专利名称：一种硅片切割设备的夹紧装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种夹紧装置，特别涉及一种切割硅片用夹具的夹紧装置，属于硅片 加工工具的技术领域。
背景技术：
硅片加工前，要先将硅晶板切割分体成块状。现有的硅片切割设备中，对硅晶板 的夹紧方式，普遍采用固定气缸夹紧、移动气缸夹紧或无杆气缸夹紧等方式。上述夹紧方 式中，固定夹紧方式应用最为普遍，但其成本高；无杆气缸移动速度慢，且由于是单边夹紧， 夹紧力不均勻，容易使硅晶板划损，且出现加工的硅晶块不规范，如切缝与表面不垂直等现 象；移动气缸夹紧虽然克服了上述现象，但存在成本高的问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种夹紧力均勻，成本低廉的硅片切割设备的
夹紧装置。为了解决上述技术问题，本发明一种硅片切割设备的夹紧装置，包括连接件，卡紧 构件，推杆，所述卡紧构件固定设置在所述连接件的前端，所述推杆一端穿过所述连接件， 并与所述连接件螺纹连接成一体，所述卡紧构件为V形构件，由第一侧板与第二侧板组成， 所述第一侧板与所述第二侧板固定连接成一体。上述一种硅片切割设备的夹紧装置，其中，所述第一侧板与所述第二侧板内表面 上分别固定设有一弹性垫片。上述一种硅片切割设备的夹紧装置，其中，所述弹性垫片的表面上设有滚花纹。本发明可实现以下有益效果
1、由于本发明包括连接件，卡紧构件，推杆，所述卡紧构件固定设置在所述连接件的前 端，所述推杆一端穿过所述连接件，并与所述连接件螺纹连接成一体，所述卡紧构件为V形 构件，由第一侧板与第二侧板组成，所述第一侧板与所述第二侧固定连接成一体，夹紧时， 将连接件移到适当位置，将推杆拧紧，通过推杆夹紧在固定架上，将夹紧装置定位；将硅晶 板卡入卡紧构件内，通过卡紧构件的第一、第二侧板将硅晶板夹紧；拆卸时，只要将推杆反 向拧动，将硅晶板松开即可，因此，本发明使用比较方便，且夹紧由卡紧构件实现，操作方 便，且夹紧力均勻；且当单个夹紧装置损坏后，可个别更换，大大降低了成本；另外，本发明 由少数零部件组成，成本低廉。2、由于所述第一侧板与所述第二侧板内表面上分别固定设有一弹性垫片，可起到 缓冲的作用，避免硅晶板与卡紧构件直接摩擦，防止硅晶板损坏，从而，延长了夹紧装置的 使用寿命。3、由于所述弹性垫片的表面上设有滚花纹，当硅晶板卡在卡紧构件内时，可增加 硅晶板与弹性垫片之间的摩擦力，使硅晶板的夹紧更加牢固、稳定。
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明的弹性垫片的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明作进一步说明。如图所示，为了解决上述技术问题，本发明一种硅片切割设备的夹紧装置，包括连 接件ι，卡紧构件2，推杆3，所述卡紧构件1固定设置在所述连接件1的前端，所述推杆3 — 端穿过所述连接件1，并与所述连接件1螺纹连接成一体，所述卡紧构件2为V形构件，由第 一侧板21与第二侧板22组成，所述第一侧板21与所述第二侧板22固定连接成一体。夹 紧时，将连接件1移到适当位置，将推杆3拧紧，通过推杆3夹紧在固定架4上，将夹紧装置 定位；将硅晶板卡入卡紧构件2内，通过卡紧构件2的第一、第二侧板21、22将硅晶板夹紧； 拆卸时，只要将推杆3反向拧动，将硅晶板松开即可，因此，本发明使用比较方便，且夹紧由 卡紧构件实现，操作方便，且夹紧力均勻；且当单个夹紧装置损坏后，可个别更换，大大降低 了成本；另外，本发明由少数零部件组成，成本低廉。为了延长夹紧装置的使用寿命，可在所述第一侧板21与所述第二侧板22内表面 上分别固定设有一弹性垫片4，由于所述第一侧板21与所述第二侧板22内表面上分别固定 设有一弹性垫片4，可起到缓冲的作用，避免硅晶板与卡紧构件2直接摩擦，防止硅晶板损 坏，且延长了夹紧装置的使用寿命。为了使硅晶板夹得更加牢固、稳定，可在所述弹性垫片4的表面上设有滚花纹5， 由于所述弹性垫片4的表面上设有滚花纹5，当硅晶板卡在卡紧构件内时，可增加硅晶板与 弹性垫片4之间的摩擦力，使硅晶板的夹紧更加牢固、稳定。综上所述，本发明具有夹紧力均勻，成本低廉、安装方便、灵活且结构简单的优点。这里本发明的描述和应用是说明性的，并非想将本发明的范围限制在上述实施例 中，因此，本发明不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护 的范围内。
权利要求
一种硅片切割设备的夹紧装置，其特征在于，包括连接件，卡紧构件，推杆，所述卡紧构件固定设置在所述连接件的前端，所述推杆一端穿过所述连接件，并与所述连接件螺纹连接成一体，所述卡紧构件为V形构件，由第一侧板与第二侧板组成，所述第一侧板与所述第二侧板固定连接成一体。
2.如权利要求1所述一种硅片切割设备的夹紧装置，其特征在于，所述第一侧板与所 述第二侧板内表面上分别固定设有一弹性垫片。
3.如权利要求1所述一种硅片切割设备的夹紧装置，其特征在于，所述弹性垫片的表 面上设有滚花纹。
全文摘要
本发明提供了一种硅片切割设备的夹紧装置，包括连接件，卡紧构件，推杆，所述卡紧构件固定设置在所述连接件的前端，所述推杆一端穿过所述连接件，并与所述连接件螺纹连接成一体，所述卡紧构件为V形构件，由第一侧板与第二侧板组成，所述第一侧板与所述第二侧板固定连接成一体，夹紧时，将连接件移到适当位置，将推杆拧紧，通过推杆夹紧在固定架上，将夹紧装置定位；将硅晶板卡入卡紧构件内，通过卡紧构件的第一、第二侧侧将硅晶板夹紧；拆卸时，只要将推杆反向拧动，将硅晶板松开即可，因此，本发明使用比较方便，且夹紧由卡紧构件实现，操作方便，且夹紧力均匀。
文档编号B28D7/04GK101973078SQ20101051845
公开日2011年2月16日 申请日期2010年10月25日 优先权日2010年10月25日
发明者聂金根 申请人:镇江市港南电子有限公司