技术特征：
技术总结
本发明提供了一种拆卸静电卡盘的装置，涉及半导体技术领域，用于提高拆卸静电卡盘的效率。该装置包括多组杠杆结构、施力构件和基架，每组杠杆结构包括杠杆和提升件；其中，所述杠杆的施力端与所述施力构件铰接，所述杠杆的输力端与所述提升件连接，且所述提升件在拆卸静电卡盘时安装在所述静电卡盘上；所述施力构件用于向各杠杆的输力端施加作用力；所述基架在拆卸静电卡盘时安装于静电卡盘基座上，所述杠杆与所述基架可转动连接，且二者的连接点到所述施力端的距离大于该连接点到所述输力端的距离。前述装置用于拆卸静电卡盘，以便于维护或更换静电卡盘。
技术研发人员：赵隆超
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
技术研发日：2016.01.12
技术公布日：2017.07.18