一种研磨基板压力供给装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种研磨基板压力供给装置。
【背景技术】
[0002] 现有机构提供研磨压力主要由气压或直接调节研磨头与面板Panel间的空隙Gap 值。这两种方式均不能起到精确控制研磨压力的作用。气体从管路中释放出来后，压力衰减 很快，作用与Panel表面时压力值不固定，压力存在波动性，对研磨效果调试不利。
[0003] 其中，对Panel的研磨采用气压作用于研磨带的模式，气体压力衰减严重，不易精 确控制。导致Panel各区域压力分布不均衡，存在波动性，量化管理困难;另外一种直接调整 研磨Gap的模式不能有效调整研磨头对Panel的直接压力大小，无法对研磨效果进行参数型 量化管理，研磨效果不易控制。 【实用新型内容】
[0004] (一)要解决的技术问题
[0005] 本实用新型要解决的技术问题是提供一种研磨基板压力供给装置现有技术中的 Panel研磨通过气压作用于研磨带的模式，气体压力衰减严重，不易精确控制，导致Panel各 区域压力分布不均衡，故研磨效果存在波动性，量化管理困难。
[0006] (二)技术方案
[0007] 为解决上述问题，本实用新型提供了一种研磨基板压力供给装置，包括：
[0008] 第一通电磁铁和第二通电磁铁，所述第一通电磁铁和第二通电磁铁的同极侧上下 相对放置且存在空隙；
[0009] 所述第二通电磁铁与第一通电磁铁通过导轨机构连接，所述第二通电磁铁沿着第 一通电磁铁和第二通电磁铁的共同中心线方向在一定范围内进行滑动；
[0010] 所述第一通电磁铁和第二通电磁铁之间产生的排斥力为面板提供研磨压力。
[0011] 优选地，所述第一通电磁铁和第二通电磁铁之间产生的排斥力F等于第一通电磁 铁产生磁力F1和第二通电磁铁产生磁力F2之和，即：
[0012] F=F1+F2,f\ = -iV'~fi=' -入-?~
[0013] 其中，h为第一通电磁铁的磁导率，Si为第一通电磁铁铁芯的截面积，Ii为第一通 电磁铁的线圈电流，WiS第一通电磁铁的线圈匝数，心为第一通电磁铁的气隙长度；
[0014] li2为第一通电磁铁的磁导率，S2为第一通电磁铁铁芯的截面积，〗2为第一通电磁铁 的线圈电流，W2为第一通电磁铁的线圈Hi数，§2为第一通电磁铁的气隙长度。
[0015]优选地，所述导轨机构包括第一 L形固定支架和第二L形固定支架，所述第一固定 支架位于横向的第一边与第一通电磁铁固定连接，其位于纵向的第二边与第二L形固定支 架的位于纵向的长边通过滑轨连接，所述长边与第二通电磁铁连接，所述第二通电磁铁通 过在长边上的滑动，实现与第一通电磁铁的相对运动。
[0016]优选地，所述第二L形固定支架的长边长度大于第一 L形固定支架的第二边长度。 [0017]优选地，所述第二L形固定支架的位于横向的窄边垂直连接连接杆，导轨机构还包 括缓冲器，所述缓冲器固定在连接杆和第一固定支架中的第一边之间，所述缓冲器包括限 位杆和套在限位杆上的弹簧。
[0018] 优选地，所述连接杆连接限位杆，所述弹簧固定在窄边上，所述第二通电磁铁在长 边上滑动带动所述连接杆在限位杆范围内挤压弹簧，进而产生缓冲力。
[0019] 优选地，所述第二通电磁铁底端连接研磨钻头，所述研磨钻头底端设有缓冲海绵。 [0020](三)有益效果
[0021]本实用新型提供一种研磨基板压力供给装置，通过设置两块同极相对的电磁铁通 电后，电磁铁间产生可控作用力，电磁作用力大小可直接由电流强度来直接控制。电磁间作 用力非直接接触力，存在缓冲空间，作用于面板表面非刚性接触，不易引起面板破损。
【附图说明】
[0022]图1为本实用新型实施例研磨基板压力供给装置结构；
[0023] 图2为本实用新型实施例研磨基板压力供给装置中导轨机构结构示意图。
【具体实施方式】
[0024] 下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明如下。
[0025] 如图1和2所示，本实用新型实施例提供了一种研磨基板压力供给装置，包括:第一 通电磁铁1和第二通电磁铁2,所述第一通电磁铁1和第二通电磁铁2的同极侧上下相对放置 且存在空隙；
[0026] 所述第二通电磁铁2与第一通电磁铁1通过导轨机构连接，所述第二通电磁铁2沿 着第一通电磁铁1和第二通电磁铁2的共同中心线方向在一定范围内进行滑动；
[0027]所述第一通电磁铁1和第二通电磁铁2之间产生的排斥力为面板3提供研磨压力。 第二通电磁铁2连接研磨钻头。
[0028] 第一通电磁铁1固定设置，第二通电磁铁2为活动设置，通过导轨，第二通电磁铁可 相对于第一通电磁铁进行相对运动。当第一通电磁铁和第二通电磁铁通电产生斥力时，第 二通电磁铁受力，随即在导轨上滑动并将压力通过研磨头传递到面板Panel上，从而产生研 磨压力。
[0029] 本实用新型实施例采用两块同极相对的电磁铁通电后，电磁铁间产生可控作用 力，电磁作用力大小可直接由电流强度来直接控制。电磁作用力具备连续性精确变化。将此 作用力作用于面板Panel表面，可达到对面板表面压强精确控制。
[0030] 电流通过缠绕在铁芯上的线圈后，铁芯会产生磁场。两个缠绕线圈的铁芯相向放 置，通电后磁场相互作用产生相互作用力，根据相互作用力的方向分为引力和斥力。此时， 利用斥力作用于研磨头并通过研磨头间接作用于面板表面，以达到对面板清洁作用。本实 施例中的电磁铁的固定环境避免采用铁质，避免设备长期运转导致铁质环境磁化，从而影 响研磨部压力效果。
[0031] 其中，本实施例中的第一通电磁铁1和第二通电磁铁2均由铁芯和通电的螺旋线圈 组成，电磁感应强度由铁芯磁导率、线圈匝数及线圈电流大小决定，线圈中电流方向控制电 磁铁磁极方向。根据右手螺旋定则设置电流的方向从而设置磁极方向。
[0032]所述第一通电磁铁和第二通电磁铁之间产生的排斥力F等于第一通电磁铁产生磁 力F1和第二通电磁铁产生磁力F2之和，即：
[0034]其中，^为第一通电磁铁的磁导率，Si为第一通电磁铁铁芯的截面积，Ii为第一通 电磁铁的线圈电流，WiS第一通电磁铁的线圈匝数，知为第一通电磁铁的气隙长度；
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