一种六方氮化硼界面涂层的制备方法

文档序号:1847560阅读:402来源:国知局
专利名称:一种六方氮化硼界面涂层的制备方法
技术领域
本发明涉及一种六方氮化硼界面涂层的制备方法,特别是涉及单质硼经原位氮化反应形成BN界面涂层的制备方法。
背景技术
热解碳(PyC)经常被用作纤维增韧碳化硅陶瓷基复合材料(C/SiC及SiC/SiC复合材料)的界面涂层,表现出优异的力学性能;但其抗氧化性能很差,低温下( 450°C)就会迅速氧化成(X)2和C0,导致材料失效,极大地限制了 C/SiC及SiC/SiC复合材料的应用范围和使用寿命。六方氮化硼界面涂层具有较好的层状结构,且在600°C以上含氧环境下,可以生成液态的化03自愈合相。因此,采用六方氮化硼界面涂层替代PyC作为C/SiC及SiC/ SiC复合材料的界面涂层,不仅可以引导基体微裂纹沿纤维轴向发生偏转,将载荷从纤维传递到基体,保持复合材料优异的力学性能,还可以有效提高材料的抗氧化性能,满足长寿命要求。目前发展的氮化硼界面涂层制备方法主要是CVD/CVI法,反应体系主要为BF3-NH3 和BC13-NH3。采用BF3-NH3体系可在较低温度下(600 700°C )沉积出乱层石墨结构的氮化硼界面涂层,但涂层的晶化程度较低,且强腐蚀性产物HF会对SiC纤维强度造成明显损伤。采用BCl3-NH3体系可大幅度降低气相物质对纤维的腐蚀和损伤,但在低温下(600 7000C )沉积得到的BN为非晶态结构,含有大量纳米孔隙,稳定性很差,易吸潮吸氧,大大降低了氮化硼界面涂层的综合性能。为了提高氮化硼界面涂层的晶化程度和纯度,文献(Moore, Α. W. , et al. , Improved Interface Coatings for SicFibers in Ceramic Composites, Ceramic. Eng. Sci. Proc. , 1995,16 (4) :409-416.)指出制备氮化硼界面涂层的CVD/CVI温度应确定在1400 1800°C。但大量实验证明,在该温度范围内,采用CVD/ CVI法制备氮化硼界面涂层,由于制备温度较高,体系反应速度较大,一方面导致氮化硼界面涂层沉积速率过快而造成涂层厚度不易控制,另一方面导致氮化硼界面涂层渗透能力下降,不利于预制体内部生成厚度均勻的界面涂层。近年来,美国NASA研究中心报道了一种新型的界面涂层制备方法,其以 Sylramic-iBN型SiC纤维作为SiC/SiC复合材料的增强体,在纤维表面首先原位合成一层 BN薄膜,然后通过CVD/CVI法进一步沉积氮化硼界面涂层的界面。按此方法获得的复合材料,其纤维强度的保持率均优于其他类型的SiC纤维,复合材料的抗蠕变性能得到提高。而后,S. S. Campbell和S. T. Gonczy等报道了在含硼铝硅酸盐的NeXtel312 纤维上通过氮化处理原位生成氮化硼界面涂层的方法。其发现在1100°C以上对Nextel 312 纤维进行氮化处理是可行的,并且经三点弯曲性能测试获得了在弯曲最大应力200MI^对应0. 40%应变的复合材料。对于以上提及的纤维表面制备氮化硼界面涂层的方法,均存在一定不足首先,在纤维束表面很难生成均一涂层;其次,使用的反应物气体或生成的副产物具有腐蚀性或毒性;再次,制备成本过高。

发明内容
要解决的技术问题为了避免现有技术的不足之处,本发明提出一种六方氮化硼界面涂层的制备方法,本发明的思想在于先采用化学气相沉积(Chemical Vapor D印osition,简称 CVD)方法在纤维(碳纤维或碳化硅纤维)表面沉积均勻厚度的硼单质涂层,然后在含氮气氛(氨气、氢气和氮气混合)中进行氮化处理,制备晶化程度高、杂质含量小、厚度可设计的六方BN界面涂层。技术方案一种六方氮化硼界面涂层的制备方法,其特征在于步骤如下步骤1:将纤维按0°和90°方向编织成二维编织布,经叠层成尺寸为 25mmX25mmX3mm的纤维预制体作为基底材料;或将石墨加工成规格为20mmX IOmmX 2mm 的块状试样作为基底材料;步骤2 将纤维预制体基底材料或石墨基底材料悬挂于沉积炉试样架上,试样架处于炉内等温区中心位置;步骤3 以BCl3-H2为先驱体在基底上制备单质硼薄膜,反应温度900 1100°C, 保温时间20 60小时,炉内压力400 2000Pa ;步骤4 对步骤3含有硼涂层的预制体进行氮化处理,氮化温度1300 1550°C, 保温时间5 50小时,炉内压力400 2000Pa,气氛为NH3-N2-H2,得到六方氮化硼界面涂层。步骤1中的纤维按三维四向编织方法编织成尺寸为25mmX 25mmX 3mm的纤维预制体作为。基底材料。所述纤维为碳纤维或陶瓷纤维。所述陶瓷纤维为SiC纤维。有益效果本发明提出的一种六方氮化硼界面涂层的制备方法,主要优点是(I)BN界面涂层的可设计性强,能够根据需要对单质B厚度及结构、氮化处理速率及BN界面涂层厚度进行纳米尺度的设计和控制;( 氮化处理时间较短,对纤维无损伤,可使复合材料获得优良的力学性能;(3)制备的六方BN界面涂层为类石墨层状结构,均勻性好,适用于陶瓷基复合材料的界面层;(4)制备的六方BN界面涂层结晶程度高、含氧量极少,可大幅度提高复合材料的高温使用性能,延长复合材料使用寿命;( 工艺过程简单、可重复性好。本发明方法制备的BN界面涂层,也可推广应用于陶瓷基复合材料的基体和表面涂层材料。


图1是发明实施例1所制备的氮化硼界面涂层表面X射线光电子能谱,谱图揭示了氮、硼结合状态及其对应物相的含量(利用图中氮、硼价态峰面积即可计算出)。图2是发明实施例2所制备的氮化硼界面涂层断面微观结构透射电镜照片。其中 a图为氮化产物明场像,由图可见CVD B形成了厚度均一的氮化硼层;b图为放大像,由图可见氮化硼界面层均勻致密,为“类石墨结构”。
具体实施例方式现结合实施例、附图对本发明作进一步描述实施例1 步骤1 选用牌号为T300的2维平纹机织碳布,将纤维按0°和90°方向编织成二维编织布,经叠层成尺寸为25mmX25mmX3mm的纤维预制体作为基底材料;步骤2 将纤维预制体基底材料悬挂于沉积炉试样架上,试样架处于炉内等温区中心位置;步骤3 以BCl3-H2为先驱体在基底上制备单质硼薄膜,反应温度1000°C,保温时间20小时,炉内压力4001 ;步骤4 对步骤3含有硼涂层的预制体进行氮化处理,氮化温度1300°C,保温时间10小时,炉内压力1000Pa,气氛为NH3-N2-H2,得到六方氮化硼界面涂层。步骤1中的纤维按三维四向编织方法编织成尺寸为25mmX 25mmX 3mm的纤维预制体作为基底材料。所述纤维为碳纤维或陶瓷纤维。所述陶瓷纤维为SiC纤维。实施例2 步骤1 将石墨加工成规格为20mmX IOmmX 2mm的块状试样作为基底材料,对基片的表面进行磨削和抛光,采用酒精对基片进行超声清洗,经烘干后使用;步骤2 将石墨基底材料悬挂于沉积炉试样架上,试样架处于炉内等温区中心位置;步骤3 以BCl3-H2为先驱体在基底上制备单质硼薄膜,反应温度900°C,保温时间60小时,炉内压力IOOOPa ;步骤4 对步骤3含有硼涂层的预制体进行氮化处理,氮化温度1500°C,保温时间10小时,炉内压力400Pa,气氛为NH3-N2-H2,得到六方氮化硼界面涂层。
权利要求
1.一种六方氮化硼界面涂层的制备方法,其特征在于步骤如下步骤1 将纤维按0 °和90 °方向编织成二维编织布,经叠层成尺寸为 25mmX25mmX3mm的纤维预制体作为基底材料;或将石墨加工成规格为20mmX IOmmX 2mm 的块状试样作为基底材料;步骤2 将纤维预制体基底材料或石墨基底材料悬挂于沉积炉试样架上,试样架处于炉内等温区中心位置;步骤3 以BCl3-H2为先驱体在基底上制备单质硼薄膜,反应温度900 1100°C,保温时间20 60小时,炉内压力400 2000Pa ;步骤4 对步骤3含有硼涂层的预制体进行氮化处理,氮化温度1300 1550°C,保温时间5 50小时,炉内压力400 2000Pa,气氛为NH3-N2-H2,得到六方氮化硼界面涂层。
2.根据权利要求1所述的六方氮化硼界面涂层的制备方法,其特征在于步骤1中的纤维按三维四向编织方法编织成尺寸为25mmX25mmX3mm的纤维预制体作为。基底材料。
3.根据权利要求1或2所述的六方氮化硼界面涂层的制备方法,其特征在于所述纤维为碳纤维或陶瓷纤维。
4.根据权利要求3所述的六方氮化硼界面涂层的制备方法,其特征在于所述陶瓷纤维为SiC纤维。
全文摘要
本发明涉及一种六方氮化硼界面涂层的制备方法,该方法包括制备纤维预制体或高纯石墨基底、化学气相沉积硼单质以及硼单质的氮化处理。该方法可设计性强、工艺简单、可重复性好。本发明制造的氮化硼界面涂层为类石墨层状结构、结晶度高、涂层致密均匀、含氧量极少,可满足陶瓷基复合材料抗氧化界面涂层的需要,也可推广至基体或表面涂层材料。
文档编号C04B41/85GK102180706SQ20111005167
公开日2011年9月14日 申请日期2011年3月3日 优先权日2011年3月3日
发明者刘永胜, 叶昉, 张立同, 成来飞 申请人:西北工业大学
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