Led蓝宝石片固定装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种LED蓝宝石片固定装置，包括相互固定连接的吸盘座和吸盘，吸盘上设有用于装载物件的凸台，吸盘座上设有用于连接真空装置的抽气孔，凸台上设有与抽气孔相通的吸气孔，物件置于所述凸台上时覆盖所述吸气孔。吸盘座上与吸盘连接处设有与吸气孔相通的底板气槽，凸台背面设有与吸气孔和底盘气槽相通的凸台气槽。该固定装置主要用于加工LED蓝宝石衬底，使用时抽气孔与真空发生装置连接，利用真空吸物的原理将待加工物件紧紧吸附并固定于凸台上，便于研磨加工；相对于现有技术来说，省去了繁琐的工艺，结构简单，操作方便，加工后产品的精度更高，降低了次品率，提高了工作效率，降低了成本。
【专利说明】LED蓝宝石片固定装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种物件加工装置，尤其涉及LED蓝宝石片固定装置。
【背景技术】
[0002]对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底，需要根据设备和LED器件的要求进行选择。市面上一般有三种材料可作为衬底:蓝宝石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC)。
[0003]蓝宝石衬底有许多优点:首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生厂过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。
[0004]以往蓝宝石研磨抛光采用的固定装置是粘贴板，固定方式是把蓝宝石粘贴在粘贴板上再进行加工。操作过程:把一块平面度与平行度为2um以内的陶瓷粘贴板加温到105度左右一再在粘贴板上涂蜡一将蓝宝石片粘贴在已涂蜡的陶瓷粘贴板上一把粘贴板和蓝宝石一起移到压片机上进行加压冷却(加压的目的是为了排挤陶瓷板与蓝宝石之间的蜡)一再移到研磨机上进行研磨抛光一再移到温控炉上加温至105度一再将蓝宝石从黏贴板上取下一再放入超声波清洗机里面进行除蜡，整个操作过程完毕。由此可见以上操作过程工序繁琐，效率很低，耗材成本闻。关键是在粘贴后，由于有粘贴腊存在于监宝石片和陶瓷粘贴板之间即使通过加压的方式也很难完全挤出，导致蓝宝石平行度与翘曲度超出公差范围。
实用新型内容
[0005]针对【背景技术】中存在的缺陷，本实用新型提供LED蓝宝石片固定装置，该装置主要用于蓝宝石等材料的研磨抛光，也可以运用于其他材料的研磨抛光，本实用新型是这样实现的:
[0006]LED蓝宝石片固定装置，包括相互固定连接的吸盘座和吸盘，所述吸盘上设有用于装载物件的凸台，所述吸盘座上设有用于连接真空发生装置的抽气孔，所述凸台上设有与所述抽气孔相通的吸气孔，物件置于所述凸台上时覆盖所述吸气孔。
[0007]该固定装置在使用时，所述抽气孔与真空发生装置连接，以加工LED蓝宝石衬底为例，将待加工的蓝宝石片需要研磨的一面朝上，另一面覆盖所述凸台上的吸气孔，然后开启真空发生装置，使吸气孔内形成负压，达到接近真空状态，从而将蓝宝石片紧紧地吸附在凸台上，然后放至研磨机上进行研磨作业，研磨完成后断开真空发生装置即可取下蓝宝石。以上，本实用新型提供了区别于现有技术的一种全新的方案，避免了现有技术中由于有粘贴蜡存在于蓝宝石片和陶瓷粘贴板之间(即使通过加压的方式也很难完全挤出)导致蓝宝石平行度与翘曲度超出公差范围的缺陷。采用本实用新型加工蓝宝石衬底工序简单，省去了现有技术中繁琐的工序，加工后产品精度更高，节省了成本和时间。
[0008]具体地，所述吸盘座上与所述吸盘连接处设有与所述吸气孔相通的底板气槽，所述凸台背面设有与所述吸气孔和底盘气槽相通的凸台气槽。所述吸盘座和所述吸盘相互固定后，所述底盘气槽和所述凸台气槽封闭，在所述固定装置内部形成气槽腔。
[0009]具体地，所述底板气槽包括呈圆形的圆周槽和呈“十”字形的十字槽，所述抽气孔位于所述十字槽中心，所述十字槽位于所述圆周槽内侧且与所述圆周槽连通，所述圆周槽与所述凸台背面的凸台气槽连通。
[0010]具体地，所述吸盘呈圆盘状；所述凸台为多个，且以所述吸盘圆心为中心呈圆形阵列于所述吸盘上。这样，一个吸盘上可放置多个工件，提高工作效率。
[0011]具体地，所述凸台呈圆柱状；所述吸气孔为多个，且以所述凸台为圆心呈圆形阵列于所述凸台上。
[0012]具体地，所述吸气孔的孔径大于0.0Omm且小于0.80mm。
[0013]具体地，所述凸台的平面度小于0.002mm。
[0014]具体地，所述吸盘座和所述吸盘通过多个螺丝固定，各个螺丝以吸盘圆心为中心圆形阵列于各所述凸台周围。
[0015]具体地，所述吸盘座与所述吸盘的材料为6061铝合金。
[0016]有益效果:本实用新型提供的固定装置，通过连接真空装置，利用真空吸物的原理将待加工物件紧紧固定于凸台上，便于研磨加工；相对于现有技术来说，省去了繁琐的工艺，结构简单，操作方便，加工后产品的精度更高，降低了次品率，提高了工作效率，降低了成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1所示为本实用新型提供的LED
[0018]图2所示为本实用新型提供的LED
[0019]图3所示为本实用新型提供的LED
[0020]图4所示为本实用新型提供的LED
蓝宝石片固定装置的立体图；
蓝宝石片固定装置的结构示意图；
蓝宝石片固定装置另一角度结构示意图；蓝宝石片固定装置上的凸台结构示意图。
【具体实施方式】
[0021]为了使本实用新型的目的，技术方案和优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步详细说明。
[0022]参见图1至图4，本实用新型提供一种LED蓝宝石片固定装置I，包括相互固定连接的吸盘座11和吸盘12，所述吸盘12上设有用于装载物件的凸台13，所述吸盘座11上设有用于连接真空发生装置的抽气孔14，所述凸台13上设有与所述抽气孔14相通的吸气孔15，物件置于所述凸台13上时覆盖所述吸气孔14。所述吸盘座11和吸盘12均呈圆盘状；所述凸台13为多个，本实施例中凸台为十二个且以所述吸盘12圆心为中心呈圆形阵列于所述吸盘12上。这样，一个吸盘12上可放置多个工件以提高工作效率。所述凸台13呈圆柱状；所述吸气孔15为多个，本实施例中每个凸台13上设有二十个吸气孔15，分布于所述凸台13边缘附近，且以所述凸台13为圆心呈圆形阵列于所述凸台13上。
[0023]具体地,所述吸盘座11上与所述吸盘12连接处设有与所述吸气孔15相通的底板气槽，所述底板气槽包括呈圆形的圆周槽16和呈“十”字形的十字槽17，所述凸台13背面设有与所述圆周槽16和吸气孔15相通的凸台气槽18。[0024]所述吸气孔13位于所述十字槽17中心，所述十字槽17位于所述圆周槽16内侧且与所述圆周槽16连通，所述圆周槽16与所述凸台背面的凸台气槽18连通。
[0025]该固定装置I在使用时，所述抽气孔14与真空发生装置连接，所述真空发生装置可以为真空泵或抽气机，以加工LED蓝宝石衬底为例，将待加工的蓝宝石片需要研磨的一面朝上，另一面覆盖所述凸台13上的吸气孔15，然后开启真空发生装置，使吸气孔内形成负压，达到接近真空状态，从而将蓝宝石片紧紧地吸附在凸台13上，然后放至研磨机上进行研磨作业，研磨完成后断开真空发生装置即可取下蓝宝石。以上，本实用新型提供了区别于现有技术的一种全新的方案，避免了现有技术中由于有粘贴蜡存在于蓝宝石和陶瓷粘贴板之间(即使通过加压的方式也很难完全挤出)导致蓝宝石平行度与翘曲度超出公差范围的缺陷。本实用新型省去了现有技术中繁琐的工序，加工后产品精度更高，节省了成本和时间。
[0026]由于LED蓝宝石加工精度要求相当高，而且很薄，一般只有0.1mm的厚度，如果吸气口孔径太大，吸气口孔位置的蓝宝石片会被吸变形，导致释放真空之后研磨面不平。因此，所述吸气孔15的孔径优选为大于0.0Omm且小于0.80mm。
[0027]由于蓝宝石片要求研磨抛光后平面度和平行度都在0.003mm以内，要达到这个要求，需保证用于承载蓝宝石片的凸台13 —定要比蓝宝石片的平面度更高，因此，优选所述凸台13的平面度小于0.002_，大于该数值会导致蓝宝石片平面度误差更大。
[0028]所述吸盘座11底部设有定位销孔19，先用定位销进行定位后再用螺丝(图中示出了用于安装螺丝的螺丝孔20)固定。由于蓝宝石片在吸附加工前的平面度就已经在
0.003mm范围以内，再加上LED蓝宝石研磨的过程中需要研磨液进行研磨，研磨液也有一定的粘稠度，可以增加密封性，基于以上条件完全可以达到机械密封的效果。在生产实践中，本身蓝宝石放在吸盘上研磨也允许有少量的气体泄露，当蓝宝石吸住后，把其它所有部位的气阀关闭，保持10分钟后，吸气孔内的负压值的变化只有8-10%，因此，只需要用螺丝将吸盘座11和吸盘12进行固定即可，装配简单且降低成本。
[0029]如图1至图3所示，每两个相邻凸台之间都设有两个螺丝，使得每个凸台的四角均设有螺丝，各个螺丝以吸盘12圆心为中心等角度圆形阵列分布。这样不仅使得吸盘座11与吸盘12的连接更加紧固，而且使得每个凸台13的气密性更好，受力更均匀。
[0030]为便于搬运所述固定装置1，所述吸盘座11底部边缘设有倒角R(或倒圆角)，使得搬运时便于手指抓握。
[0031]具体地，所述吸盘座11与所述吸盘12的材料优选为6061铝合金。6061铝合金属于机构性铝材，性能比较稳定；在铝合金表面进行阳极处理之后表面可以得到相当高的硬度，这样耐磨损性非常好；铝合金重量轻，因为在使用的过程中经常会要搬动，由于重量及其它原因本实用新型最终优选6061铝合金材料。
[0032]本实用新型提供的固定装置，通过连接真空装置，利用真空吸物的原理将待加工物件紧紧固定于凸台上，便于研磨加工；相对于现有技术来说，省去了繁琐的工艺，结构简单，操作方便，加工后产品的精度更高，降低了次品率，提高了工作效率，降低了成本。
[0033]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限定本实用新型，本领域技术人员在阅读本实用新型后仍可以做出若干推演，凡在本实用新型精神和原则内所做的任何改进、等同替换等，均应包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.LED蓝宝石片固定装置，其特征在于:包括相互固定连接的吸盘座和吸盘，所述吸盘上设有用于装载物件的凸台，所述吸盘座上设有用于连接真空发生装置的抽气孔，所述凸台上设有与所述抽气孔相通的吸气孔。
2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于:所述吸盘座上与所述吸盘连接处设有与所述吸气孔相通的底板气槽，所述凸台背面设有与所述吸气孔和底盘气槽相通的凸台气槽。
3.根据权利要求2所述的固定装置，其特征在于:所述底板气槽包括呈圆形的圆周槽和呈“十”字形的十字槽，所述抽气孔位于所十字槽中心，所述十字槽位于所述圆周槽内侧且与所述圆周槽连通，所述圆周槽与所述凸台背面的凸台气槽连通。
4.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于:所述吸盘呈圆盘状；所述凸台为多个，且以所述吸盘圆心为中心呈圆形阵列于所述吸盘上。
5.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于:所述凸台呈圆柱状；所述吸气孔为多个，且以所述凸台为圆心呈圆形阵列于所述凸台上。
6.根据权利要求2所述的固定装置，其特征在于:所述吸气孔的孔径大于0.0Omm且小于 0.80mm。
7.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于:所述凸台的平面度小于0.002_。
8.根据权利要求4所述的固定装置，其特征在于:所述吸盘座和所述吸盘通过多个螺丝固定，各个螺丝以吸盘圆心为中心呈圆形阵列于各所述凸台周围。
9.根据权利要求8所述的固定装置，其特征在于:所述吸盘座底部边缘设有倒角或倒圆角。
10.根据权利要求1至9任一项所述的固定装置，其特征在于:所述吸盘座与所述吸盘的材料为6061铝合金。
【文档编号】B28D7/04GK203449488SQ201320560398
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年9月4日 优先权日:2013年9月4日
【发明者】刘洁霞 申请人:刘洁霞