驻极体及其制造方法以及静电感应型转换元件的制作方法
【专利摘要】本发明提供表现高电荷密度且高温高湿下的电荷密度的稳定性良好的驻极体以及具备该驻极体的静电感应型转换元件。该驻极体是向具有树脂层(A)和与树脂层(A)直接层叠的树脂层(B)的层叠体中注入有电荷的驻极体，其特征在于，树脂层(A)包含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物，树脂层(B)不含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物而包含含氟聚合物，树脂层(B)以与空气接触的方式配置于最外层，树脂层(B)的总厚度为所述树脂层(A)的总厚度的5～55％。此外，所述静电感应型转换元件具备该驻极体。
【专利说明】驻极体及其制造方法以及静电感应型转换元件
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及驻极体及其制造方法以及静电感应型转换元件。
【背景技术】
[0002]发电装置、传声器等静电感应型转换元件采用向绝缘材料注入有电荷的驻极体。作为静电感应型转换元件，已知例如具有向由乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)或主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物形成的树脂层注入有电荷的驻极体的静电感应型转换元件。
[0003]例如，已知具有向由包含主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物和硅烷偶联剂的组合物形成的树脂层注入有电荷的驻极体的静电感应型转换元件(专利文献I)。该静电感应型转换元件表现出高电荷密度。
[0004]静电感应型转换元件也被用于汽车、道路用传感器等在高温多湿环境下使用或设置的用途，除了高电荷密度的表现，还要求高温高湿下的电荷密度的稳定性。
[0005]作为提高了防湿性的静电感应型转换元件，已知例如具有在由主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物形成的树脂层上层叠有由聚对二甲苯形成的防湿层的驻极体的静电感应型转换元件(专利文献2)。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本专利特开2008 - 266563号公报
[0009]专利文献2:日本专利特开2006 - 180450号公报
[0010]发明的概要
[0011]发明所要解决的技术问题
[0012]根据本发明人的了解，专利文献I中记载的静电感应型转换元件中，驻极体难以在高温高湿下稳定保持高密度电荷，容易经时释放出电荷。
[0013]此外，专利文献2中记载的静电感应型转换元件中，驻极体的由含氟聚合物形成的树脂层与由聚对二甲苯形成的防湿层的密合性不足。因此，高温高湿下，水分容易进入驻极体的层间，难以稳定地保持电荷。如果对由含氟聚合物形成的树脂层的表面实施表面处理，则可提高由含氟聚合物形成的树脂层与由聚对二甲苯形成的防湿层的密合性。但是，如果实施表面处理，则由含氟聚合物形成的树脂层变性，电荷保持性能下降。
[0014]本发明的目的在于提供表现高电荷密度且高温高湿下的电荷密度的稳定性良好的驻极体及其制造方法以及具备所述驻极体的静电感应型转换元件。
[0015]解决技术问题所采用的技术方案
[0016]本发明为以下的[I]?[15]。
[0017][I]驻极体，它是向具有树脂层(A)和与该树脂层(A)直接层叠的树脂层(B)的层叠体中注入有电荷的驻极体，其特征在于，
[0018]所述树脂层(A)包含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物，
[0019]所述树脂层(B)不含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物，包含含氟聚合物，[0020]所述树脂层⑶以与空气接触的方式配置于最外层，
[0021]所述树脂层(B)的总厚度为所述树脂层(A)的总厚度的5~55%。
[0022][2]如[I]的驻极体，其中，所述硅烷偶联剂为具有氨基的硅烷偶联剂。
[0023][3]如[I]或[2]的驻极体，其中，所述硅烷偶联剂为选自Y-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、Y -氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N- ( β -氨基乙基-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N- ( β -氣基乙基)_ Y -氣基丙基甲基二乙氧基硅烷、Y _氣基丙基二甲氧基硅烷、Y _氛基丙基二乙氧基硅烷、N- ( β -氛基乙基)_ Y -氛基丙基二甲氧基硅烷、N- ( β -氛基乙基)_ Y _氛基丙基二乙氧基硅烷和氛基苯基二甲氧基硅烷的I种以上。
[0024][4]如[I]~[3]中的任一项的驻极体，其中，形成所述树脂层⑷所含的反应生成物的含氟聚合物为具有选自羧基及其盐、烷氧基羰基、I分子中的2个羧基脱水缩合而得的酸酐基和酰基的I种以上的含氟聚合物；所述羧基的盐以-COOM1表示，其中的M1为可与羧基形成盐的金属原子或原子团。
[0025][5]如[I]~[4]中的任一项的驻极体，其中，形成所述树脂层⑷所含的反应生成物的含氟聚合物为主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物。
[0026][6]如[I]~[5]中的任一项的驻极体，其中，所述树脂层⑶所含的含氟聚合物为主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物。
[0027][7]如[I]~[6]中的任一项的驻极体，其中，形成所述树脂层⑷所含的反应生成物的含氟聚合物与树脂层(B)所含的含氟聚合物为同一种含氟聚合物。
[0028][8]驻极体的制造方法，其特征在于，包括下述工序(Xl)~(Χ5):
[0029](Xl)在基板上涂覆包含含氟聚合物、硅烷偶联剂和溶剂的涂覆液而形成涂覆膜(Al)，并对其进行预干燥的工序；
[0030](Χ2)对所述进行了预干燥的涂覆膜(Al)进行烧成而形成树脂层(A)的工序；
[0031](Χ3)在所述树脂层(A)上涂覆不含硅烷偶联剂但包含含氟聚合物和溶剂的涂覆液而形成涂覆膜(BI)，并对其进行预干燥的工序；
[0032](Χ4)对所述进行了预干燥的涂覆膜(BI)进行烧成而形成树脂层(B)，形成在所述基板上直接层叠有树脂层(A)和树脂层(B)的层叠体的工序；
[0033](Χ5)向所述层叠体注入电荷的工序。
[0034][9]如[8]的驻极体的制造方法，其中，所述硅烷偶联剂为具有氨基的硅烷偶联剂。
[0035][10]如[8]或[9]的驻极体的制造方法，其中，所述工序(Xl)中使用的含氟聚合物为具有选自羧基及其盐、烷氧基羰基、I分子中的2个羧基脱水缩合而得的酸酐基和酰基的I种以上的含氟聚合物；所述羧基的盐以-COOM1表示，其中的M1为可与羧基形成盐的金属原子或原子团。
[0036][11]如[8]~[10]中的任一项的驻极体的制造方法，其中，所述工序(Xl)中使用的含氟聚合物为主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物。
[0037][12]如[8]~[11]中的任一项的驻极体的制造方法，其中，所述工序(Xl)中使用的含氟聚合物与所述工序(Χ3)中使用的含氟聚合物为同一种含氟聚合物。
[0038][13]如[8]~[12]中的任一项的驻极体，其中，所述工序(Xl)中，相对于含氟聚合物和硅烷偶联剂的总量的硅烷偶联剂的比例为0.1~20质量％。[0039][14]如[8]?[13]中的任一项的驻极体的制造方法，其中，所述工序(X3)中使用的溶剂为表面张力在20mN/m以下的含氟有机溶剂。
[0040][15]静电感应型转换元件，其特征在于，具备[I]?[7]中的任一项的驻极体。
[0041]发明的效果
[0042]本发明的驻极体表现高电荷密度，且高温高湿下的电荷密度的稳定性良好。
[0043]如果采用本发明的驻极体的制造方法，则可获得表现高电荷密度且高温高湿下的电荷密度的稳定性良好的驻极体。
[0044]本发明的静电感应型转换元件具备表现高电荷密度且高温高湿下的电荷密度的稳定性良好的驻极体。
[0045]附图的简单说明
[0046]图1是表示本发明的驻极体的一例的剖视图。
[0047]图2是表示本发明的静电感应型转换元件的一例的立体图。
[0048]图3为用于注入电荷的电晕充电装置的简略结构图。
[0049]图4为表示驻极体的表面电位的测定点的图。
[0050]实施发明的方式
[0051]本说明书中，将通过单体聚合而形成的来源于该单体的重复单元简称为“单元”。单元可以是通过聚合反应直接形成的单元，也可以是该单元的一部分通过对聚合物进行处理而被改变为其它结构的单元。本说明书中的“单体”是指具有聚合反应性的碳-碳双键的化合物。
[0052]本说明书中，“侧链”是指重复单元构成主链的聚合物中与构成主链的碳原子结合的氢原子和卤素原子以外的基团。
[0053]本说明书中，将以式⑴表示的化合物记作“化合物⑴”，以其它式表示的化合物也同样记载。此外，将以式(3-1)表示的单元记作“单元(3-1)”，以其它式表示的单元也同
样记载。
[0054][驻极体]
[0055]本发明的驻极体是向具有下述的树脂层(A)和与该树脂层(A)直接层叠的树脂层(B)的层叠体中注入有电荷的驻极体，其特征在于，树脂层(B)以与空气接触的方式配置于最外层，所述树脂层(B)的总厚度为所述树脂层(A)的总厚度的5?55%。S卩，本发明的驻极体中，制造时和使用时，在树脂层㈧的一侧配置有各种基板、各种树脂层等，在作为树脂层(A)的另一侧的与空气接触的最外层配置有树脂层(B)。
[0056]树脂层(A):包含含氟聚合物(以下也称“含氟聚合物(al) ”)与硅烷偶联剂(以下也称“硅烷偶联剂(a2)”)的反应生成物的树脂层。
[0057]树脂层(B):不含含氟聚合物(以下也称“含氟聚合物(bl) ”)与硅烷偶联剂(以下也称“硅烷偶联剂(b2)”)的反应生成物，包含含氟聚合物(bl)的树脂层。
[0058]本发明的驻极体包含树脂层(A)，所以可提高电荷密度。通过使该树脂层(A)包含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物，驻极体的电荷密度提高，表面电位提高。电荷密度提高的机理被认为如下。
[0059]向树脂层⑷与树脂层⑶的层叠体注入电荷时，树脂层⑷中的反应生成物的来源于硅烷偶联剂的部分发生极化，形成纳米团簇结构。该纳米团簇结构作为积聚注入至树脂层(A)的电荷的部位发挥作用。
[0060]此外，本发明的驻极体在树脂层(A)的空气侧不含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物，直接层叠包含含氟聚合物的树脂层(B)而形成最外层，因此具有良好的防湿性，在高温高湿下也可稳定地保持电荷。防湿性提高的机理被认为如下。
[0061]硅烷偶联剂因分子内的-SiOR基、氨基、环氧基等的影响而具有比含氟聚合物容易吸水的性质。因此，不含含氟聚合物(bl)与硅烷偶联剂(b2)的反应生成物的树脂层(B)没有-SiOR基、氨基、环氧基等产生的影响，比树脂层(A)难吸水。此外，含氟聚合物(bl)的电负性大，分子间作用力小，所以包含含氟聚合物(bl)的树脂层(B)的拒水效果高，疏水性良好。通过将具有这样的性质的树脂层(B)直接层叠于树脂层(A)的空气侧，自树脂层(A)的空气侧的吸水得到抑制。此外，树脂层(A)和树脂层(B)均包含含氟聚合物，因此层间的亲和性良好，可获得良好的密合性。因此，树脂层(A)和树脂层(B)的界面剥离得到抑制，所以水分向树脂层(A)和树脂层(B)的层间的侵入也得到抑制。
[0062]此外，本发明的驻极体中，树脂层(B)的总厚度为树脂层(A)的总厚度的5?55%。较好是10?45%，特别好是15?40%。如果树脂㈧的总厚度的比例高，则电荷密度高，但防湿性不会提高。如果树脂(B)的总厚度的比例高，则防湿性提高，但电荷密度本身不会提高。通过使树脂层(B)的总厚度为树脂层(A)的总厚度的5?55%，可兼顾高电荷密度和防湿性。在同种的树脂层有2层以上的情况下总厚度是指它们的总厚度。
[0063]图1是表示本发明的驻极体的一例的剖视图。
[0064]驻极体10如图1所示，向树脂层㈧12与树脂层⑶14直接层叠的层叠体注入有电荷，在树脂层(A) 12侧配置有基板20。即，驻极体10中，在树脂层(A) 12的空气侧作为与空气接触的最外层配置有树脂层(B) 14。
[0065]驻极体10的厚度较好是I?200 μ m,更好是6?32 μ m，特别好是5?20 μ m。如果驻极体10的厚度在上述范围的下限值以上，则容易获得发电功率。如果驻极体10的厚度在上述范围的上限值以下，则容易制造层叠体。
[0066]树脂层(A) 12的厚度较好是5?30 μ m，特别好是5?25 μ m。如果树脂层(A) 12的厚度在上述范围的下限值以上，则容易表现高电荷密度。如果树脂层(A) 12的厚度在上述范围的上限值以下，则膜厚均匀性良好。
[0067]树脂层⑶14的厚度较好是0.1?10 μ m，特别好是I?7 μ m。如果树脂层⑶14的厚度在上述范围的下限值以上，则防湿性提高，且向树脂层(A) 12与树脂层(B) 14的层叠体的电荷注入可更均匀地进行。如果树脂层(B) 14的厚度在上述范围的上限值以下，则膜厚均匀性良好，可表现高电荷密度。
[0068]作为基板，可例举例如由注入电荷时可接地的材质形成的基板(I)、在由绝缘性材料形成的基板的表面形成有导电性的金属膜的基板(2)、由绝缘性材料形成的基板(3)等。基板(3)的情况下，注入电荷时，将树脂层(A) 12与树脂层(B) 14的层叠体换装至基板(I)或基板⑵上即可。
[0069]作为基板(I)，可例举例如由金、钼、铜、铝、铬、镍等导电性金属形成的基板或者由电阻值低的半导体材料形成的基板。
[0070]作为基板(2)，可例举例如在玻璃等无机材料或者聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯、丙烯酸树脂等有机高分子材料等绝缘性材料的表面通过溅射、蒸镀、湿法涂覆等方法形成了导电性金属膜的基板，在硅等半导体材料的表面形成了所述金属膜的基板。
[0071]基板(I)、(2)中的可接地的部分的电阻值以体积固有电阻值计较好是0.1 Ω - cm以下，特别好是0.01 Ω.Cm以下。
[0072]作为基板(3)，可例举例如由基板⑵中例举的绝缘性材料形成的基板。
[0073]基板20可以是表面平滑的平板，也可以是表面形成有凹凸的平板，还可以是形成有各种形状的图案的平板。
[0074]此外，基板20为所述基板(2)且具有图案形成而得的金属膜的情况下，可在绝缘性材料的表面形成由图案形成而得的凹凸，在该凸部的表面形成金属膜，也可在绝缘性材料的表面直接形成由图案形成而得的金属膜。
[0075]此外，包含具有凹凸的金属膜的基板(2)的情况下，可在绝缘性材料的表面形成凹凸，在该凹凸上形成金属膜，也可在绝缘性材料的表面直接形成具有凹凸的金属膜。
[0076]作为在基板的表面形成具有凹凸的金属膜或由图案形成而得的金属膜的方法，可采用目前公知的方法，无特别限定。作为形成具有凹凸的金属膜或由图案形成而得的金属膜的方法，可采用真空工艺、湿法工艺中的任一种。作为真空工艺，可例举例如介以掩模的溅射法、介以掩模的蒸镀法等。作为湿法工艺，可例举例如辊涂法、流延法、浸溃法、旋涂法、水上流延法、朗缪尔-布洛杰特法、模涂法、喷墨法、喷涂法等。此外，可采用凸版印刷法、凹版印刷法、平版印刷法、丝网印刷法、胶版印刷法等印刷技术。此外，形成具有微细凹凸或图案的金属膜的情况下，可采用纳米压印法、光刻法等。
[0077]可以基板20与树脂层(A) 12的密合性的提闻等为目的而对基板20的表面进行表面处理。作为表面处理方法，可例举在基板表面涂布聚乙烯亚胺等方法、通过喷砂等对表面进行物理处理的方法、通过电晕放电等对表面进行化学处理的方法等。
[0078]本发明的驻极体的形态并不仅限于图1。例如，可以是对在基板上依次直接层叠有树脂层(B)、树脂层㈧和树脂层⑶的层叠体注入有电荷的驻极体，也可以是对在基板上依次直接层叠有除树脂层(A)和树脂层(B)以外的其它层(C)、树脂层(A)以及树脂层(B)的层叠体注入有电荷的驻极体。
[0079]作为所述其它层(C)，可例举例如着色层、防污层等。
[0080][树脂层⑷]
[0081]本发明中的树脂层(A)是包含含氟聚合物(al)与硅烷偶联剂(a2)的反应生成物的树脂层。包含含氟聚合物(al)和硅烷偶联剂(a2)的组合物中，通过热处理，含氟聚合物(al)所具有的反应性官能团与硅烷偶联剂(a2)所具有的反应性官能团反应，含氟聚合物(al)与硅烷偶联剂(a2)结合。接着，硅烷偶联剂(a2)之间通过缩合反应结合，可获得含氟聚合物(al)与硅烷偶联剂(a2)的反应生成物。该反应可通过红外分光光谱(以下也称“IR光谱”)的分析确认。树脂层(A)中可含未反应的含氟聚合物(al)或硅烷偶联剂(a2)。
[0082](含氟聚合物(al))
[0083]作为含氟聚合物(al)，可例举例如主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物(以下称为“含氟聚合物(all)”)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)等。
[0084]作为含氟聚合物(al)，由于可表现更高的电荷密度，因此较好是含氟聚合物(all)或ETFE，特别好是含氟聚合物(all)。
[0085]此外，含氟聚合物(al)较好是具有反应性官能团。反应性官能团是指具有进行加热等时可在含氟聚合物(al)的分子间或与含氟聚合物(al)及一起掺入的硅烷偶联剂(a2)反应而成键的反应性的基团。
[0086]含氟聚合物(al)可在主链的末端具有反应性官能团，也可在侧链的末端具有反应性官能团，还可在主链的末端和侧链的末端同时具有反应性官能团。其中，由于制造容易，较好是在主链的末端具有反应性官能团。
[0087]作为反应性官能团，可例举羧基及其盐(-C00M1，其中的M1为可与羧基形成盐的金属原子或原子团)、烷氧基羰基、I分子中的2个羧基脱水缩合而得的酸酐基、羟基、磺基及其盐(-SO3M2,其中的M2为可与磺基形成盐的金属原子或原子团)、环氧基、氰基、碳酸酯基、异氰酸酯基、酰胺基、醛基、氨基、水解性硅烷基、碳-碳双键、烷氧基和酰基等。
[0088]水解性硅烷基是指硅原子上结合有烷氧基、氨基、卤素原子等的基团，可通过水解形成硅氧烷键而交联。
[0089]作为烧氧基擬基，可例举甲氧基擬基、乙氧基擬基、丙氧基擬基、异丙氧基擬基、丁氧基擬基、叔丁氧基擬基等。其中，较好是甲氧基擬基或乙氧基擬基。
[0090]作为反应性官能团，从与硅烷偶联剂(a2)所具有的反应性官能团的反应性的角度来看，较好是选自羧基及其盐(-C00M1，其中的M1为可与羧基形成盐的金属原子或原子团)、烷氧基羰基、I分子中的2个羧基脱水缩合而得的酸酐基和酰基的I种以上，特别好是羧基或烷氧基羰基。
[0091]含氟聚合物(al)所具有的反应性官能团可以是I种，也可以是2种以上。此外，反应性官能团的种类和含量根据硅烷偶联剂(a2)的种类、硅烷偶联剂(a2)所具有的反应性官能团、驻极体的用途、对驻极体要求的特性、向含氟聚合物(al)的反应性官能团的引入方法等适当选择。
[0092]作为反应性官能团的引入方法，可例举例如下述方法(i )?(iv )。
[0093]( i )使用聚合引发剂进行聚合，将生成的不稳定末端基团通过热处理等分解，在末端生成氟代羰基(-CF=O基)，实施后处理，从而向主链的末端引入反应性官能团。具体来说，如果对氟代羰基进行水解，可转换为羧基。此外，如果使醇进行作用，则可转换为烷氧基擬基。
[0094]( ii )通过使侧链具有反应性官能团的单体共聚，向侧链的末端引入反应性官能团。
[0095](iii)聚合时，使用具有反应性官能团的聚合引发剂、链转移剂等，从而向主链的末端引入反应性官能团。
[0096]( iv )使具有反应性官能团和可接枝化的官能团(不饱和键等)的化合物(接枝性化合物)接枝于含氟聚合物。
[0097]方法(i )?(iv )可组合2种以上。
[0098]向含氟聚合物(al)引入羧基或烷氧基羰基的情况下，引入方法较好是方法(i )。
[0099]〈含氟聚合物(all)〉
[0100]含氟聚合物(all)中的“脂肪族环结构”是指不具有芳香性的环结构。此外，“主链具有脂肪族环结构”是指构成环结构的碳原子中至少I个为构成含氟聚合物的主链的碳原子。
[0101]作为脂肪族环结构，可以是环骨架仅由碳原子构成的环结构，也可以是除碳原子以外还包含氧原子、氮原子等杂原子的杂环结构。
[0102]例如，可例举可具有取代基的饱和或不饱和的烃环结构，该烃环结构中的碳原子的一部分换成氧原子、氮原子等杂原子的杂环结构。
[0103]作为脂肪族环结构，由于电荷密度提高，较好是环骨架中具有醚性氧原子的杂环结构的脂肪族环结构，特别好是环骨架中具有I?2个醚性氧原子的杂环结构的脂肪族环结构。
[0104]构成脂肪族环结构的环骨架的原子数较好是4?7，特别好是5?6。S卩，脂肪族环结构较好是四元环?七元环，特别好是五元环?六元环。
[0105]构成脂肪族环结构的碳原子中构成主链的碳原子来源于用于含氟聚合物(all)的聚合的单体所具有的聚合性双键。
[0106]例如，含氟聚合物(all)为如后所述的使环状单体聚合而得的含氟聚合物时，构成该双键的2个碳原子成为构成主链的碳原子。此外，含氟聚合物为使具有2个聚合性双键的单体环化聚合而得的含氟聚合物时，构成2个聚合性双键的4个碳原子中的至少2个成为构成主链的碳原子。
[0107]作为含氟聚合物(all)，可例举例如主链具有含氟脂肪族环结构的聚合物。“含氟脂肪族环结构”是指具有氟原子的脂肪族环结构。此外，“主链具有含氟脂肪族环结构”是指构成含氟脂肪族环结构的碳原子中至少I个为构成含氟聚合物的主链的碳原子。
[0108]作为含氟脂肪族环结构，可例举例如所述烃环结构、杂环结构等中的氢原子的一部分或全部被氟原子取代的环结构。
[0109]其中，较好是环骨架中具有醚性氧原子的杂环结构的氢原子的一部分或全部被氟原子取代的含氟脂肪族环结构，特别好是环骨架中具有I?2个醚性氧原子的杂环结构的氢原子的一部分或全部被氟原子取代的含氟脂肪族环结构。
[0110]此外，含氟脂肪族结构较好是环结构中的氢原子全部被氟原子取代。
[0111]含氟聚合物(all)可以是主链中的脂肪族环结构全部为含氟脂肪族环结构以外的脂肪族环结构，未形成环结构的主链结合有氟原子的聚合物。
[0112]从与硅烷偶联剂(a2)所具有的反应性官能团的反应性的角度来看，含氟聚合物(all)较好是具有羧基或烷氧基羰基作为反应性官能团，特别好是在主链的末端具有羧基或烧氧基擬基。
[0113]羧基或烷氧基羰基的引入方法较好是所述方法(i )。
[0114]作为含氟聚合物(all)，较好是下述含氟聚合物(all-Ι)和含氟聚合物(all_2)。
[0115]含氟聚合物(all-Ι):具有基于环状含氟单体的单元的聚合物。
[0116]含氟聚合物(all-2):具有通过二烯类含氟单体的环化聚合形成的单元的聚合物(不包括具有基于环状含氟单体的单元的聚合物)。
[0117]含氟聚合物(all-Ι)具有基于环状含氟单体的单元。
[0118]环状含氟单体是指在构成含氟脂肪族环结构的碳原子-碳原子间具有聚合性双键的单体或者在构成含氟脂肪族环的碳原子与含氟脂肪族环外的碳原子之间具有聚合性双键的单体。[0119]作为环状含氟单体，较好是下述化合物(I)或化合物(2)。
[0120][化I]
[0121]
【权利要求】
1.驻极体，它是向具有树脂层(A)和与该树脂层(A)直接层叠的树脂层(B)的层叠体中注入有电荷的驻极体，其特征在于， 所述树脂层(A)包含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物， 所述树脂层(B)不含含氟聚合物与硅烷偶联剂的反应生成物，包含含氟聚合物， 所述树脂层(B)以与空气接触的方式配置于最外层， 所述树脂层(B)的总厚度为所述树脂层(A)的总厚度的5~55%。
2.如权利要求1所述的驻极体，其特征在于，所述硅烷偶联剂为具有氨基的硅烷偶联剂。
3.如权利要求1或2所述的驻极体，其特征在于，所述硅烷偶联剂为选自Y-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、Y _氛基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-( β -氛基乙基-氛基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-( β -氛基乙基-氛基丙基甲基二乙氧基硅烷、Y -氛基丙基二甲氧基硅烷、Y _氛基丙基二乙氧基硅烷、N-( β -氛基乙基-氛基丙基二甲氧基硅烷、N- ( β -氛基乙基)-Y _氛基丙基二乙氧基硅烷和氛基苯基二甲氧基硅烷的I种以上。
4.如权利要求1~3中的任一项所述的驻极体，其特征在于，形成所述树脂层(A)所含的反应生成物的含氟聚合物为具有选自羧基及其盐、烷氧基羰基、I分子中的2个羧基脱水缩 合而得的酸酐基和酰基的I种以上的含氟聚合物；所述羧基的盐以-COOM1表示，其中的M1为可与羧基形成盐的金属原子或原子团。
5.如权利要求1~4中的任一项所述的驻极体，其特征在于，形成所述树脂层(A)所含的反应生成物的含氟聚合物为主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物。
6.如权利要求1~5中的任一项所述的驻极体，其特征在于，所述树脂层⑶所含的含氟聚合物为主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物。
7.如权利要求1~6中的任一项所述的驻极体，其特征在于，形成所述树脂层(A)所含的反应生成物的含氟聚合物与树脂层(B)所含的含氟聚合物为同一种含氟聚合物。
8.驻极体的制造方法，其特征在于，包括下述工序(Xl)~(Χ5): (Xl)在基板上涂覆包含含氟聚合物、硅烷偶联剂和溶剂的涂覆液而形成涂覆膜(Al)，并对其进行预干燥的工序； (Χ2)对所述进行了预干燥的涂覆膜(Al)进行烧成而形成树脂层(A)的工序； (Χ3)在所述树脂层(A)上涂覆不含硅烷偶联剂但包含含氟聚合物和溶剂的涂覆液而形成涂覆膜(BI)，并对其进行预干燥的工序； (Χ4)对所述进行了预干燥的涂覆膜(BI)进行烧成而形成树脂层(B)，形成在所述基板上直接层叠有树脂层(A)和树脂层(B)的层叠体的工序； (Χ5)向所述层叠体注入电荷的工序。
9.如权利要求8所述的驻极体的制造方法，其特征在于，所述硅烷偶联剂为具有氨基的硅烷偶联剂。
10.如权利要求8或9所述的驻极体的制造方法，其特征在于，所述工序(Xl)中使用的含氟聚合物为具有选自羧基及其盐、烷氧基羰基、I分子中的2个羧基脱水缩合而得的酸酐基和酰基的I种以上的含氟聚合物；所述羧基的盐以-COOM1表示，其中的M1为可与羧基形成盐的金属原子或原子团。
11.如权利要求8~10中的任一项所述的驻极体的制造方法，其特征在于，所述工序(Xl)中使用的含氟聚合物为主链具有脂肪族环结构的含氟聚合物。
12.如权利要求8~11中的任一项所述的驻极体的制造方法，其特征在于，所述工序(Xl)中使用的含氟聚合物与所述工序(X3)中使用的含氟聚合物为同一种含氟聚合物。
13.如权利要求8~12中的任一项所述的驻极体的制造方法，其特征在于，所述工序(Xl)中，相对于含氟聚合物和硅烷偶联剂的总量的硅烷偶联剂的比例为0.1~20质量％。
14.如权利要求8~13中的任一项所述的驻极体的制造方法，其特征在于，所述工序(X3)中使用的溶剂为表面张力在20mN/m以下的含氟有机溶剂。
15.静电感应型转换元件，其特征 在于，具备权利要求1~7中的任一项所述的驻极体。
【文档编号】B32B27/30GK103733285SQ201280036899
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2012年7月26日 优先权日:2011年7月28日
【发明者】中山史子, 柏木王明 申请人:旭硝子株式会社