固定在罐 体连接板上的导柱滑动配合的导孔，导孔设在盖式压套下部的导孔板上，导柱上在导孔板 和导柱上的限位固定板之间设有压力弹簧。所述的弹簧复位及调整机构的结构也可以用拉力弹簧式结构等。所述的罐体为圆筒状较好，底部为倒圆台状，连管和倒圆台的顶部联通。其体积紧 凑、浆流更顺畅。所述的泵体最好具有内腔为圆柱形的泵桶，内腔为圆柱形的泵桶中设有具有螺旋 槽绞龙式结构的转轮。所述的具有螺旋槽绞龙式结构的转轮内安装最好具有有矩形方块，矩形方块内设有与转轴配合连接的方形孔，转轴设有矩形方块及具有螺旋槽绞龙式结构的转轮的限位结 构。所述的泵体的固定座内安装有用于定位固定转轴的轴承，轴承分别由压盖、轴承 垫圈固定；内腔为圆柱形的泵桶与固定座焊接。本发明的积极效果是本发明解决了现有技术中一直存在的人们想解决而又一直 未能解决的问题；利用该装置，可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时提高连续性、降低 波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率。本发明特别适用于半导体行业的多 线切割机中对砂浆的提升，也可应用于其他需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。本发明专利将螺旋槽结构应用到砂浆泵提升砂浆的转轮上，使砂浆在提升过程中 具有连续性，减小波动性，同时增加了具有随着压力变化而体积能够膨胀和收缩的装置来 吸收压力的波动，使压力均勻，保证流量均勻。以下结合一个较好的实施例及其附图作详述，但本实施例不能作为对本发明的限定。
图1为本发明一个较好的实施例的结构示意图。图2为图1的俯视图。图3为图2中的A-A旋转剖视图。图4为图1中具有螺旋槽绞龙式结构的转轮11的立体结构示意图。图5为图4中转轮11的B-B剖面图。图6为图1中矩形方块13的剖面图。图中标号说明1-机架板，2-固定座，3-螺栓，4-联轴器，5-压盖，6-轴承座，7、 8-轴承垫圈，9-螺钉，10-内腔为圆柱形的泵桶，11-具有螺旋槽绞龙式结构的转轮，12-转 轴，13-矩形方块，14-螺母，15-腔体，16-连接嘴，17-轴承，18-螺钉，19-锁母，20-长条 孔，21-螺母，22-盖式压套，23-导柱，24-压力弹簧，25-限位固定板，26-螺钉，27-电机， 28-螺钉，29-环形压套，30-弹性隔膜，31-罐体，32-连接板，33-连管，34螺旋槽，35-向内 凸的球冠面，36-螺栓，37-砂浆出口。
具体实施例方式参见图1 图5，该具有压力调节机构的砂浆供给装置，包括电机27、泵，其特征在 于具有机械式压力调节机构，其结构泵体的出口通过连管33和罐体31连通，罐体31上设 有砂浆出口 37，浆罐上具有机械式压力自动调节结构。机械式压力自动调节结构为罐体 31上口外沿安装紧固有弹性隔膜30，弹性隔膜30的上方设有保护弹性隔膜30的盖式压套 22，盖式压套22套在罐体31上，盖式压套22和弹簧复位及调整机构相连。盖式压套22具 有向内凸的球冠面35。弹簧复位及调整机构的结构为盖式压套22上具有至少和3个固 定在罐体31连接板32上的导柱23滑动配合的导孔，导孔设在盖式压套22下部的导孔板 上，导柱23上在导孔板和导柱23上的限位固定板25之间设有压力弹簧24。罐体31为圆 筒状，底部为倒圆台状，连管33和倒圆台的顶部联通。盖式压套22具有轴向滑动时避开浆 出口的长条孔20。所述的泵体具有内腔为圆柱形的泵桶10，内腔为圆柱形的泵桶10中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮11。具有螺旋槽绞龙式结构的转轮11内安装有矩形方块 13，矩形方块13内设有与转轴12配合连接的方形孔，转轴12设有矩形方块(13)及具有螺 旋槽绞龙式结构的转轮11的限位结构。泵体的固定座2内安装有用于定位固定转轴12的 轴承17，轴承17分别由压盖5、轴承垫圈7、8固定；内腔为圆柱形的泵桶10与固定座2焊接。其他结构说明如下机架板1通过螺钉紧固安装电机27，电机27安装联轴器4与 转轴12连接，机架板1经螺栓3紧固连接固定座2，固定座2内经螺钉9紧固连接轴承座6， 轴承座6内安装了轴承17和轴承垫圈7和轴承垫圈8并经压盖5和螺钉18固定连接。转 轴12经锁母19与轴承17紧固连接，内腔为圆柱形的泵桶10与固定座2焊接，转轮11内 紧密安装矩形块13，转轴12经螺母14将转轮11和矩形块13安装成一体，转轮11被内腔 为圆柱形的泵桶10包含，并形成腔体15，连接嘴16与内腔为圆柱形的泵桶10连接并与腔 体15相通，连管33与连接嘴16和锥形罐体31连接，锥形罐体31经螺栓36和螺母21与 机架板1紧固连接，导柱23与螺栓36连接，限位固定板25经螺钉26与导柱23紧固连接， 压簧24套在导柱23上，由固定板25定位。盖式压套22有孔安装在导柱23由压簧24下 端面推压。由环形压套29及螺钉26将弹性隔膜30紧固压装于锥形罐体31上端面。盖式 压套22在压簧24及自重作用下，压在弹性隔膜30上，弹性隔膜30经环形压套28紧固连 接在锥形罐体31上，当罐体内的流体压力大时，弹性隔膜30受到压力作用，可变形膨胀，推 动盖式压套22向上移动，压簧24受到盖式压套22的作用力而收缩存储能量，当腔体内的 压力降低时，压簧24释放能量，推压盖式压套22补充锥形罐体31内流体的压力。附图中显示的具有特定代表性实施例描述本发明的结构。本发明的结构和方法 能够有效的将高粘度、高密度的流体如多线切割机切割使用的砂浆进行提升并且保持连续 性、降低波动性，同时保证压力的一致性。本发明的具有压力补偿结构的砂浆供给装置及其 使用方法能够应用到半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升同时也可应用到其他的需 要将高粘度、高密度的流体提升的行业。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精 神和原则之内所作的任何修改、等同替换改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
一种具有压力调节机构的砂浆供给装置，包括电机(27)、泵，其特征在于具有机械式压力调节机构，其结构泵体的出口通过连管(33)和罐体(31)连通，罐体(31)上设有砂浆出口(37)，罐体(31)上具有机械式压力自动调节结构。
2.根据权利要求1所述的具有压力补偿结构的砂浆供给装置，其特征在于所述的机械 式压力自动调节结构为罐体(31)上口外沿安装紧固有弹性隔膜(30)，弹性隔膜(30)的 上方设有保护弹性隔膜(30)的盖式压套(22)，盖式压套(22)套在罐体(31)上，盖式压套 (22)和弹簧复位及调整机构相连。
3.根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的盖式 压套(22)具有向内凸的球冠面(35)。
4.根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的盖式 压套(22)具有轴向滑动时避开浆出口的长条孔(20)。
5.根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的弹簧 复位及调整机构的结构为盖式压套(22)上具有至少和3个固定在罐体(31)连接板(32) 上的导柱(23)滑动配合的导孔，导孔设在盖式压套(22)下部的导孔板上，导柱(23)上在 导孔板和导柱(23)上的限位固定板(25)之间设有压力弹簧(24)。
6.根据权利要求2所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的罐体 (31)为圆筒状，底部为倒圆台状，连管(33)和倒圆台的顶部联通。
7.根据权利要求1、2、3、4、5或6所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在 于所述的泵体具有内腔为圆柱形的泵桶(10)，内腔为圆柱形的泵桶(10)中设有具有螺旋 槽绞龙式结构的转轮(11)。
8.根据权利要7所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的具有螺 旋槽绞龙式结构的转轮(11)内安装有矩形方块(13)，矩形方块(13)内设有与转轴(12)配 合连接的方形孔，转轴(12)设有矩形方块(13)及具有螺旋槽绞龙式结构的转轮(11)的限 位结构。
9.根据权利要求7所述的具有压力调节机构的砂浆供给装置，其特征在于所述的泵体 的固定座⑵内安装有用于定位固定转轴(12)的轴承(17)，轴承(17)分别由压盖(5)、轴 承垫圈(7、8)固定；内腔为圆柱形的泵桶(10)与固定座(2)焊接。
全文摘要
本发明涉及半导体晶体加工过程中，采用多线锯切割机由晶棒或晶锭加工成晶片过程中，将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上的装置技术领域。包括电机、泵，其主要特征在于其泵体的出口通过连管和浆罐联通，浆罐上设有浆出口，浆罐上具有机械式压力自动调节结构。其泵体具有内腔为圆柱形的泵桶，内腔为圆柱形的泵桶中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮。用该装置可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时可达到大大提高送浆的连续性、降低波动性，提高压力的一致性，有利于提高成品率和效率；本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中对砂浆的提升。也可应用于其他的需要将高粘度、高密度的流体提升的行业中。
文档编号B28D7/00GK101934559SQ20101025167
公开日2011年1月5日 申请日期2010年8月12日 优先权日2010年8月12日
发明者张为强, 种宝春, 靳永吉 申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所