一种用于硅片切割的防护装置的制作方法

文档序号:15225126发布日期:2018-08-21 18:03阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于硅片切割的防护装置,包括支撑板(1),其特征在于,所述支撑板(1)的顶端连接有框架(2),框架(2)的顶端内壁连接有气缸(3),气缸(3)的底端连接有固定板(5),固定板(5)的底端开设有矩形凹槽(6),矩形凹槽(6)的一侧侧壁连接有旋转电机(7),旋转电机(7)的输出端连接有转轴(8),转轴(8)远离旋转电机(7)的一端垂直焊接有防护罩(9),防护罩(9)的两侧外壁垂直焊接有固定箱(10),固定箱(10)的内部连接有风机(11),风机(11)的一侧连接有防尘网(12),防尘网(12)远离风机(11)的一侧设置有推板(18),推板(18)的侧壁连接有毛刷(19),推板(18)的顶端安装有与固定箱(10)顶端内壁连接有伸缩杆(20),固定箱(10)的底端开设有通道,通道的一侧转动连接有转板(13),固定箱(10)的底端连接有回收箱(14),转板(13)的底端安装有与回收箱(14)一侧内壁连接的弹簧(15),防护罩(9)的两侧内壁沿其长度方向开设有多个矩形通道(16),矩形通道(16)内部连接有第一吸气管(17),第一吸气管(17)的两端延伸至矩形通道(16)外部分别连接有第二吸气管(21)和第三吸气管(22),第二吸气管(21)位于防护罩(9)内部,第三吸气管(22)位于固定箱(10)内部,支撑板(1)的顶端设置有切割装置本体(23)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的防护装置,其特征在于,所述伸缩杆(20)由罩筒、推杆电机和连杆组成,所述罩筒的底部焊接有推杆电机,推杆电机的输出端连接有连杆,连杆与罩筒滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的防护装置,其特征在于,所述防护罩(9)的一侧侧壁开设有通道,通道内部连接有透明观察窗(4)。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的防护装置,其特征在于,所述第二吸气管(21)与第三吸气管(22)平行设置,且第二吸气管(21)和第三吸气管(22)分别与第一吸气管(17)内部连通。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的防护装置,其特征在于,所述固定箱(10)的内腔设有用于供电的蓄电池,且固定箱(10)的外端设有与蓄电池电性连接的充电接口。

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