一种金属掩膜版框架安全夹具的制作方法

本发明涉及掩膜版技术领域，具体为一种金属掩膜版框架安全夹具。

背景技术：

在有机发光二极管显示面板的制作过程中，需要用到掩膜版。

目前，蒸镀工艺过程中多采用超精细掩膜版来将有机发光材料蒸镀在基板的规定位置，超精细掩膜版的平坦度直接影响蒸镀的效果，面板的分辨率越高，所需的超精细掩膜版越精细，进而，对超精细掩膜版的平坦度要求越高。

掩膜版框架的在精加工的过程中，如果直接与工作面接触，难以保证掩膜版这种精密、脆弱的器件不出现划伤；

常见的技术方案是简单找一块板子垫下，简单固定或者无固定，而采用简单的支架容易发生移位，不利于后续加工，而在用一般夹具对掩膜版框架进行固定时其夹持力控制较大会对掩膜版表面产生形变，对掩膜版基版造成损伤。

基于此，本发明设计了一种金属掩膜版框架安全夹具，以解决上述问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种金属掩膜版框架安全夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种金属掩膜版框架安全夹具，包括固定基座和夹具支架，所述夹具支架安装在固定基座的顶部两侧，两个所述夹具支架之间设置有对位部件，所述对位部件可向内部进行手动滑动，其将掩膜版的框架外端部进行支撑，所述对位部件对掩膜版的框架两侧进行对齐，将掩膜版固定前的放置位置进行定位；

所述夹具支架上安装气动微调节夹具，气动微调节夹具用微气流作为动力，推动夹持部对掩膜版的框架侧边进行夹持，调节夹持力度；

两组气动微调节夹具和两组对位部件组成“口”型，其内部区域为掩膜版的放置区域，且在放置区域中安装缓冲支台，所述缓冲支台对掩膜版的底部区域进行缓冲支撑，掩膜版整体底部受力均匀。

优选的，所述对位部件包括支撑柱、高度调节板和对齐端，所述支撑柱平行设置两个且固定焊接在固定基座上，所述高度调节板可插接在支撑柱上进行上下滑动调节，所述高度调节板上横向开设插槽，且插槽中插接滑动杆，所述滑动杆的一端与对齐端连接，所述对齐端可进行横向位移。

优选的，所述对齐端的横截面为“l”型，掩膜版的框架外端部在对齐时可放置在对齐端的内侧面底部，两组对齐端的相对内侧面对掩膜版的框架两侧外端部进行挤压对齐，所述对齐端上连接操作端，通过人工进行掩膜版的对齐操作。

优选的，所述气动微调节夹具包括气动条、限位卡条、阻挡片和夹头，所述气动条的一侧开设一排气流微孔，所述气动条上安装两个对向设置的限位卡条，所述阻挡片的两端滑动卡接在限位卡条中，所述夹头安装在阻挡片的侧壁上，气流微孔对阻挡片部位进行微气流施压，阻挡片在气流的推力作用下进行缓速驱动，阻挡片带动夹头进行缓速移动对掩膜版的框架进行夹持，所述夹头安装在阻挡片的侧壁上。

优选的，所述气动条上连接有输气管，两组气动条连接的输气管通过同一根管道进行输气，该管道上安装流量控制阀，通过流量控制阀同时控制两组气动条的气流流速。

优选的，所述阻挡片的两端上下侧连接有滑动块，所述限位卡条外侧设有卡槽，所述滑动块可卡入卡槽中进行滑动，所述气动条与阻挡片之间连接拉簧，阻挡片通过拉簧进行复位。

优选的，所述夹头包括夹件和软性的保护卡套，所述夹件上开设有从外部向内侧逐渐内缩小的内槽，所述保护卡套为“山”型，其可卡入到内槽中进行固定，所述保护卡套在对掩膜版的框架夹持过程中提供缓冲保护。

优选的，所述缓冲支台包括支撑脚和橡胶材质呈碗体的承托体，所述承托体卡接在支撑脚中，承托体上环形开设用于排除空气的释压孔。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.本发明通过设置的对位部件可进行上下升降以及横向的位置调节，在掩膜版定位夹持前，通过对位部件将掩膜版的框架进行挤压对齐，保证掩膜版在夹持前保持稳定和正确的夹持姿态；

2.本发明通过缓冲支台对掩膜版的底部进行支撑，掩膜版在操作时底部可以均匀受力支撑，在支撑时承托体可进行缓冲承托，释压孔在承托体变形时可将内部的气体释放；

3.本发明通过设置的气动微调节夹具通过控制气体的流速控制夹头的夹持力度，气体推动提供推力更加便于对精密部件的缓冲夹持，避免机械结构操作的夹持力过大对掩膜版外部造成损伤，限位卡条和滑动块的设置保证阻挡片运行的稳定性，保护卡套进行掩膜版夹持时的缓冲防护。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明结构俯视示意图；

图2为本发明掩膜版夹持状态示意图；

图3为本发明立体图；

图4为本发明对位部件立体图；

图5为本发明缓冲支台结构图；

图6为本发明对位部件局部结构图；

图7为本发明气动微调节夹具结构图；

图8为本发明气动微调节夹具拆分结构图；

图9为本发明夹头结构图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-固定基座，2-固定基座，3-气动微调节夹具，301-气动条，302-气流微孔，303-输气管，304-夹头，3041-夹件，3042-内槽，3043-保护卡套，305-限位卡条，3051-卡槽，306-阻挡片，307-拉簧，308-滑动块，4-对位部件，401-支撑柱，402-高度调节板，403-滑动杆，404-操作端，405-对齐端，5-缓冲支台，501-支撑脚，502-承托体，503-释压孔，6-掩膜版。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-9，本发明提供一种技术方案：

一种金属掩膜版框架安全夹具，包括固定基座1和夹具支架2，夹具支架2安装在固定基座1的顶部两侧；

缓冲支台5包括支撑脚501和橡胶材质呈碗体的承托体502，缓冲支台5设置有四组，承托体502卡接在支撑脚501中，承托体502上环形开设用于排除空气的释压孔503；

缓冲支台6对掩膜版6的底部进行支撑，掩膜版6在操作时底部可以均匀受力支撑，在支撑时承托体502可进行缓冲承托，释压孔503在承托体502变形时可将内部的气体释放。

两个夹具支架2之间设置有对位部件4，对位部件4可向内部进行手动滑动，通过手动横向滑动对位部件4，其将掩膜版6的框架外端部进行支撑，对位部件4对掩膜版6的框架两侧进行对齐，将掩膜版6固定前的放置位置进行定位；

对位部件4包括支撑柱401、高度调节板402和对齐端405，支撑柱401平行设置两个且固定焊接在固定基座1上，高度调节板402可插接在支撑柱401上进行上下滑动调节，可以调节高度调节板402的上下高度，保持掩膜版6与气动微调节夹具3的夹持部位对齐，在气动微调节夹具3夹持后，调节后将对位部件4下降，其对齐步骤即结束；

高度调节板402上横向开设插槽，且插槽中插接滑动杆403，滑动杆403的一端与对齐端405连接，对齐端405可进行横向位移，两个对向设置的对其端405滑移可调节其之间的间距；支撑柱401与高度调节板402之间，滑动杆403与高度调节板402之间均具有一定的摩擦阻尼，在调节后可保持一定静止，保持位置稳定。

对齐端405的横截面为“l”型，掩膜版6的框架外端部在对齐时可放置在对齐端405的内侧面底部，两组对齐端405的相对内侧面对掩膜版6的框架两侧外端部进行挤压对齐，对齐端405上连接操作端404，通过人工进行掩膜版6的对齐操作。

对位部件4可进行上下升降以及横向的位置调节，在掩膜版6定位夹持前，通过对位部件4将掩膜版6的框架进行挤压对齐，保证掩膜版6在夹持前保持稳定和正确的夹持姿态。

夹具支架2上安装气动微调节夹具3，气动微调节夹具3用微气流作为动力，推动夹持部对掩膜版6的框架侧边进行夹持，调节夹持力度；两组气动微调节夹具3和两组对位部件4组成“口”型，其内部区域为掩膜版6的放置区域，且在放置区域中安装缓冲支台5，缓冲支台5对掩膜版6的底部区域进行缓冲支撑，掩膜版6整体底部受力均匀。

气动微调节夹具3包括气动条301、限位卡条305、阻挡片306和夹头304，气动条301的一侧开设一排气流微孔302，气动条301上安装两个对向设置的限位卡条305，阻挡片306的两端滑动卡接在限位卡条305中，夹头304安装在阻挡片306的侧壁上，气流微孔302对阻挡片306部位进行微气流施压，阻挡片306在气流的推力作用下进行缓速驱动，阻挡片306带动夹头304进行缓速移动对掩膜版6的框架进行夹持，夹头304安装在阻挡片306的侧壁上。

气动条301上连接有输气管303，两组气动条301连接的输气管303通过同一根管道进行输气，该管道上安装流量控制阀，通过流量控制阀同时控制两组气动条301的气流流速；阻挡片306的两端上下侧连接有滑动块308，限位卡条305外侧设有卡槽3051，滑动块308可卡入卡槽3051中进行滑动，气动条301与阻挡片306之间连接拉簧307，阻挡片306通过拉簧307进行复位。

夹头304包括夹件3041和软性的保护卡套3043，夹件3041上开设有从外部向内侧逐渐内缩小的内槽3042，保护卡套3043为“山”型，其可卡入到内槽3042中进行固定，保护卡套3043在对掩膜版6的框架夹持过程中提供缓冲保护。

气动微调节夹3具通过控制气体的流速控制夹头304的夹持力度，气体推动提供推力更加便于对精密部件的缓冲夹持，避免机械结构操作的夹持力过大对掩膜版6外部造成损伤，限位卡条305和滑动块308的设置保证阻挡片306运行的稳定性，保护卡套3043进行掩膜版6夹持时的缓冲防护。

工作步骤：在进行金属掩膜版6的夹持，进行后续的工艺操作时，将掩膜版6进行固定夹持，夹持前将掩膜版6放置到缓冲支台5上，调整对位部件4，对位部件4可进行高度和横向位置的调节，通过操作使其对齐端405对掩膜版6的框架进行挤压对齐，掩膜版6在对齐端405上保持位置固定和姿态调整，调节流量控制阀，外部加压空气进入输气管303中，气流从气动条301上的气流微孔302中释放，高速的气流给前方的阻挡片306提供推力，继续开启流量控制阀，进而调整气流流速，对阻挡片306的推力可进行调节，阻挡片306在限位卡条305上进行滑移，夹头304向内侧移动，对掩膜版6的框架进行夹持，柔性的挤压夹持避免力度过大对掩膜版6造成损伤，夹持完成后保持该气流流速，将对位部件4撤出下降高度，完成整个夹持工序。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。