专利名称：散光器装卸工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种散光器装卸工具。
背景技术：
扫描式光刻机(Scanner)是早期投影式光刻机的一种，曾经消失过一段时间，后来和步进式光刻机(St印per)融合称为新的光刻机，其极限分辨率28nm。荷兰艾司摩尔(ASML)公司致力于大规模集成电路制造设备的研究和制造。根据摩尔定律不断为提高单位面积集成度作贡献。2007年已经能够提供制造37nm线宽集成电路的光刻机(Scanner)。散光器设置于荷兰艾司摩尔(ASML)公司制造的光刻机中，由于散光器的老化、光强衰减的问题，需要经常更换，然而散光器所处的空间非常狭小，所述散光器为圆柱形结构，所述散光器的一个端面与光路系统连接，另一个端面正对光学镜头，但是与光学镜头之·间的空间很小，不利于拆卸，在拆卸的过程中也会有刮伤和粉尘掉落的风险。在现有技术中，通过将L型扳手的一端插入散光器的装卸孔中，推动L型扳手使得散光器沿其自身的中心旋转，从而将散光器拆卸下来，同时，也可依靠L型扳手使得散光器反向旋转对散光器进行安装。在装卸过程中，在光学镜头与散光器之间设置白布对光学镜头进行保护。然而，使用L型扳手进行操作并不易操作，而且其操作依然会对光学镜头有损伤的风险
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够方便、安全地旋转装卸散光器的工具。为了解决这一技术问题，本实用新型提供了一种散光器装卸工具，用于拆卸散光器，所述散光器的设有若干拆卸孔，所述散光器装卸工具包括一个本体，所述本体上设有用于容置所述散光器的圆形槽，所述圆形槽的槽底对应设有若干与所述若干装卸孔的相匹配的凸起部。优选的,所述本体为一端开口的圆桶结构。优选的，所述凸起部为圆柱形结构，所述凸起部的一端与所述圆形槽的槽底连接。优选的，所述凸起部的长度小于所述圆形槽的深度。优选的，所述凸起部环绕着所述圆形槽的圆心均匀分布。优选的，所述凸起部的数量为4个。优选的，所述散光器装卸工具还包括手棒，所述手棒垂直于所述本体的外侧表面。优选的，所述手棒的数量是两个以上，所述手棒均匀分布于所述本体的外侧表面。优选的，所述手棒的数量为4个。本实用新型通过与所述散光器外形匹配的圆形槽的设置，保证了装卸过程中的尘埃掉落进所述散光器装卸工具中，而不致于污染光学镜头，同时，在圆形槽中设置与装卸孔匹配的凸起部， 通过将凸起部插入装卸孔中，使得所述散光器装卸工具的旋转与所述散光器的旋转同步，进而通过旋转散光器装卸工具旋转散光器，最终完成散光器的装卸，提供一种能够方便、安全地旋转装卸散光器的工具。
图I是本实用新型一实施例的散光器的俯视结构示意图；图2是本实用新型一实施例的散光器装卸工具的结构示意图；图中，101—通孔；102—装卸孔；200—本体；201—圆形槽；202—凸起部；203—手棒。
具体实施方式
以下将对本实用新型的晶圆定位装置作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参考图I和图2，本实用新型提供了一种散光器装卸工具。在本实施例中，所述散光器为圆柱形结构，其轴心设有通孔101，所述通孔101中设有镜片，所述散光器包括环绕其端面的外周且垂直于其端面设置的侧壁，所述侧壁的内侧设有与光路系统中的外螺纹匹配安装使用的内螺纹，所述散光器设有若干装卸孔102，所述装卸孔102环绕所述通孔101设置，其数量为8个，本实施例提供的散光器装卸工具包括一个本体200，所述本体200上设有用于容置所述散光器的圆形槽201，所述圆形槽201的槽底对应设有若干与所述若干装卸孔102的相匹配的凸起部202。所述圆形槽201的直径与所述散光器的直径匹配。本实施例通过与所述散光器外形匹配的圆形槽201的设置，保证了装卸过程中的尘埃掉落进所述散光器装卸工具中，而不致于污染光学镜头，同时，在圆形槽201中设置与装卸孔102匹配的凸起部202，通过将凸起部202插入装卸孔102中，使得所述散光器装卸工具的旋转与所述散光器的旋转同步，进而通过旋转散光器装卸工具旋转散光器，最终完成散光器的装卸，提供一种能够方便、安全地旋转装卸散光器的工具。请参考图2，在本实施例中，所述本体200为圆桶结构，即在为圆柱形结构的端面去除所述圆形槽201的空间得到。圆桶结构与圆形槽201的形状匹配，从而能保证所述本体200受力均匀，保证装置的稳固性、延长其使用寿命。本实用新型提供的散光器装卸工具的本体200也可为其他形状结构，而并非局限于本实施例提出的圆桶结构，只需保证圆形槽201的正常工作即可。在本实施例中，所述凸起部202为圆柱形结构，所述凸起部202的一端与所述圆形槽201的槽底连接，所述凸起部202的直径与所述装卸孔102的直径匹配。凸起部202的作用在于能够用于插入所述装卸孔102中，从而将所述散光器装卸工具的转动传递到散光器中，进而完成装卸，圆柱形结构受力效果更佳，而且与装卸孔102的形状也匹配。所述凸起部202的长度小于所述圆形槽201的深度。以便于更妥当地安置本实施例提供的散光器装卸工具，而不会因凸起部202过多突出而导致不必要的磨损。在本实施例中，所述凸起部202环绕着所述圆形槽201的圆心均匀分布。所述凸起部的数量为4个。所述装卸孔102的数量为8个，本实施例中的凸起部202使用了其中的4个，分别与8个装卸孔102中的四个对应，其数量也可为小于8大于2的任意整数。 所述散光器装卸工具还包括手棒203，所述手棒203垂直于所述本体200的外侧表面。在本实施例中，所述手棒203垂直设置于圆桶结构的外侧面的表面，所述手棒203与所述本体200固定连接。手棒203的作用主要供操作人员通过推动手棒实现散光器装卸工具的转动，该设置主要是为了解决在沿所述散光器装卸工具轴向的操作空间有限的问题，所以使用手棒203进行操作可以合理利用沿所述散光器装卸工具径向的空间，同时，如果不使用手棒203进行操作，而仅仅使用手旋转散光器装卸工具，一方面操作较为困难，另一方面，也有污染光学镜头的风险。所述手棒203的数量是两个以上，所述手棒203均匀分布于所述本体200的外侧表面。所述手棒203的数量为4个。在使用本实施例的散光器装卸工具对散光器进行装卸时，将所述凸起部202插入对应的装卸孔102中，将所述散光器安置入所述圆形槽201中，推动手棒203使得本体200随之旋转，进而带动所述散光器进行旋转，从而通过所述散光器的内螺纹完成拆卸。综上所述，本实用新型通过与所述散光器外形匹配的圆形槽的设置，保证了装卸过程中的尘埃掉落进所述散光器装卸工具中，而不致于污染光学镜头，同时，在圆形槽中设置与装卸孔匹配的凸起部，通过将凸起部插入装卸孔中，使得所述散光器装卸工具的旋转与所述散光器的旋转同步，进而通过旋转散光器装卸工具旋转散光器，最终完成散光器的装卸，提供一种能够方便、安全地旋转装卸散光器的工具。
权利要求1.一种散光器装卸工具，用于拆卸散光器，所述散光器设有若干拆卸孔，其特征在于所述散光器装卸工具包括一个本体，所述本体上设有用于容置所述散光器的圆形槽，所述圆形槽的槽底对应设有若干与所述若干装卸孔的相匹配的凸起部。
2.如权利要求I所述的散光器装卸工具，其特征在于所述本体为一端开口的圆桶结构。
3.如权利要求I所述的散光器装卸工具，其特征在于所述凸起部为圆柱形结构，所述凸起部的一端与所述圆形槽的槽底连接。
4.如权利要求3所述的散光器装卸工具，其特征在于所述凸起部的长度小于所述圆形槽的深度。
5.如权利要求I所述的散光器装卸工具，其特征在于所述凸起部环绕着所述圆形槽的圆心均匀分布。
6.如权利要求5所述的散光器装卸工具，其特征在于所述凸起部的数量为4个。
7.如权利要求I所述的散光器装卸工具，其特征在于还包括手棒，所述手棒垂直设置于所述本体的外侧表面。
8.如权利要求7所述的散光器装卸工具，其特征在于所述手棒的数量是两个以上，所述手棒均勻分布于所述本体的外侧表面。
9.如权利要求8所述的散光器装卸工具，其特征在于所述手棒的数量为4个。
专利摘要本实用新型提供了一种散光器装卸工具，用于拆卸散光器，所述散光器的一个端面设有若干拆卸孔，所述散光器装卸工具包括一个本体，所述本体上设有用于容置所述散光器的圆形槽，所述圆形槽的槽底对应设有若干与所述若干装卸孔的相匹配的凸起部。本实用新型通过与所述散光器外形匹配的圆形槽的设置，保证了装卸过程中的尘埃掉落进所述散光器装卸工具中，而不致于污染光学镜头，同时，在圆形槽中设置与装卸孔匹配的凸起部，通过将凸起部插入装卸孔中，使得所述散光器装卸工具的旋转与所述散光器的旋转同步，进而通过旋转散光器装卸工具旋转散光器，最终完成散光器的装卸。
文档编号B25B27/14GK202781040SQ20122052054
公开日2013年3月13日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者吴筱峰, 范春辉 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司