技术特征:
技术总结
本发明公布了一种制备生长氮化铝单晶所用碳化钽坩埚及制备新方法,包括:高纯碳化钽粉、粘结剂、包套模具、液体压力介质、密闭高压容器、坩埚、车床及高温加热炉;将高纯碳化钽粉与粘结剂混合均匀后烘干,装入包套模具材料中;再装入倒满液体压力介质的密闭高压容器中进行高压压制成碳化钽坩埚模型;放入坩埚内,再放在高温加热炉里进行高温烧结;利用车床对其进行车削加工,得到合适大小的碳化钽坩埚;再经过高温加热炉高温定型,得到生长氮化铝单晶所用的碳化钽坩埚。本发明能够延长碳化钽坩埚使用寿命,提升其生长氮化铝单晶的晶体质量,增加单晶可用面积;且方法简单,可实现低成本氮化铝单晶的制备。
技术研发人员:吴洁君;朱星宇;赵起悦;李孟达;韩彤;于彤军;张国义
受保护的技术使用者:北京大学
技术研发日:2018.09.18
技术公布日:2019.01.04