真空吸附头及使用其的真空吸附装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空吸附头及使用其的真空吸附装置，更详细而言，涉及一种在吸附玻璃基板等的吸附对象物并进行搬送时使用的真空吸附头及使用其的真空吸附装置。
【背景技术】
[0002]吸附对象物之一的液晶显示面板，是在通过隔片(spacer)维持的2片玻璃基板之间的间隙注入液晶而成。各种显示装置中所使用的液晶显示面板，是根据其用途而被以各种尺寸大小制作。尤其是，电视机用或监视器用的液晶显示面板在近年逐渐大型化，从而使得被使用于液晶显示面板的玻璃基板亦逐年大型化，且呈现变薄的倾向。
[0003]液晶显示面板基板，通过分断大型的母液晶显示面板基板而同时制造多个。在分断如此般的大型母液晶显示面板基板而制造液晶显示面板基板的步骤中，为了吸附液晶显示面板基板并将其搬送至各个步骤中而使用真空吸附装置。如此般的真空吸附装置，具备有一个或多个吸附垫。
[0004]为了搬送大型的母液晶显示面板基板，而使用具备有多个吸附垫的真空吸附装置。此时，真空吸附装置，即使在基板面与各个吸附垫之间会产生的高度偏差，各个吸附垫都必须稳定地真空吸附着基板。为此，在现有的真空吸附装置中，在真空吸附头的内部使用弹性构件而能够克服吸附垫与基板之间的微量偏差并稳定地吸附基板。
[0005]然而，在如此般的现有的真空吸附装置中，在将已完成刻划步骤的大型母液晶显示面板基板搬送至下一步骤时，因弹性构件的弹性及基板的垂下等而产生上下方向的振动，据此而存在有在各液晶显示面板基板的切断面产生因相互擦撞所导致的碎裂等损伤的问题。
[0006]专利文献1:韩国公开专利公报2006-0126485号。
【发明内容】
[0007]本发明用于解决上述问题，其目的在于提供一种如下的真空吸附头及使用其的真空吸附装置，该真空吸附头，具有缓冲功能而使吸附垫能够稳定地真空吸附着吸附对象物，并且能够抑制吸附对象物搬送时的振动产生。
[0008]为了达成上述目的，本发明所提供的真空吸附头，其特征在于包含有:吸附垫，与吸附对象物的被吸附面接触并真空吸附；吸附轴，一端部与所述吸附垫连接并支承所述吸附垫，且在内部形成用于吸排气所述吸附垫内的气体的吸排气通路；壳体部，具备所述吸附轴可滑动的内部空间；弹性支承部，在所述壳体部内将所述吸附轴弹性支承于所述壳体部的轴方向；以及轴固定单元，设置在所述壳体部的一侧并限制所述吸附轴的移动而使其固定、或解除固定。
[0009]所述轴固定单元，可包含有:垫部，设置在所述壳体部的一侧，可朝向所述吸附轴移动并对所述吸附轴加压；以及汽缸，与所述垫部的一端部连接并使所述垫部往接近或远离所述吸附轴的方向移动。
[0010]所述垫部，其与所述吸附轴接触的部分，可设成为与所述吸附轴的外面的形状对应的形状。
[0011]所述垫部，可以弹性材料构成与所述吸附轴接触的部分。
[0012]所述真空吸附头，可进一步包含有:导引构件，在所述壳体部的内部空间，位于所述吸附轴与所述壳体部之间，以所述吸附轴在所述壳体部的内部空间呈直线移动于所述壳体部的轴方向的方式进行导引。
[0013]所述导引构件，可以预定的间隔而设置2个以上。
[0014]所述弹性支承部，可为一部分与所述吸附轴连接并通过所述吸附轴的移动而在所述壳体部的内部往所述壳体部的轴方向弹性加压的弹簧构件。
[0015]另一方面，为了达成上述目的，本发明所提供的真空吸附装置，至少具备一个真空吸附头，且使所述真空吸附头与吸附对象物的被吸附面接触并进行真空吸附，其中，所述真空吸附头，包含有:吸附垫，与吸附对象物的被吸附面接触并真空吸附；吸附轴，一端部与所述吸附垫连接并支承所述吸附垫，且在内部形成用于吸排气所述吸附垫内的气体的吸排气通路；壳体部，具备所述吸附轴被支承成可滑动移动的内部空间；弹性支承部，在所述壳体部内将所述吸附轴弹性支承于所述壳体部的轴方向；以及轴固定单元，设置在所述壳体部的一侧并限制所述吸附轴的移动而使其固定、或解除固定。
[0016]所述真空吸附装置，可进一步包含有:掌体，以预定的间隔配置多个所述真空吸附头；掌驱动部，与所述掌体连接，并以所述掌体上的真空吸附垫接近或远离吸附对象物的方式使所述掌体移动。
[0017]所述真空吸附装置，可进一步包含有:控制部，以所述真空吸附头与所述吸附对象物接触并真空吸附时，驱动所述轴固定单元而使所述吸附轴固定的方式进行控制。
[0018]根据本发明的真空吸附头及使用其的真空吸附装置，具有以下效果:具有缓冲功能而使吸附垫能够稳定地真空吸附着吸附对象物，并且能够抑制吸附对象物搬送时的振动产生，能够稳定地进行吸附对象物的搬送，能够防止搬送时吸附对象物的损伤。
【附图说明】
[0019]图1为本发明的一实施例的真空吸附头的立体图。
[0020]图2为图1的分解立体图。
[0021]图3为图1的真空吸附头的纵剖面图。
[0022]图4为图1的真空吸附头的俯视图。
[0023]图5为使用有图1的真空吸附头的真空吸附装置的立体图。
[0024]主要符号说明:
[0025]I真空吸附装置
[0026]100真空吸附头
[0027]110吸附垫
[0028]115垫壳体
[0029]120吸附轴
[0030]121吸排气通路
[0031]125真空软管连接部
[0032]130壳体部
[0033]140弹性支承部
[0034]145止挡件
[0035]150轴固定单元
[0036]151垫部
[0037]152汽缸
[0038]160导引构件
[0039]200掌体
[0040]300掌驱动部。
【具体实施方式】
[0041]以下，参照所附的附图详细地说明本发明较佳的实施例。首先，在对各附图的构成要素的附图标记中，针对相同的构成要素，即使被表示在其他的附图上，亦尽可能以具有相同符号的方式设定。此外，在以下虽说明本发明的较佳的实施例，但本发明的技术性的思想，并不限定或限制于此，当然可由一般技术人员对其做变形，进行各种实施。
[0042]参照图1至图4，本发明的一实施例的真空吸附头100，包含吸附垫110、吸附轴120、壳体部130、弹性支承部140及轴固定单元150。
[0043]吸附垫110，与吸附对象物的被吸附面接触并真空吸附。吸附垫110以底面为平面的树脂制成，维持平坦地吸附于吸附对象物的吸附面的状态。在吸附垫110的外侧结合垫壳体115，该垫壳体115设置成围绕吸附垫110并支承吸附垫110。
[0044]吸附轴120，呈管状设置，其一端与吸附垫110连接并支承吸附垫110，且于内部形成用于吸排气吸附垫110内的气体的吸排气通路121。吸排气通路121的一端与吸附垫110的内部连通，而在另一端连接真空软管连接部125，该真空软管连接部125为连接真空软管(图中未示出)。
[0045]壳体部130，具备内部空间，该内部空间收容吸附轴120并将吸附轴120支承成可于其长边方向滑动移动。
[0046]弹性支承部140，在壳体部130内将吸附轴120弹性支承于壳体部130的轴方向(吸附轴120的长边方向、图3中的上下方向)。亦即，弹性支承部140，以在壳体部130内一旦吸附轴120滑动移动于其长边方向，则在经弹性加压后将吸附轴120复原到原位置的方式，提供复原弹性力。
[0047]在本实施例中，弹性支承部140为一部分与吸附轴120连接并通过吸附轴120的移动而在壳体部130的内部往壳体部130的轴方向弹性加压的弹簧构件，例如由螺旋弹簧等构成。吸附轴120在壳体部130的内部空间往壳体部130的轴方向移动时，弹性支承部140—边与止挡件(stopper) 145接触一边弹性加压，由此提供缓冲功能，以在吸附垫110对吸附对象物进行真空吸附时，使多个吸附垫110位于同一平面上。
[0048]轴固定单元150，设置在壳体部130的一侧并限制吸附轴120的移动而使其固定、或解除固定。
[0049]参照图1、图2及图4，在本实施例中，轴固定单元150包含有:垫部151，设置在壳体部130的一侧，可朝向吸附轴120移动并对吸附轴120加压；以及汽缸152，与垫部151的一端部连接并使垫部151往接近或远离吸附轴120的方向移动。
[0050]垫部151，设置成在与吸附轴120的长边方向交叉的方向可接近或远离吸附轴120。在轴固定单元150欲限制吸附轴120的移动而使其固定时，垫部151与吸附轴120的外面接触并对吸附轴120加压而由此使吸附轴120固定。在欲解除吸附轴120的移动限制时，垫部151远离吸附轴120。
[0051]垫部151，其与吸附轴120接触的部分设成