专利名称：透光性硬质基板层叠体的制造方法和透光性硬质基板贴合装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及透光性硬质基板层叠体的制造方法和透光性硬质基板贴合装置，尤其涉及用于制造显示元件保护基板的板基板层叠体的制造方法和在显示元件的保护玻璃的制造エ序中使用的玻璃板贴合装置。
背景技术：
在电视、笔记本个人电脑、汽车导航、计算器、移动电话、电子记事本、以及PDA (个人数字助理，Personal Digital Assistant)这些各种电子设备的显示装置中使用液晶显示器(LCD)、有机EL显示器(OELD)、电致发光显示器(ELD)、场发射显示器(FED)、以及等离子体显示器(PDP)等显示元件。于是，为了保护显示元件，一般与显示元件相对地设置保护 用的玻璃板制品。该玻璃板制品是将玻璃板加工成适于各显示装置的大小和形状的制品，但为了应对市场要求的价格水平，需要高生产效率地加工大量玻璃板制品。于是，在日本特开2009-256125号公报(专利文献I)中提出了提高玻璃板制品生产效率的方法。具体而言提出了 “ー种玻璃板的加工方法，其特征在于，层叠多个素材玻璃板(I),并且利用介于各素材玻璃板(I)间的能够剥离的固定材料(2 )将各素材玻璃板(I)一体地固定，形成素材玻璃块(A);将该素材玻璃块(A)在面方向分割形成小面积的分割玻璃块(B);至少加工该分割玻璃块(B)的外周形成俯视制品形状的制品玻璃块(C);对该制品玻璃块(C)端面加工后，将该制品玻璃块(C)各自分离开”(权利要求I)。由此记载了“在层叠了多个素材玻璃板状态下进行分割、外形加工、以及端面加工，因此能够以少的エ序获得多个玻璃板制品，生产率高”(段落0007)。另外，在专利文献I中记载了“介于各素材玻璃板(I)间的固定材料(2)是照射紫外线时固化且升温时固化状态软化的光固化性液状固定材料”(权利要求4)。由此记载了“如果使光固化性液状固定剂介于上下素材玻璃板间并在上下方向加压，则该液状固定剂在上下素材玻璃板间整面且均等厚度地扩展成膜状，如果在该状态下照射红外线，则扩展成上述膜状的液状固定剂固化并将上下各玻璃板一体地固定。因此，能够迅速且高精度地层叠多个素材玻璃板并将其一体地固定。另外，在最終加工(端面加工)后，如果将制品玻璃块收纳在热水等中升温，则各玻璃板间固化的固定剂软化，成为膜状而分离。因此，可不发生环境污染地容易地回收和处理固定剤。”(段落0007)。在专利文献I的“具体实施方式
”栏中记载了，一边使光固化性的液状固定剂夹设在各素材玻璃板间，一边层叠20块素材玻璃板，接着，从层叠好的素材玻璃板的上面照射紫外线(UV光)使固定剂固化，形成一体地固定了上下各素材玻璃板的素材玻璃块(段落0010 0011)。现有技术文献专利文献
专利文献I :日本特开2009-256125号公报
发明内容
利用专利文献I中记载的玻璃板的加工方法，能够以高生产效率制造规定形状的玻璃板制品。但是，电子设备有时要求在玻璃板上形成需要的印刷图案(例如，移动电话显示画面的设计)，在这样的情况下对于印刷的图案要求高位置精度(例如，容许误差为10
30μ m左右)。在专利文献I中记载的方法中，一边使光固化性的液状固定剂夹设在各素材玻璃板间，一边层叠20块素材玻璃板，接着，从层叠好的素材玻璃板的上面照射紫外线(UV光)使固定剂固化，形成一体地固定了上下各素材玻璃板的素材玻璃块。但是，按这样的步骤层叠素材玻璃板时固定剂没有固化，玻璃面彼此容易产生微妙的位置偏离，因此，不适合高精度的位置对合。即，采用专利文献I中记载的方法难以获得高位置精度。 另外，在专利文献I中虽然公开了贴合玻璃的方法的发明，但对于实现其的装置没有记载。为了エ业上批量生产，期望提供能够贴合玻璃的装置。于是，本发明的课题在于提供能够实现提高位置精度的透光性硬质基板层叠体的制造方法。另外，本发明的另ー课题在于提供利用了该透光性硬质基板层叠体的制造方法的板状制品制造方法。另外，本发明的另ー课题还在于提供既提高板状制品的生产效率又有助于提高位置精度的透光性硬质基板贴合装置。为了解决上述课题本发明人进行了深入研究，结果发现，在以规定的位置关系夹设光固化性固定剂来贴合透光性硬质基板彼此时，有效的是仅将夹在两透光性硬质基板间而扩展的固定剂的外周部分固化以使得预固定(预照射)。对于预固定的透光性硬质基板的层叠体而言，即使层叠也不容易产生位置偏离。另ー方面，透光性硬质基板彼此只不过是粘接着外周部分，因此在预固定后检查贴合的位置精度，对于不合格品，在暂且剥离后容易进行再次预固定这个步骤。另外，预固定需要的时间与将在透光性硬质基板面扩展的固定剂全部固化的情况相比，以每单位面积的照射能量大概为5分之I左右完成。因此，如果在通过预固定层叠多个透光性硬质基板后实施在基板表面的中央附近存在的固定剂的固化(主照射)，则也能够以高位置精度和高生产效率制造透光性硬质基板层叠体。将以上看法作为基础完成的本发明在一方面是ー种透光性硬质基板层叠体的制造方法，包括I)准备第一透光性硬质基板的エ序，2)准备第二透光性硬质基板的エ序，3)在第一透光性硬质基板的第一面和/或第二透光性硬质基板的第一面上涂布光固化性固定剂的エ序，4)以预先规定的面方向的位置关系使第一透光性硬质基板的第一面与第二透光性硬质基板的第一面以两面平行的方式对置的エ序，5) 一边维持上述位置关系，一边对第一透光性硬质基板的第一面和第二透光性硬质基板的第一面施加规定的压カ来贴合两透光性硬质基板的エ序，6 )在維持上述压カ的状态下，照射用于仅将被两透光性硬质基板夹持而扩展的固定剂的外周部分固化的光，形成预固定透光性硬质基板层叠体的エ序，7)主照射エ序，即照射用于使存在于上述预固定的透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成主固定透光性硬质基板层叠体，8)将上述主固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 7)，形成至少贴合有3块透光性硬质基板的主固定透光性硬质基板层叠体的エ序。本发明在另一方面是ー种透光性硬质基板层叠体的制造方法，包括I)准备第一透光性硬质基板的エ序，2)准备第二透光性硬质基板的エ序， 3)在第一透光性硬质基板的第一面和/或第二透光性硬质基板的第一面上涂布光固化性固定剂的エ序，4)以预先规定的面方向的位置关系使第一透光性硬质基板的第一面与第二透光性硬质基板的第一面以两面平行的方式对置的エ序，5) —边维持上述位置关系，一边对第一透光性硬质基板的第一面和第二透光性硬质基板的第一面施加规定的压カ来贴合两透光性硬质基板的エ序，6 )在維持上述压カ的状态下，照射用于仅将被两透光性硬质基板夹持而扩展的固定剂的外周部分固化的光，形成预固定透光性硬质基板层叠体的エ序，7’)将上述预固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 6)，形成至少贴合有3块透光性硬质基板的预固定透光性硬质基板层叠体的エ序，8，)主照射エ序，即照射用于使存在于エ序V )所得到的预固定透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成主固定透光性硬质基板层叠体。在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的一个实施方式中进ー步包括8”)将エ序8，)所得到的主固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 6)，形成复合透光性硬质基板层叠体的エ序，和8”’ )主照射エ序，即照射用于使存在于エ序8”)所得到的复合透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成増加了层叠块数的主固定透光性硬质基板层叠体。在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的另ー个实施方式中，上述外周部分存在于没有形成板状制品一部分的边缘区域。在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的再另ー个实施方式中，主照射エ序是边对已贴合的透光性硬质基板面施加规定的压カ边进行的。在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的再另ー个实施方式中，使分散在未固化固定剂中的气泡移动到不受形状加工的位置后实施主照射エ序。 在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的再另ー个实施方式中，在各透光性硬质基板的表面附帯有用于位置对合的标记，エ序4)包括边利用摄像装置对其摄像边进行位置调整。在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的再另ー个实施方式中，在各透光性硬质基板的表面附帯有用于发挥透光性硬质基板制品的功能之一的规定印刷图案和/或镀覆图案。在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的再另ー个实施方式中，上述固定剂含有粒状物质。在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的再另ー个实施方式中，通过使用了 365nm的光接收器的积算照度计进行测定,光的照射量为lmj/cm2 500mJ/cm2的范围。在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的再另ー个实施方式中，透光性硬质基板为玻璃板。本发明在另一方面是ー种板状制品的制造方法，包括9)将采用上述透光性硬质基板层叠体的制造方法得到的透光性硬质基板层叠体 在厚度方向进行分割，形成分割成需要数量的透光性硬质基板层叠体的エ序，10)分别对被分割的透光性硬质基板层叠体进行需要的形状加工的エ序，11)通过对形状加工后的透光性硬质基板层叠体进行加热来剥离贴合着的透光性硬质基板彼此，形成多个板状制品的エ序。在本发明的板状制品的制造方法的一个实施方式中，在エ序9)和エ序10)之间进一歩包括以下エ序在使被各透光性硬质基板夹持的固定剂外缘的露出部分的粘合力降低所必须的温度和时间条件下，使被分割的透光性硬质基板层叠体与剥离剂接触。在本发明的板状制品的制造方法的另ー个实施方式中，剥离剂含有选自溶剂、氧化剂、以及表面活性剂中的ー种或者ニ种以上。在本发明的板状制品的制造方法的再另ー个实施方式中，剥离剂含有选自水、醇类、氧化剂、以及表面活性剂中的ー种或者ニ种以上。在本发明的板状制品的制造方法的再另ー个实施方式中，剥离剂以30 50:30 50:5 20的质量比含有水、醇类和表面活性剤。在本发明的板状制品的制造方法的再另ー个实施方式中，剥离剂含有苄醇。在本发明的板状制品的制造方法的再另ー个实施方式中，剥离剂含有阴离子系表面活性剤。在本发明的板状制品的制造方法的再另ー个实施方式中，剥离剂含有磺酸型表面活性剤。在本发明的板状制品的制造方法的再另ー个实施方式中，剥离剂的液温为20°C 40°C，与剥离剂接触的时间为I 20分钟。本发明在再另一方面是ー种透光性硬质基板贴合装置，具备上侧载物台，用于保持上侧的透光性硬质基板，具有用于真空吸附上侧的透光性硬质基板的吸引孔，能够使上侧载物台沿Z轴方向移动的加压单元，对上述吸引孔提供吸引力的吸引単元，用于保持下侧透光性硬质基板的下侧载物台，使下侧载物台沿X轴方向、Y轴方向以及Θ轴方向移动的机构，用于在上侧透光性硬质基板的下表面和下侧透光性硬质基板的上表面的任一表面或者两表面涂布光固化性固定剂的机构，以及排列在能够向两透光性硬质基板贴合面的外周部分照射光的位置的光照射部。
在本发明的透光性硬质基板贴合装置的一个实施方式中，光照射部在上侧载物台的下表面沿着被保持的透光性硬质基板的外周排列，井向下方照射光。通过这样地排列光照射部，能够选择性地对存在于透光性硬质基板外周部分的固定剂照射光。由于光照射在上侧透光性硬质基板上，因此，在对下侧透光性硬质基板(可以为ー块透光性硬质基板，也可以为ニ块以上的透光性硬质基板层叠体)逐个地层叠上侧透光性硬质基板时特别地有效。在本发明的透光性硬质基板贴合装置的另ー个实施方式中，光照射部在下侧载物台的上表面沿着被保持的透光性硬质基板的外周排列，井向上方照射光。通过这样地排列光照射部，能够同样选择性地对存在于透光性硬质基板外周部分的固定剂照射光。由于光照射在下侧透光性硬质基板上，因此，在对上侧透光性硬质基板(可以为ー块透光性硬质基板，也可以为ニ块以上的透光性硬质基板层叠体)逐个地层叠下侧透光性硬质基板时是有效的。这种情况下，如果不取出贴合后的透光性硬质基板层叠体而保持在上侧载物台上，则能够通过由下侧载物台供给接下来层叠的透光性硬质基板来连 续地层叠透光性硬质基板。在本发明的透光性硬质基板贴合装置的再另ー个实施方式中，光照射部以包围贴合的两透光性硬质基板外周侧面的方式排列，向外周侧面照射光。这种情况下也同样能够选择性地对存在于透光性硬质基板外周部分的固定剂照射光。向外周侧面照射的光的能量被粘接剂吸收，因此光不会到达至透光性硬质基板的中央附近。另外，由于可以将光照射部沿Z轴方向移动，所以能够使光照射部符合贴合面的高度。因此，对上侧透光性硬质基板逐块地层叠下侧透光性硬质基板的情況、以及对下侧透光性硬质基板逐块地层叠上侧透光性硬质基板的情况均能够适用。如果不取出贴合后的透光性硬质基板层叠体而保持在上侧载物台上，则也能够通过由下侧载物台供给接下来层叠的透光性硬质基板来连续地层叠透光性硬质基板。在本发明的透光性硬质基板贴合装置的再另ー个实施方式中，进ー步具备对设在上侧和下侧的透光性硬质基板表面的对准标记进行拍摄的摄像单元；基于拍摄结果检测设在上侧和下侧表面的对准标记偏离位置程度的图像处理单元；和基于检测到的位置偏离程度控制上述下侧载物台移动机构的控制单元。利用摄像单元对透光性硬质基板彼此的位置关系进行微调整，由此能够以更高的位置精度层叠基板。因此，在对透光性硬质基板表面赋予印刷图案、镀覆图案等需要高位置精度的情况下，也能够应对。在本发明的透光性硬质基板贴合装置的再另ー个实施方式中，光照射部照射光的上述外周部分是没有形成板状制品的一部分的边缘区域。选择性地对边缘区域光照射时，构成板状制品的部分的基板没有受到用于预固定的光照射。因此，在之后主照射时能够使该部分的光照射经历均匀，具有能够抑制由固定剂变形带来的基板变形的这个优点。在本发明的透光性硬质基板贴合装置的再另ー实施方式中，保持在上侧载物台和/或下侧载物台的透光性硬质基板是2块以上透光性硬质基板的层叠体。将在本发明中贴合的上侧和/或下侧的透光性硬质基板制成由2块以上透光性硬质基板形成的层叠体，由此能够制造3块以上基板层叠体。
在本发明的透光性硬质基板贴合装置的再另ー实施方式中，用于涂布固定剂的机构涂布含有粒状物质的固定剂。固定剂含有粒状物质，由此能够使固定剂的厚度一定，因此加工精度提高。另外，利用固定剂成分与粒状物质线膨胀系数的不同，以后剥离时的剥离性也提高。在本发明的透光性硬质基板贴合装置的再另ー实施方式中，透光性硬质基板是玻璃板。根据本发明，能够以高位置精度制造透光性硬质基板层叠体。由此，能够以高尺寸精度在エ业上制造板状制品。本发明能够很好地用于例如批量生产显示元件的保护玻璃的方法。
图I是表示能够用于实施本发明的透光性硬质基板贴合装置的第一例的模式图。图2是表示上侧载物台下表面的例子的模式图。图3是表示在下侧载物台上载置第一块基板的状态的图。图4是表示将载置在下侧载物台上的第一块基板运送到上侧载物台的正下方的状态的图。图5是表示使上侧载物台下降真空吸附第一块基板的状态的图。图6是表示ー边保持吸附的第一块基板一边使上侧载物台上升的状态的图。图7是表示在下侧载物台载置第二块基板的状态的图。图8是表示在第二块基板的上表面涂布固定剂的状态的图。图9是表示将载置在下侧载物台的第二块基板运送到上侧载物台的正下方、利用照相机拍摄两基板表面带有的对准标记的状态的图。图10是表示在保持于上侧载物台的第一块基板的下表面涂布固定剂的状态的图。图11是表示使上侧载物台下降贴合ニ块基板并对基板的外周部照射UV的状态的图。图12是显示在UV照射后使上侧载物台上升的状态的图。图13是表示利用下侧载物台运送贴合的基板并返回到原始位置的状态的图。图14是表示能够用于实施本发明的基板贴合装置的第二例的模式图。图15是表示能够用于实施本发明的基板贴合装置的第三例的模式图。图16是表示在端面加工基板层叠体时固定剂成为障碍而使基板没有受到磨边的状态的模式图。图17是表示在端面加工基板层叠体时通过使固定剂外缘露出部分的粘合力降低来使各基板受到磨边的状态的模式图。
具体实施例方式〈第一的实施方式〉在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的第一实施方式中，实行I)准备第一透光性硬质基板的エ序，
2)准备第二透光性硬质基板的エ序，3)在第一透光性硬质基板的第一面和/或第二透光性硬质基板的第一面上涂布光固化性固定剂的エ序，4)以预先规定的面方向的位置关系使第一透光性硬质基板的第一面与第二透光性硬质基板的第一面以两面平行的方式对置的エ序，5) —边维持上述位置关系，一边对第一透光性硬质基板的第一面和第二透光性硬质基板的第一面施加规定的压カ来贴合两透光性硬质基板的エ序，6 )在維持所述压カ的状态下，照射用于仅将被两透光性硬质基板夹持而扩展的固定剂的外周部分固化的光，形成预固定透光性硬质基板层叠体的エ序，7)主照射エ序，即照射用于使存在于所述预固定的透光性硬质基板层叠体内部的 未固化的固定剂固化的光，形成主固定透光性硬质基板层叠体，8)将上述主固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 7)，形成至少贴合有3块透光性硬质基板的主固定透光性硬质基板层叠体的エ序。在エ序(I)和エ序(2)中，准备作为加工对象的透光性硬质基板。作为透光性硬质基板，没有特别限制，可以举出玻璃板(素材玻璃板、带透明导电膜的玻璃基板、形成有电极或电路的玻璃基板等)、蓝宝石基板、石英基板、塑料基板、氟化镁基板等。作为玻璃，也可以举出強化玻璃。对透光性硬质基板的大小没有特别限制，但典型而言，具有10000 250000mm2左右的面积，具有O. I 2_左右的厚度。一般各透光性硬质基板是相同的尺寸。没有限定，但可以在各透光性硬质基板的表面赋予用于发挥板状制品的功能之一的规定印刷图案、镀覆图案。作为印刷图案的例子，可以举出移动电话显示画面的设计，作为镀覆图案的例子，可以举出实施了镀铬图案的旋转编码器。在エ序(3)中，在第一透光性硬质基板的第一面和/或第二透光性硬质基板的第一面上涂布光固化性固定剂。光固化性固定剂是通过照射紫外线等光而固化且在高温加热则软化的固定剂，已知各种固定剂。作为在本发明中使用的光固化性固定剂，能够使用公知的任意光固化性固定剂，没有特别限制。光固化性固定剂可以涂布在任一个透光性硬质基板的贴合面上，但从提高粘接性的观点考虑，优选在两个透光性硬质基板的贴合面上涂布。作为优选在本发明中使用的光固化性固定剂，例如可以举出在W02008/018252中记载的含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酷、(B)单官能(甲基)丙烯酸酷、以及(C)光聚合引发剂的粘接性组合物。作为(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，能够使用低聚物/聚合物末端或者侧链被(甲基)丙烯酰化2个以上的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物、具有2个以上(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯単体。例如，作为多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物，可以举出1，2-聚丁ニ烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本曹达公司制的“TE-2000”、“TEA-1000”)、其氢化物(例如，日本曹达公司制的“TEAI-1000”)、1，4-聚丁ニ烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，大阪有机化学公司制的“ BAC-45”)、聚异戊ニ烯末端(甲基)丙烯酸酯、聚酯系氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本合成化学公司制的“ UV-2000B”、“UV-3000B”、“UV-7000B”、根上エ业公司制的“ KHP-11”、“KHP-17”)、聚醚系氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本合成化学公司制的“ UV-3700B”、“UV-6100B”)、或者双酚A型环氧(甲基)丙烯酸酯等。作为2官能(甲基)丙烯酸酯単体，可以举出1，3-丁ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、1，4- 丁ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、1，6-己ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、1，9-壬ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、新戊ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酯、ニ环戊基ニ(甲基)丙烯酸酷、2-こ基-2- 丁基-丙ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酯、新戊ニ醇改性三羟甲基丙烷ニ(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇ニ(甲基)丙烯酸酯、聚丙ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、2，2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基ニこ氧基苯基)丙烷、2，2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基丙氧基苯基)丙烷、或者2，2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基四こ氧基苯基)丙烷等。作为3官能(甲基)丙烯酸酯単体，可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯酰氧基こ基]异氰脲酸酯等。作为4官能以上的(甲基)丙烯酸酯単体，可以举出ニ羟甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇こ氧基四(甲基)丙烯酸酯、ニ季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、或者ニ季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。
作为(B)单官能(甲基)丙烯酸酯単体，可以举出(甲基)丙烯酸甲酷、(甲基)丙烯酸こ酷、(甲基)丙烯酸丙酷、(甲基)丙烯酸丁酷、(甲基)丙烯酸2-こ基己酷、(甲基)丙烯酸异辛酷、(甲基)丙烯酸异癸酷、(甲基)丙烯酸月桂酷、(甲基)丙烯酸硬脂酷、(甲基)丙烯酸苯酷、(甲基)丙烯酸环己酷、(甲基)丙烯酸ニ环戊基酷、(甲基)丙烯酸ニ环戊烯基酷、(甲基)丙烯酸ニ环戊烯氧基こ酷、(甲基)丙烯酸异冰片酯、甲氧基化环癸三烯(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羟基こ酷、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酷、(甲基)丙烯酸3-羟基丙酷、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酷、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酷、(甲基)丙烯酸缩水甘油酷、己内酯改性四氢糠基(甲基)丙烯酸酷、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羟基丙酷、(甲基)丙烯酸N，N- ニ甲基氨基こ酷、(甲基)丙烯酸N，N- ニこ基氨基こ酷、(甲基)丙烯酸叔丁基氨基こ酷、(甲基)丙烯酸こ氧羰基甲酷、苯酚环氧こ烷改性(甲基)丙烯酸酯、苯酚(环氧こ烷2摩尔改性)(甲基)丙烯酸酯、苯酚(环氧こ烷4摩尔改性)(甲基)丙烯酸酯、对枯基苯酚环氧こ烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚环氧こ烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(环氧こ烷4摩尔改性)(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(环氧こ烷8摩尔改性)(甲基)丙烯酸酷、壬基苯酚(环氧丙烷2. 5摩尔改性)(甲基)丙烯酸酷、2-こ基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酷、环氧こ烷改性邻苯ニ甲酸(甲基)丙烯酸酯、环氧こ烷改性琥珀酸(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟こ酯、丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸、富马酸、ω-羧基-聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯、邻苯ニ甲酸单羟基こ基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸ニ聚物、β -(甲基)丙烯酰氧基こ基氢琥珀酸酷、η-(甲基)丙烯酰氧基烷基六氢邻苯ニ甲酰亚胺、2- (1，2-环己ニ甲酰亚胺)こ基(甲基)丙烯酸酯、こ氧基ニこニ醇(甲基)丙烯酸酷、(甲基)丙烯酸苄酯等。作为(A)多官能(甲基)丙烯酸酯与(B)单官能(甲基)丙烯酸酯的配合比，优选为
(A): (B) = 5:95 95:5 (质量份)。如果5质量份以上，则也没有初期粘接性降低的可能，如果95质量份以下，则能够确保剥离性。已固化的固定剂通过在温水中浸溃而剥离成膜状。(B)单官能(甲基)丙烯酸酯的含量进ー步优选在(A)和(B)的合计量100质量份中为40 80质量份。(C)光聚合引发剂是为了利用可见光线、紫外线的活性光线使其敏化来促进树脂组合物的光固化而配合的，可以使用公知的各种光聚合引发剂。具体地可以举出ニ苯甲酮或者其衍生物；苯偶酰或者其衍生物；蒽醌或者其衍生物；苯偶姻；苯偶姻甲基醚、苯偶姻こ基醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻异丁基醚、安息香ニ甲醚等苯偶姻衍生物；ニこ氧基苯こ酮、4-叔丁基三氯苯こ酮等苯こ酮衍生物；2_ ニ甲基氨基こ基苯甲酸酯；对ニ甲基氨基こ基苯甲酸酯；ニ苯基ニ硫化物；噻吨酮或者其衍生物；樟脑醌；7，7- ニ甲基-2，3- ニ氧代双环[2. 2. I]庚烷-I-羧酸、7，7- ニ甲基-2，3- ニ氧代双环[2. 2. I]庚烷-I-羧基-2-溴こ基酷、7，7- ニ甲基-2，3- ニ氧代双环[2. 2. I ]庚烧-I-羧基-2-甲基酷、7，7- ニ甲基-2，3- ニ氧代双环[2. 2. I]庚烷-I-酰氯等樟脑醌衍生物；2-甲基-1- [4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙烷-I-酮、2-苄基-2-ニ甲基氨基-1- (4-吗啉基苯基)-丁酮-I等α-氨基烷基苯酮衍生物；苯甲酰基ニ苯基 氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲酰基ニ苯基氧化膦、苯甲酰基ニこ氧基氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲酰基ニ甲氧基苯基氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲酰基ニこ氧基苯基氧化勝等酸基氧化勝衍生物、轻基_苯基_こ酸2- [2-氧代-2-苯基-こ酸氧基_こ氧基]_こ酯和/或轻基_苯基_こ酸2- [2-轻基-こ氧基]-こ酯等。光聚合引发剂能够使用I种或者将2种以上组合使用。在它们之中，从效果大的方面考虑，优选选自I安息香ニ甲醚、羟基-苯基-こ酸2- [2-氧代-2-苯基-こ酰氧基-こ氧基]-こ酯以及羟基-苯基-こ酸2- [2-羟基-こ氧基]-こ酯中的I种或者2种以上。(C)光聚合引发剂的含量优选相对于(A)和(B)的合计100质量份为O. I 20质量份，更优选为O. 5 10质量份。如果为O. I质量份以上，则可靠地获得固化促进效果，如果20质量份以下，则能够获得充分的固化速度。添加I质量份以上(C)成分可以不依赖于光照射量地固化，进而组合物固化体的交联度变高，从在切削加工时不产生位置偏离等方面、从剥离性提高方面考虑，进ー步优选添加I质量份以上(C)成分。光固化性固定剂优选含有在固定剂的成分(A)、(B)以及(C)中不溶解的粒状物质(D)0由此，固化后的组合物能够保持一定的厚度，因此加工精度提高。进而，由于粘接性组合物的固化体与粒状物质(D)的线膨胀系数不同，所以在利用上述粘接剂组合物贴合透光性硬质基板后剥离时剥离性提高。作为粒状物质(D)的材质，一般使用的有机粒子、或者无机粒子均可。具体而言，作为有机粒子，可以举出聚こ烯粒子、聚丙烯粒子、交联聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交联聚苯こ烯粒子等。作为无机粒子，可以举出玻璃、ニ氧化硅、氧化铝、钛等陶瓷粒子。从加工精度提高、即控制粘接剂的膜厚的观点考虑，粒状物质(D)优选为球状。粒状物质(D)基于激光法的平均粒径优选在20 200 μ m的范围。如果上述粒状物质的平均粒径低于20 μ m，则剥离性较差，如果为200 μ m以上，则在加工预固定的部件时容易产生偏离，在尺寸精度面较差。从剥离性和尺寸精度的观点考虑，更优选的平均粒径(D50)为35 μ m 150 μ m,进一步优选为50 μ m 120 μ m。粒径分布利用激光衍射式粒度分布测定装置进行測定。从粘接性、加工精度、剥离性的观点考虑，粒状物质(D)的用量优选相对于(A)和
(B)的合计量100质量份为O. I 20质量份，更优选为O. 2 10质量份，最优选为O. 2 6质量份。在光固化性固定剂中能够添加用于提高贮藏稳定性的阻聚剂(E)。作为阻聚剂，可以举出甲基氢醌、氢醌、2，2-亚甲基-双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、邻苯ニ酚、氢醌单甲基醚、单叔丁基氢醌、2，5-ニ叔丁基氢醌、对苯醌、2，5-ニ苯基-对苯醌、2，5-ニ叔丁基-对苯醌、苦味酸、柠檬酸、吩噻嗪、叔丁基邻苯ニ酚、2-丁基-4-羟基苯甲醚以及2，6-ニ叔丁基对甲酚等。阻聚剂(E)的用量优选相对于(A)和(B)的合计量100质量份为O. 001 3质量份，更优选为O. 01 2质量份。如果为O. 001质量份以上，则可确保贮藏稳定性，如果为3质量份以下，则获得良好的粘接性，也不会未固化。在エ序(4)中，利用预先规定的面方向的位置关系使第一透光性硬质基板的第一面与第二透光性硬质基板的第一面以两面平行的方式对置。一般地在面方向使两透光性硬质基板以严密重叠的方式対置。作为实施其的机构，考虑使用用于约束透光性硬质基板的移动方向而使其移动到一定位置的导轨、框架。在要求更高精度的定位时，优选利用具有定位机构的贴合装置进行。为了高精度的定位，更优选在各透光性硬质基板的表面附加用于位置对合的标记，使用可以ー边利用摄像装置将其拍摄ー边进行位置调整的贴合装置。如果在贴合两透光性硬质基板后进行位置偏离的修正，则有可能固定剂从贴合面漏出、或在基板表面有伤痕，因此，位置偏离修正优选在贴合前实行。
在エ序(5)中，ー边维持エ序(4)中规定的位置关系，一边对第一透光性硬质基板的第一面和第二透光性硬质基板的第一面施加规定的压力，以固定剂在贴合面上扩展的方式贴合。从层叠精度的观点考虑，优选固定剂在贴合面上以一定的厚度扩展到整体。如果涂布的固定剂的量过少，则固定剂不扩展到贴合面整体而成为在贴合面上产生气泡的原因。如果产生气泡，则位置精度降低。如果涂布的固定剂的量过多，则固定剂从贴合面的间隙漏出。即使固定剂稍微漏出，也可以拭去，没有大的问题，但它的量多则浪费固定剂。贴合时的压カ也与固定剂的扩展有关系。因此，除固定剂的量以外，还优选适当地调整贴合压力。作为实现其的机构，考虑使用具备控制贴合透光性硬质基板彼此时的压力的功能的贴合装置的方法。贴合时的压カ可以考虑上述进行适当设定，例如可以为5g/cm2 50g/cm2、典型地可以为 10g/cm2 30g/cm2。进而，也考虑控制固定剂的厚度本身。作为厚度的控制方法，可以举出先前所述的在固定剂中混合粒状物质的方法，除此之外考虑使用具备控制贴合透光性硬质基板彼此时的透光性硬质基板高度的功能的贴合装置的方法。在エ序(6)中，在維持所述压カ的状态下，照射用于仅将被两透光性硬质基板夹持而扩展的固定剂的外周部分固化的光，形成预固定透光性硬质基板层叠体。通过向固定剂的外周部分照射光，从而固定剂仅外周部分固化成环状，能够以比较弱的力贴合两透光性硬质基板，能够发挥层叠透光性硬质基板时防止位置偏离的功能。如果出于贴合的透光性硬质基板不易引起位置偏离这个目的，则外周部分应是具有一定程度宽度的区域，但如果过度地照射到内部，则破坏了不引起位置偏离的程度的预固定这个目的，并且照射时间也延长，因此生产效率降低。典型而言，利用LED単元16照射的外周部分为5 25mm，更典型而言，为7 17mm左右的宽度。另外，照射光的外周部分优选存在于不形成板状制品的一部分的边缘区域。在以后主照射时，能够使形成板状制品的部分的光照射经历均匀，抑制固定剂变形。其结果，也能够抑制该部分基板变形。内部固定剂不固化保持流动性,但由于外周部的固定剂固化，因而不会从两透光性硬质基板的间隙漏出。照射光的波长可以根据使用的固定剂的特性进行适当变更，例如可以照射微波、红外线、可见光、紫外线、X线、Y线、电子束等。由于使用简便，具有比较高的能量，所以照射光一般为紫外线。这样，在本发明中，所谓光不仅指可见光也指包含广泛波长区域的电磁波(能量线)。照射的光是预固定透光性硬质基板所必须的程度的照射量即可，利用使用了365nm光接收器的积算照度计来測定，一般可以为I 500mJ/cm2,典型地可以为50 450mJ/cm2,更典型地可以为200 400mJ/cm2。作为照射时间，一般为I 120秒，典型而言为2 60秒左右，优选为15秒 45秒左右。通过维持着贴合的压カ地实行光照射，从而抑制固化变形而控制固定剂的厚度，能够提高透光性硬质基板的层叠精度。在エ序(7)中，照射用于使存在于所述预固定的透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成主固定透光性硬质基板层叠体。由于能够在形成主固定透光性硬质基板层叠体前的制造预固定透光性硬质基板层叠体的时刻检查层叠精度，因此，具 有不良情况发生时容易修复的优点。为了使存在于预固定透光性硬质基板层叠体内部的未固化固定剂固化，可以对预固定透光性硬质基板的贴合面整体照射光。由于外周部分的固定剂已经固化，因此并不需要对外周部分照射光。但是为了使固定剂的固化状态均化化，优选使被夹在贴合面间而存在的固定剂整体的照射经历均匀化。为此，有对在预固定时没有照射光的内部区域选择性地照射光的方法。也考虑在光照射时利用不透射紫外线的材料遮盖透光性硬质基板的外周部分。另外，为了提高贴合的位置精度，优选边对贴合的透光性硬质基板面施加规定的压カ边进行。通过施加压力，可以防止因固定剂固化收缩而在基板的Z轴方向发生翘曲、图案偏离、不能真空吸附这样的问题。施加的压カ可以考虑透光性硬质
基板的强度进行适当设定，例如可以为5g/cm2 50g/cm2,典型而言可以为10g/cm2 30g/
2
cm οエ序(7)中照射的光的照射量利用使用了 365nm光接收器的积算照度计进行测定，一般为30 4000mJ/cm2，典型而言为100 3000mJ/cm2，更典型而言为300 2500mJ/cm2，优选为1000 2000mJ/cm2。作为照射时间，一般为O. I 120秒，典型而言为I 30
秒，更典型而言为10 20秒左右。优选在エ序(7)前使混杂存在于未固化的固定剂中的气泡移动到不受形状加工的位置。这是由于以下的理由。在预固定时有时气泡进入到固定剂层中。在气泡存在的状态下进行主照射吋，由于固定剂固化，气泡被固定化在其位置。如果该气泡存在于接受切断加エ、外形加工、开孔加工这样的形状加工的位置，換言之如果存在于直接加工工具(刀片、磨刀石)接触的地方，则发生碎屑。于是，通过在主照射前预先使气泡移动到不受形状加工的位置，能够预防发生碎屑。作为使其移动的方法，有用手、棒挤压基板来使气泡移动的方法。在エ序(8)中，将エ序(7)中得到的主固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 7)。由此形成至少贴合有3块透光性硬质基板的主固定透光性硬质基板层置体。从提闻板状制品的生广效率的观点考虑，优选制造层置有10块以上的透光性硬质基板的透光性硬质基板层叠体，典型而言优选层叠有10 30块的透光性硬质基板的透光性硬质基板层叠体。〈第二实施方式〉在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的第二实施方式中，实行I)准备第一透光性硬质基板的エ序，
2)准备第二透光性硬质基板的エ序，3)在第一透光性硬质基板的第一面和/或第二透光性硬质基板的第一面上涂布光固化性固定剂的エ序，4)以预先规定的面方向的位置关系使第一透光性硬质基板的第一面与第二透光性硬质基板的第一面以两面平行的方式对置的エ序，5) —边维持上述位置关系，一边对第一透光性硬质基板的第一面和第二透光性硬质基板的第一面施加规定的压カ来贴合两透光性硬质基板的エ序，
6 )在維持所述压カ的状态下，照射用于仅将被两透光性硬质基板夹持而扩展的固定剂的外周部分固化的光，形成预固定透光性硬质基板层叠体的エ序，7’)将上述预固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 6)，形成至少贴合有3块透光性硬质基板的预固定透光性硬质基板层叠体的エ序，8，)主照射エ序，即照射用于使存在于エ序V )所得到的预固定透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成主固定透光性硬质基板层叠体。截至エ序(I) (6)为止以与第一实施方式同样的步骤进行。エ序(6)之后，在本实施方式中，实施工序(7’)，即将上述预固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 6)，形成至少贴合有3块透光性硬质基板的预固定透光性硬质基板层叠体。在第一实施方式中，在形成层叠有2块透光性硬质基板的预固定透光性硬质基板层叠体后立即进行主照射形成主固定透光性硬质基板层叠体。即，毎次预照射结束后进行主照射。在第二实施方式中，在形成预固定透光性硬质基板层叠体后不立即进行主照射，而是通过重复エ序(I) (6)来制作由多个透光性硬质基板形成的预固定层叠体。之后，在エ序(8’)中，照射用于使存在于所得到的预固定透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成主固定透光性硬质基板层叠体。由于对由多个透光性硬质基板形成的预固定层叠体进行一次主照射，因此，能够减少制造由多个透光性硬质基板形成的主固定透光性硬质基板层叠体所必须的主照射的次数，从而生产效率提高。但是，如果形成由过多的透光性硬质基板构成的预固定层叠体，则在主照射时紫外线无法到达至内部的固定剂，从而固定剂的固化容易不充分，因此，预固定层叠体优选最多由5块透光性硬质基板构成。为了提高贴合的位置精度，エ序(8’)也与エ序(7)同样地优选边对贴合的透光性硬质基板面施加规定的压カ边进行。另外，出于与エ序(7)所述的同样的理由，优选在エ序(8’)前使混杂存在于未固化的固定剂中的气泡移动到不受形状加工的位置。〈第三实施方式〉在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法的第三实施方式中，截至エ序
(I) (8’)为止按与第二实施方式同样的步骤进行，之后进ー步包括8”)将エ序8，)中得到的主固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 6)，形成复合透光性硬质基板层叠体的エ序，和8”’ )主照射エ序，即照射用于使存在于エ序8”)所得到的复合透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成増加了层叠块数的主固定透光性硬质基板层叠体。
在本实施方式中，对主固定透光性硬质基板层叠体进ー步层叠透光性硬质基板，由此制造层叠块数増加的主固定透光性硬质基板层叠体。如前所述，构成预固定层叠体的透光性硬质基板的块数存在界限，因此，达到一定程度的块数的预固定层叠体有必要进行主照射来形成主固定透光性硬质基板层叠体。但是，通过按照对预固定透光性硬质基板层叠体重复透光性硬质基板的贴合和预照射并在达到一定程度的块数的时刻进行主照射的步骤层叠透光性硬质基板，能够减少主照射的次数并且制造由多个透光性硬质基板构成的主固定透光性硬质基板层叠体。为了提高贴合的位置精度，エ序(8”’)也与エ序(7)同样地优选边对贴合的透光性硬质基板面施加规定的压カ边进行。另外，出于与エ序(7)所述的同样的理由，优选在エ序(8”’)前使混杂存在于未固化的固定剂中的气泡移动到不受形状加工的位置。〈板状制品的制造〉能够由上述采用透光性硬质基板层叠体的制造方法得到的透光性硬质基板层叠体制造板状制品。 首先，在エ序(9)中，在厚度方向分割透光性硬质基板层叠体，形成分割为需要数量的透光性硬质基板层叠体。对于分割方法没有特别限制，可以举出各自単独地或者组合地使用圆板切割器(钻石盘、超硬合金盘)、固定磨粒式或者游离磨粒式钢丝锯、激光束、蚀亥IJ (例如利用氢氟酸、硫酸等的化学蚀刻，电解蚀刻)、以及红热带(镍铬合金线)来分割成相同大小的长方体形状的方法。蚀刻也能够用于被分割的切断面的表面处理。接着，在エ序(10)中，分别对被分割的透光性硬质基板层叠体进行需要的形状加エ。在该エ序中，由于能够对每个被分割的透光性硬质基板层叠体一体地加工成目标透光性硬质基板制品的形状，因此，具有格外地提高透光性硬质基板制品的生产速度的优点。形状加工可以利用公知的任意机构进行，例如可以举出利用旋转磨刀石的磨削、利用超声波震动钻的开孔、利用旋转刷子的端面加工、利用蚀刻的开孔、利用蚀刻的端面加工、利用蚀刻的外形加工、利用燃烧器的火焰加工等。加工方法能够各自単独或者组合地使用。蚀刻也能够用于形状加工后的表面处理。在エ序(11)中，通过对形状加工后的透光性硬质基板层叠体进行加热从而剥离贴合着的透光性硬质基板彼此，形成多个透光性硬质基板制品。作为加热方法，没有特别限制，但为了使固定剂软化成膜状而很好地分离为各透光性硬质基板制品，优选在温水中浸溃形状加工后的透光性硬质基板层叠体的方法。优选的温水温度根据采用的固定剂而不同，但通常为60 95°C左右，优选为80 90°C。在此，エ序(9)所分割成的透光性硬质基板层叠体的端面通过透光性硬质基板31和固定剂32形成平坦的面。如果利用旋转刷子33等加工该端面，则固定剂成为障碍地各透光性硬质基板的角部不被磨边，相反地中心部被削掉很多(图16)，因此，透光性硬质基板的耐冲击強度不充分。于是，优选预先减弱露出在被分割的透光性硬质基板层叠体端面的固定剂外缘的粘合力以使得在端面加工时各透光性硬质基板可被磨边。作为具体的方法，可以举出以下方法在エ序(9)与エ序(10)之间，在使被各透光性硬质基板夹持的固定剂外缘的露出部分的粘合力降低所必须的温度和时间条件下，使被分割的透光性硬质基板层叠体与剥离剂接触(例如浸溃、喷雾、涂布等)(图17)。有必要使粘合力降低的是从外缘向内侧1_以下左右的极其微小的区域，需要将温度和时间调节到贴合面整体的粘合力不降低的程度。虽然也依赖于使用的剥离剂，但液温一般为50°C以下，典型而言为20°C 40°C。接触的时间通常是ー般为30分钟以下，典型而言为I 20分钟。如果使剥离剂的液温过高、或使接触时间过长，则甚至贴合面内部变得容易粘合力降低，因此应注意。剥离剂只要是能够使固定剂的粘合力降低的液体，则没有特别限制，可以根据使用的固定剂的特性适当地进行选择，一般含有选自溶剤、氧化剂、以及表面活性剂中的ー种或者ニ种以上。
使用溶剂和/或表面活性剂作为剥离剂吋，与剥离剂接触的固定剂由于溶胀而在与基板界面产生变形，因此，粘合力降低。优选利用切割器等物理机构将溶胀的固定剂切断(送入切割部)，之后进行干燥。由此，溶胀的固定剂收缩，因此，利用刷子等进行的端面加工变得更加容易。使用氧化剂作为剥离剂时，将固定剂碳化使其脆化，由此粘合力降低。因此，通过在溶剂和/或表面活性剂中进一歩并用氧化剂，能够协同地使粘合力降低。作为溶剂，无机溶剂、有机溶剂均可，例如可以举出水、氢氟酸、盐酸、醇类(例如甲醇、こ醇、正丙醇、异丙醇、丁醇、苄醇)、酯类(例如こ酸こ酷、こ酸丁酷、こ酸正丙酷、乳酸こ酷、邻苯ニ甲酸ニ甲酷、己ニ酸ニ甲酷)、酮类(例如甲基こ基酮(MEK)、甲基异丁基酮(MIBK)、丙酮)、氯系溶剂(例如ニ氯甲烷、三氯こ烯、四氯こ烯)、氟系溶剂(例如氢氯氟烃(HCFC)、氢氟碳(HFC))、ニ元醇醚类(例如こニ醇单甲醚(甲基溶纤剂)、こニ醇单こ醚(こ基溶纤剂)、こニ醇单丁醚(丁基溶纤剂)、丁基卡必醇(butyl carbitol)、こニ醇单叔丁基醚(ETB)、丙ニ醇单甲醚(PGME)、丙ニ醇单甲醚こ酸酯(PGMEA)、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇(MMB)),胺系溶剂(例如N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、ニ甲基甲酰胺(DMF)、N，N- ニ甲基こ酰胺(DMAC))、醚类(例如こ基こ氧基丙酸酯(EEP)、四氢呋喃(THF))、ニ甲基亚砜(DMS0)。在溶剂中，典型而言，可以使用醇，可以优选使用苄醇。作为氧化剂，可以举出硫酸、硝酸、过氧化氢、过硫酸铵、酰基过氧化物、苯甲酰基过氧化物、叔丁基过氧化物、氢过氧化物、臭氧水、高氯酸、次氯酸等。表面活性剂也可使用阴离子性表面活性剤、阳离子性表面活性剤、两性表面活性齐U、以及非离子性表面活性剂中的任ー个。作为阴离子性表面活性剤，可以举出羧酸型(例如脂肪酸盐、聚氧こ烯烷基醚羧酸盐、N-脂环基肌氨酸盐、N-酰基谷氨酸盐)、硫酸酷型(例如烷基硫酸酯盐、聚氧こ烯烷基醚硫酸盐、醇こ氧基硫酸酷、油脂硫酸酯盐)、磺酸型(例如烷基苯磺酸盐、烷磺酸盐、α -烯烃磺酸盐、ニ烷基磺基琥珀酸、萘磺酸盐-甲醛缩合物、烷基萘磺酸盐、N-甲基-N-酰基牛磺酸盐)、磷酸酯型(例如烷基磷酸盐、聚氧こ烯烷基醚磷酸盐、聚氧こ烯烷基苯基醚磷酸盐)等。作为阳离子性表面活性剤，可以举出胺盐型(例如烷基胺こ酸盐)、季铵盐型(例如单烷基铵盐、ニ烷基铵盐、こ氧基化铵盐)。作为两性表面活性剂，可以举出甜菜碱型(例如烷基ニ甲基氨基こ酸甜菜碱、烷基酸胺丙基甜菜喊、烧基轻基横基甜菜喊、烧基轻基横基甜菜喊)、烧基~■甲基胺氧化物等。作为非离子性表面活性剤，可以举出酯型(例如甘油脂肪酸酷、丙ニ醇脂肪酸酷、脱水山梨糖醇脂肪酸酷、蔗糖脂肪酸酷)、醚型(例如聚氧こ烯烷基醚、聚氧こ烯烷基苯基醚、聚氧こ烯聚氧丙烯醚)、醚酯型(例如聚氧こ烯脱水山梨糖醇脂肪酸酷、烷基甘油醚)、烷基链烷醇酰胺型(脂肪酸链烷醇酰胺、脂肪酸酰胺环氧烷加成物)、烷基多糖苷。
在表面活性剂中，典型而言能够使用阴离子性表面活性剤，优选能够使用磺酸型的阴离子性表面活性剤。从安全方面、环境方面的观点考虑，剥离剂优选含有选自水、醇类、氧化剂、以及表面活性剂中的ー种或者ニ种以上，由于安全方面的理由，更优选含有水、醇类、以及表面活性剂三种。这种情况下，优选剥离剂以30 50:30 50:5 20的质量比含有水、醇类和表面活性剂，例如以30 40:40 50:10 20的质量比含有水、醇类和表面活性剤。剥离剂也可仅由这三种构成。作为一例，以水苄醇磺酸型阴离子性表面活性剤=35:50:15的质量比混合制备剥离剂。另外，作为固定剂，使用在后述的实施例中叙述的固定剂(I)，使用本发明的方法制造由20块玻璃板形成的玻璃板层叠体。将该玻璃板层叠体浸溃在35°C的该剥离剂中5分钟，之后，利用旋转刷子加工端面。通过显微镜观察加工后的端面，结果各玻璃板的角部被磨边成圆形。另ー方面，不在剥离剂中浸溃地进行端面加工时，各玻璃板的角部没有被磨边。 同样地使用本发明的方法制造由12块玻璃板形成的玻璃板层叠体。将该玻璃板层叠体浸溃在35°C的该剥离剂中5分钟，之后，利用旋转刷子加工端面。通过显微镜观察加エ后的端面，结果各玻璃板的角部被磨边成圆形。另ー方面，不在剥离剂中浸溃地进行端面加工时，各玻璃板的角部没有被磨边。<装置构成例>对于本发明的透光性硬质基板贴合装置的例子进行说明。本发明的透光性硬质基板贴合装置用于制造基板贴合面仅外周部分被粘接剂粘接的预固定透光性硬质基板层叠体。被夹在基板的贴合面之间的未固化的固定剂在之后的エ序中固化使透光性硬质基板完全地贴合，能够制造基板的贴合面整体被粘接剂粘接的主固定透光性硬质基板层叠体。主固定透光性硬质基板层叠体在厚度方向分割，能够形成分割成需要数量的透光性硬质基板层叠体。分别对被分割的透光性硬质基板层叠体进行需要的形状加工，通过加热(例如温水浸溃)形状加工后的透光性硬质基板层叠体来将贴合着的透光性硬质基板彼此剥离，从而能够形成多个板状制品。贴合的透光性硬质基板彼此可以各自是I块的透光性硬质基板，也可以是由2块以上透光性硬质基板形成的层叠体。透光性硬质基板的层叠体可以是利用本发明的透光性硬质基板贴合装置制造的预固定的透光性硬质基板层叠体，也可以是在之后进行了主固定的透光性硬质基板层叠体。典型而言，希望通过使用本发明的透光性硬质基板贴合装置来制造层叠有10 30块左右的透光性硬质基板的透光性硬质基板层叠体。图I是表示本发明的透光性硬质基板贴合装置的第一例的模式图。透光性硬质基板贴合装置10具备架台11、上侧载物台12、加压单元13、吸引単元14、吸引孔15、LED単元
16、下侧载物台17、下侧载物台移动机构18、侧边夹19、下侧基板用涂布单元20、上侧基板用涂布单元21、摄像单元22、以及电气单元23。架台11是搭载透光性硬质基板贴合装置10的各构成设备的基座部分，在内部配置有电气单兀23。电气单兀23通过PLC (Programmable Logic Controller)进行各构成设备的程序控制。上侧载物台12通过真空吸附而保持上侧的透光性硬质基板25。因此，在上侧载物台12的下表面开有多个吸引孔15，吸引孔15通过配管与吸引単元14连接。图2是上侧载物台12下表面的模式图，示出了吸引孔15的排列例。作为吸引単元14，可使用真空泵、真空喷射器等。在上侧载物台12的上部连接有用于对下侧透光性硬质基板24边挤压边贴合上侧透光性硬质基板25的加压单元13。加压单元13具有能够使上侧载物台12沿Z方向移动(垂直方向)的升降活塞(未图示)，可通过伺服电机控制加压力、移动速度、加压时间、高度。在上侧载物台12的下表面嵌入多个用于向上侧透光性硬质基板25照射固定剂固化所需的紫外线的LED单元16。LED单元16以沿着吸附在上侧载物台12的上侧透光性硬质基板25的外周的方式排列。在图2中示出LED单元16排列状态的例子。LED单元16不仅是一列而且也能够通过并列配置二列以上来使照射的外周部分的宽度増大。LED对透光性硬质基板的照射时间的控制可通过电源的0N/0FF进行。照射的光是预固定透光性硬质基板所必须的程度的照射量即可，利用使用了 365nm光接收器的积算照 度计进行測定，利用使用了 365nm光接收器的积算照度计进行測定，一般可以为I 500mJ/cm2,典型而言可以为50 450mJ/cm2，更典型而言可以为200 400mJ/cm2。作为照射时间，一般为I 120秒，典型而言为2 60秒左右。下侧载物台17保持下侧透光性硬质基板24，并且在加压时承受来自上侧载物台12的压力。下侧载物台17由紫外线透射性材料制成，作为材料，例如可举出石英玻璃、氟化镁、氟化钙、甲基丙烯酸系树脂等透明塑料。下侧载物台17可以通过下侧载物台移动机构18沿X轴方向、Y轴方向以及Θ轴方向移动。下侧载物台移动机构18由可以水平方向旋转的Θ工作台、可以水平移动的X工作台以及Y工作台构成。这些工作台通过电机驱动。在下侧载物台17的上表面设有可以沿X轴方向和Y轴方向移动的电机驱动的侧边夹19用于将载置的透光性硬质基板定位。作为侧边夹19的代替，也可以在下侧载物台17的上表面设置用于将透光性硬质基板载置到规定位置的定位制动器。这种情况下，利用制动器以手动方式将透光性硬质基板载置在固定透光性硬质基板的位置。另外，为了防止透光性硬质基板位置偏离，也可以与上侧载物台12同样地通过真空吸附来保持下侧的透光性硬质基板24。下侧基板用涂布单元20具备光固化性固定剂的分配器20a和与其连接的可以在X轴、Y轴以及Z轴方向移动的电机驱动的自动装置20b，能够以任意的图案在下侧透光性硬质基板24的上表面涂布固定剂。固定剂被装入注射器并自动地定量排出。涂布量通过数字压カ计和涂布速度来控制。在上侧透光性硬质基板25被保持在上侧载物台12的状态下，上侧基板用涂布单元21向上侧透光性硬质基板25的下表面自动地涂布光固化性固定剂。涂布量由压カ计和涂布时间控制。上侧基板用涂布单元21在上侧和下侧载物台的侧面具备带有可以在水平方向旋转的旋转轴的电机驱动的自动装置21b，在涂布时前端的旋转喷嘴21a被配置在上侧载物台12中央附近的下方，从喷嘴21a前端涂布固定剂。涂布完成时，被收纳在上侧和下侧载物台的侧面以使得不成为透光性硬质基板贴合的障碍。摄像单元22利用安装在臂前端部分上下2处的数码照相机22a对设在上侧透光性硬质基板25和下侧透光性硬质基板24各表面的位置对合用的对准标记进行拍摄。电气単元23基于拍摄到的图像信息来检测上侧透光性硬质基板25和下侧透光性硬质基板24相対的位置偏离状态。基于检测结果，利用下侧载物台移动机构18将下侧载物台17的位置在X轴方向、Y轴方向以及Θ轴方向微调整，实行修正位置偏离的动作。位置偏离修正后进行两透光性硬质基板的贴合。作为照相机，除了将CCD、CMOS用于摄像元件的数码照相机以外，也能够使用模拟相机，但从高分辨率的观点考虑，优选数码照相机。摄像单元22具备利用X轴、Y轴方向的电机驱动的移动机构22b，在摄像时数码照相机22a移动到对准标记进入视野的规定位置。摄像完成时，数码照相机22a移动以使得不成为透光性硬质基板贴合的障碍。对于使用第一例的透光性硬质基板贴合装置10的透光性硬质基板的贴合步骤，边參照图3 13边进行说明。首先，将第一块透光性硬质基板26载置在下侧载物台17上，利用侧边夹19 (未图示)固定在规定位置(图3)。透光性硬质基板26对下侧载物台17的载置能够通过手动 进行，但也可以将多个透光性硬质基板26收纳到专用的盒体中并自动地载置在下侧载物台17上。载置的透光性硬质基板26介由下侧载物台移动机构18 (未图示)移动到上侧载物台12的正下方(图4)。接着，通过加压单元13使上侧载物台12下降。由来自吸引孔15(未图示)的吸引力真空吸附透光性硬质基板26 (图5)。吸附好的透光性硬质基板26—边被保持一边与上侧载物台12 —起上升，等待第二块基板(图6)。接着，将第二块透光性硬质基板27载置到下侧载物台17上，利用侧边夹19(未图示)固定在规定位置上(图7)。以规定的图案从下侧基板用涂布单元20在第二块透光性硬质基板27的上表面涂布固定剂28 (图8)。如果涂布完成后载置在下侧载物台17的第二块透光性硬质基板27移动到上侧载物台12的正下方，则利用安装在摄像单元22臂前端的照相机拍摄对准标记，根据拍摄结果微调整下侧载物台17的位置，从而进行两透光性硬质基板(26、27)的位置调整(图9)。位置调整后，安装于上侧基板用涂布单元21臂前端的喷嘴21a移动到被保持在上侧载物台12的第一块基板26的中央附近，固定剂29由喷嘴21a涂布在第一块透光性硬质基板26的下表面(图10)。如果在上侧和下侧的透光性硬质基板(26，27)上涂布固定剂(28，29)后，通过加压単元13使上侧载物台12降下来对ニ块透光性硬质基板(26，27)加压并贴合，则被夹在上侧和下侧透光性硬质基板的固定剂(28，29)由于加压而扩展到透光性硬质基板整面。ー边维持加压状态，ー边由LED単元16对透光性硬质基板的外周部照射紫外线(图11)。由此仅位于外周部的固定剂31固化。内部固定剂30不固化保持流动性，但外周部的固定剂31固化，因此不会从两透光性硬质基板的间隙漏出。紫外线照射后解除对上侧基板26的吸附，仅上侧载物台12上升(图12)。贴合的透光性硬质基板由下侧载物台17运送，返回到初始的位置(图13)。通过以上エ序完成透光性硬质基板的贴合。图14是表示本发明的透光性硬质基板贴合装置的第二实施方式的模式图。在本实施方式中，LED単元16沿着下侧透光性硬质基板24的外周排列在下侧载物台17的上表面，向上方照射紫外线。图15是表示本发明的透光性硬质基板贴合装置的第三实施方式的模式图。LED单元16以包围贴合的两透光性硬质基板外周侧面的方式排列，向外周侧面照射紫外线。LED単元16具有Z轴方向的移动机构，可以根据贴合面的高度移动到最适的高度。实施例作为一例，依照本发明，使用图I中记载的透光性硬质基板贴合装置在下述条件下实施工序(I) (6)来制造预固定透光性硬质基板层叠体,结果能够检查层叠精度,不良情况发生时的修补变得容易。在制造预固定透光性硬质基板层叠体后，在下述条件下进ー步实施工序(7) (8)来制造主固定透光性硬质基板层叠体,接着,实施工序(9) (10)的加工。依照エ序(11)剥离得到的透光性硬质基板层叠体，结果固定剂软化成膜状而很好地分离为各板状制品。使用下述玻璃板作为透光性硬质基板。玻璃板使用I块尺寸为横530mmX纵420mmX厚O. 7mm的带有镀覆图案的玻璃板。对于固定剂(I),混合下述的(A) (E)成分制成光固化性固定剂(I)。作为(A)多官能(甲基)丙烯酸酷，日本合成公司制“UV-3000B”(氨基甲酸酯丙烯酸 酷，以下简称为“UV-3000B”)20质量份、ニ环戊基ニ丙烯酸酯(日本化药公司制的“KAYARADR-684",以下简称为“R-684”)15质量份，作为(B)单官能(甲基)丙烯酸酷，2- (I, 2-环己ニ甲酰亚胺)こ基丙烯酸酯(东亚合成公司制的“ARONIX M-140”，以下简称为“M-140”)50质量份、苯酚环氧こ烷2摩尔改性丙烯酸酯(东亚合成公司制的“ARONIX M-101A”)15质量份，作为(C)光聚合引发剂，安息香ニ甲醚(BASF公司制的“IRGA⑶RE651”，以下简称为“BDK”)8质量份，作为(D)粒状物质，平均粒径为100 μ m的球状交联聚苯こ烯粒子(GANZ化成公司制的“GS-100S”) I质量份，作为(E)阻聚剂，2，2_亚甲基-双(4-甲基-6_叔丁基苯酚)(住友化学公司制“SUMILIZER MDP-S”，以下简称为 “MDP”)O. I 质量份在エ序(3)中，在玻璃板的两贴合面各涂布40g固定剂(I)。在エ序(5)中，贴合时的压カ为20g/cm2，用LED单元16照射的外周部分为12mm左右的宽度。在エ序(6)中，由LED单元16照射的外周部分为12mm左右的宽度，使上述光固化性粘接剂固化吋，UV照射量为300mJ/cm2 (利用了 365nm光接收器的积算照度计的測定)，UV照射时间为30秒钟，进行预固定。在エ序(7)中，施加的压カ为20g/cm2，光的照射量通过使用了 365nm光接收器的积算照度计进行測定，为2000mJ/cm2，照射时间为20秒钟，进行主固定。在エ序(8)中，使用固定剂(I)并使用本发明的方法制造由12块玻璃板形成的玻璃板层叠体。在エ序(9)中，使用圆板切割器(钻石盘)，分割成长方体形状(横100_X纵55mmX厚9. 6mm)。在エ序(10)中，依次进行利用旋转磨刀石的磨削、利用超声波震动钻的开孔、利用旋转刷子的端面加工，进行形状加工。在エ序(11)中，将该玻璃板层叠体浸溃在85 °C的温水中剥离。以上，边參照附图边对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限定于这些实施方式，可以进行各种变更。符号说明
权利要求
1.一种透光性硬质基板层叠体的制造方法，包括 1)准备第一透光性硬质基板的エ序， 2)准备第二透光性硬质基板的エ序， 3)在第一透光性硬质基板的第一面和/或第二透光性硬质基板的第一面上涂布光固化性固定剂的エ序， 4)以预先规定的面方向位置关系使第一透光性硬质基板的第一面与第二透光性硬质基板的第一面按照两面平行的方式对置的エ序， 5)ー边维持所述位置关系，一边对第一透光性硬质基板的第一面和第二透光性硬质基板的第一面施加规定的压カ来贴合两透光性硬质基板的エ序， 6)在維持所述压カ的状态下，照射用于仅将被两透光性硬质基板夹持而扩展的固定剂的外周部分固化的光，形成预固定透光性硬质基板层叠体的エ序， 7)主照射エ序，即照射用于使存在于所述预固定透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成主固定透光性硬质基板层叠体， 8)将所述主固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序O 7)，形成至少贴合有3块透光性硬质基板的主固定透光性硬质基板层叠体的エ序。
2.一种透光性硬质基板层叠体的制造方法，包括 1)准备第一透光性硬质基板的エ序， 2)准备第二透光性硬质基板的エ序， 3)在第一透光性硬质基板的第一面和/或第二透光性硬质基板的第一面上涂布光固化性固定剂的エ序， 4)以预先规定的面方向位置关系使第一透光性硬质基板的第一面与第二透光性硬质基板的第一面按照两面平行的方式对置的エ序， 5)ー边维持所述位置关系，一边对第一透光性硬质基板的第一面和第二透光性硬质基板的第一面施加规定的压カ来贴合两透光性硬质基板的エ序， 6)在維持所述压カ的状态下，照射用于仅将被两透光性硬质基板夹持而扩展的固定剂的外周部分固化的光，形成预固定透光性硬质基板层叠体的エ序， V )将所述预固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 6)，形成至少贴合有3块透光性硬质基板的预固定透光性硬质基板层叠体的エ序， 8’)主照射エ序，即照射用于使存在于エ序V )所得到的预固定透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成主固定透光性硬质基板层叠体。
3.根据权利要求2所述的透光性硬质基板层叠体的制造方法，其中，进ー步包括 8”)将エ序8’)所得到的主固定透光性硬质基板层叠体当作第一透光性硬质基板，至少重复I次エ序I) 6)，形成复合透光性硬质基板层叠体的エ序，和 8”’ )主照射エ序，即照射用于使存在于エ序8”)所得到的复合透光性硬质基板层叠体内部的未固化的固定剂固化的光，形成増加了层叠块数的主固定透光性硬质基板层叠体。
4.根据权利要求I 3中任一项所述的透光性硬质基板层叠体的制造方法，其中，所述外周部分存在于没有形成板状制品一部分的边缘区域。
5.根据权利要求I 4中任一项所述的透光性硬质基板层叠体的制造方法，其中，主照射エ序是边对已贴合的透光性硬质基板面施加规定的压カ边进行的。
6.根据权利要求I 5中任一项所述的透光性硬质基板层叠体的制造方法，其中，使分散存在于未固化固定剂中的气泡移动到不受形状加工的位置后实施主照射エ序。
7.根据权利要求I 6中任一项所述的透光性硬质基板层叠体的制造方法，其中，在各透光性硬质基板的表面附有用于位置对合的标记，エ序4)包括边利用摄像装置对其摄像边进行位置调整。
8.根据权利要求I 7中任一项所述的透光性硬质基板层叠体的制造方法，其中，在各透光性硬质基板的表面附有用于发挥板状制品的一个功能的规定印刷图案和/或镀覆图案。
9.根据权利要求I 8中任一项所述的透光性硬质基板层叠体的制造方法，其中，所述固定剂含有粒状物质。
10.根据权利要求I 9中任一项所述的透光性硬质基板层叠体的制造方法，其中，エ序6)中的光照射量通过使用了 365nm光接收器的积算照度计进行測定，为lmj/cm2 500mJ/cm2 的范围。
11.根据权利要求I 10中任一项所述的透光性硬质基板层叠体的制造方法，其中，透光性硬质基板是玻璃板。
12.一种板状制品的制造方法，包括 9)将采用权利要求I 11中任一项所述的方法得到的透光性硬质基板层叠体在厚度方向进行分割，形成分割成所需数量的透光性硬质基板层叠体的エ序， 10)分别对被分割的透光性硬质基板层叠体进行所需的形状加工的エ序， 11)通过对形状加工后的透光性硬质基板层叠体进行加热来剥离被贴合的透光性硬质基板彼此，形成多个板状制品的エ序。
13.根据权利要求12所述的板状制品的制造方法，其中，在エ序9)和エ序10)之间进一歩包括以下エ序在为了使被各透光性硬质基板夹持的固定剂外缘的露出部分的粘合力降低所必须的温度和时间条件下，使被分割的透光性硬质基板层叠体与剥离剂接触。
14.根据权利要求13所述的板状制品的制造方法，其中，剥离剂含有选自溶剂、氧化齐U、以及表面活性剂中的ー种或者ニ种以上。
15.根据权利要求13所述的板状制品的制造方法，其中，剥离剂含有选自水、醇类、氧化剂、以及表面活性剂中的ー种或者ニ种以上。
16.根据权利要求15所述的板状制品的制造方法，其中，剥离剂以30 50:30 50:5 20的质量比含有水、醇类和表面活性剤。
17.根据权利要求13 16中任一项所述的板状制品的制造方法，其中，剥离剂含有苄醇。
18.根据权利要求13 17中任一项所述的板状制品的制造方法，其中，剥离剂含有阴离子系表面活性剤。
19.根据权利要求18所述的板状制品的制造方法，其中，剥离剂含有磺酸型表面活性齐 。
20.根据权利要求13 19中任一项所述的板状制品的制造方法，其中，剥离剂的液温为20°C 40°C，与剥离剂接触的时间为I 20分钟。
21.一种透光性硬质基板贴合装置，具备上侧载物台，用于保持上侧的透光性硬质基板，具有用于真空吸附上侧的透光性硬质基板的吸引孔， 加压单元，能够使上侧载物台沿Z轴方向移动， 吸引単元，对所述吸引孔提供吸引力， 下侧载物台，用于保持下侧的透光性硬质基板， 使下侧载物台沿X轴方向、Y轴方向以及Θ轴方向移动的机构， 用于在上侧透光性硬质基板的下表面和下侧透光性硬质基板的上表面中的任一表面或者两表面涂布光固化性固定剂的机构，以及 光照射部，排列在能够向两透光性硬质基板贴合面的外周部分照射光的位置。
22.根据权利要求21所述的透光性硬质基板贴合装置，其中，光照射部在上侧载物台的下表面沿着被保持的透光性硬质基板的外周排列，井向下方照射光。
23.根据权利要求21所述的透光性硬质基板贴合装置，其中，光照射部在下侧载物台的上表面沿着被保持的透光性硬质基板的外周排列，井向上方照射光。
24.根据权利要求21所述的透光性硬质基板贴合装置，其中，光照射部以包围被贴合的两透光性硬质基板的外周侧面的方式排列，井向外周侧面照射光。
25.根据权利要求21 24中任一项所述的透光性硬质基板贴合装置，其中，进ー步具备对设在上侧和下侧的透光性硬质基板表面的对准标记进行拍摄的摄像单元，基于摄像结果检测设在上侧和下侧表面的对准标记偏离位置的程度的图像处理单元，和基于检测到的位置偏离程度控制所述下侧载物台移动机构的控制单元。
26.根据权利要求21 25中任一项所述的透光性硬质基板贴合装置，其中，光照射部所照射光的所述外周部分是没有形成板状制品的一部分的边缘区域。
27.根据权利要求21 26中任一项所述的透光性硬质基板贴合装置，其中，保持在上侧载物台和/或下侧载物台的透光性硬质基板是2块以上的透光性硬质基板的层叠体。
28.根据权利要求21 27中任一项所述的透光性硬质基板贴合装置，其中，用于涂布固定剂的机构涂布含有粒状物质的固定剂。
29.根据权利要求21 28中任一项所述的透光性硬质基板贴合装置，其中，透光性硬质基板是玻璃板。
全文摘要
本发明提供能够提高生产效率并且实现位置精度的提高的透光性硬质基板层叠体的制造方法。另外，还提供有助于提高板状制品的生产效率并且提高位置精度的透光性硬质基板贴合装置。在本发明的透光性硬质基板层叠体的制造方法和透光性硬质基板贴合装置中，在以规定的位置关系夹设光固化性固定剂来使透光性硬质基板彼此贴合时，仅使存在于两透光性硬质基板外周部分的固定剂固化以使得预固定。
文档编号C03C27/12GK102725241SQ20118000667
公开日2012年10月10日 申请日期2011年1月13日 优先权日2010年1月21日
发明者中岛刚介, 宫崎隼人, 栗村启之 申请人:电气化学工业株式会社